微固体模态陀螺制造技术

一种微机电系统技术领域的微固体模态陀螺，包括：压电控制电极、压电传感电极、压电驱动电极、集中质量块、线性振动增强结构、弹性基体，弹性基体上设有线性振动增强结构，线性振动增强结构和弹性基体形成固定连接，弹性基体上表面设有槽，该槽内设置集中质量块，集中质量块和弹性基体形成固定连接，线性振动增强结构的上表面设有压电传感电极、压电驱动电极和压电控制电极。本发明专利技术采用弹性基体的特殊振动模态进行工作，这一方面增大了微陀螺制作材料的选择自由度，允许基体利用弹性较大的材料来制作，另一方面增加了基体材料的可微细加工性，从而有利于改善微陀螺的结构和形状，来提高陀螺的工作性能。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及的是一种微机电系统
的装置，具体地说，涉及的是一种微固体模态陀螺。
技术介绍
在过去的一个世纪里，陀螺技术经历了一系列的革命性发展历程。20世纪初，Elmer Sperry专利技术了陀螺罗经，并将它应用在航海导航中。20世纪50年代，已经实现了采用框架陀螺和加速度计系统来感应飞行器的六自由度运动。这些早期的陀螺系统只用于方位参考，因此对它们没有较高的精度要求。由于框架式陀螺系统的高复杂性和高费用，20世纪70年代开始兴起发展捷联式惯性参考系统。要想获得足够高的性能，捷联式系统要求有较高的精度，它的陀螺精度漂移要低于0.01deg/h。为了满足这样的精度需求，人们开发出了具有超高精度和高可靠性的基于Sagnac效应的光学陀螺。光学陀螺体积大、价格昂贵，因此主要应用于航天、航海和航空领域中。在过去的30多年里，随着MEMS技术的出现和逐步发展，国内外科研人员一直在致力于微惯性传感器的开发，力求制造出体积小、价格便宜、功耗低的高性能MEMS微陀螺。经对现有技术的文献检索发现，日本神户大学的K.Maenaka等人在2006伊斯坦布尔的第19届IEEE MEMS会议上发表本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微固体模态陀螺，包括：压电控制电极、压电传感电极、压电驱动电极、集中质量块、线性振动增强结构、弹性基体，其特征在于，弹性基体上设有线性振动增强结构，线性振动增强结构和弹性基体形成固定连接，弹性基体上表面设有槽，该槽内设置集中质量块，集中质量块和弹性基体形成固定连接，线性振动增强结构的上表面设有压电传感电极、压电驱动电极和压电控制电极。

【技术特征摘要】
1、一种微固体模态陀螺，包括：压电控制电极、压电传感电极、压电驱动电极、集中质量块、线性振动增强结构、弹性基体，其特征在于，弹性基体上设有线性振动增强结构，线性振动增强结构和弹性基体形成固定连接，弹性基体上表面设有槽，该槽内设置集中质量块，集中质量块和弹性基体形成固定连接，线性振动增强结构的上表面设有压电传感电极、压电驱动电极和压电控制电极。2、根据权利要求1所述的微固体模态陀螺，其特征是，所述弹性基体是个方形结构，弹性基体下表面和被测装置形成固定连接。3、根据权利要求1所述的微固体模态陀螺，其特征是，所述压电控制电极，共有四对，分别分布在方形弹性基体四个棱边附近，每条棱边上的一对压电电极对称分布在压电驱动电极两侧。4、根据权利要求1所述的微固体模态陀螺，其特征是，...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴校生，陈文元，
申请(专利权)人：上海交通大学，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]