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微固体模态陀螺制造技术
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文档序号:2625058
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一种微机电系统技术领域的微固体模态陀螺,包括:压电控制电极、压电传感电极、压电驱动电极、集中质量块、线性振动增强结构、弹性基体,弹性基体上设有线性振动增强结构,线性振动增强结构和弹性基体形成固定连接,弹性基体上表面设有槽,该槽内设置集中质量...
该专利属于上海交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海交通大学授权不得商用。
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