【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及用于检测目标的角速度的检测装置和方法，以及装备有该检测装置的电子装置。
技术介绍
迄今，所谓的陀螺检测装置已经被广泛用作消费者使用的角速度传感器。陀螺检测装置是通过允许悬臂振动器以预定谐振频率振动并且检测由于角速度影响产生的科里奥利(Coriolis)力，由压电元件等检测角速度的传感器。陀螺检测装置具有优势在于：传感器具有简单的机制、激活所需的时间短并且能够以低成本制造。陀螺检测装置被安装到例如如摄像机、虚拟现实装置和汽车导航系统的电子装置，并且分别被用作振动检测、运动检测和方向检测中的传感器。近年来，由于安装陀螺检测装置的电子装置小型化以及性能改进，陀螺检测装置需要小型化并改进性能。例如，因为电子装置的多功能化，产生了将陀螺检测装置与用于其它目的的各种传感器组合安装到衬底的需求，从而减少其尺寸。通常用于实现这种尺寸减少的技术被称作为MEMS(微型电机系统)，其涉及使用硅衬底并且使用用在形成半导体中的薄膜工艺和光刻技术形成结构性主体。附带地，振动系统随着陀螺检测装置的小型化而变轻。然而，因为科里奥利力与振动系统的重量成比例，所以检测灵敏度劣化(de...
【技术保护点】
一种检测装置，包括： 悬臂振动陀螺，其包括具有第一侧和第二侧的压电元件，该第一侧提供有驱动电极和一对检测电极，该驱动电极以预定间隔布置在该对检测电极之间，该第二侧与该第一侧相对并且提供有公共电极，所述悬臂振动陀螺由在所述驱动电极和公共电极之间输入的驱动信号振动，并且从该对检测电极生成对应于科里奥利力的一对检测信号； 偏置施加装置，用于施加偏置电压到该对检测电极； 加法装置，用于将该对检测信号相加； 第一相位延迟装置，用于将由加法装置相加的检测信号的相位延迟大于４５°而小于９０°的范围；以及 振幅控制装置，用于控制由第一相位延迟装置延迟的检测信号...
【技术特征摘要】
JP 2007-5-16 130689/071.一种检测装置，包括：悬臂振动陀螺，其包括具有第一侧和第二侧的压电元件，该第一侧提供有驱动电极和一对检测电极，该驱动电极以预定间隔布置在该对检测电极之间，该第二侧与该第一侧相对并且提供有公共电极，所述悬臂振动陀螺由在所述驱动电极和公共电极之间输入的驱动信号振动，并且从该对检测电极生成对应于科里奥利力的一对检测信号；偏置施加装置，用于施加偏置电压到该对检测电极；加法装置，用于将该对检测信号相加；第一相位延迟装置，用于将由加法装置相加的检测信号的相位延迟大于45°而小于90°的范围；以及振幅控制装置，用于控制由第一相位延迟装置延迟的检测信号到预定电压振幅，并且输出检测信号作为驱动信号。2.如权利要求1所述的检测装置，其中振动陀螺在高于该振动陀螺的谐振频率的频率引起自激振荡。3.一种检测装置，包括：悬臂振动陀螺，其包括具有第一侧和第二侧的压电元件，该第一侧提供有驱动电极和一对检测电极，该驱动电极以预定间隔布置在该对检测电极之间，该第二侧与该第一侧相对并且提供有公共电极，所述悬臂振动陀螺由在所述驱动电极和公共电极之间输入的驱动信号振动，并且从该对检测电极生成对应于科里奥利力的一对检测信号；偏置施加装置，用于施加偏置电压到该对检测电极；加法装置，用于将该对检测信号相加；第一相位延迟装置，用于将由加法装置相加的检测信号的相位延迟第一延迟量；振幅控制装置，用于控制由第一相位延迟装置延迟的检测信号到预定电压振幅，并且输出检测信号作为驱动信号；差分放大器装置，用于差分放大该对检测信号；第二相位延迟装置，用于将由加法装置相加的检测信号的相位延迟不同于第一相位量的第二相位量；以及同步检测装置，用于基于由第二相位延迟装置延迟的检测信号，同步地检测由差分放大器装置差分放大的信号。4.如权利要求3所述的检测装置，其中振动陀螺在高于该振动陀螺的谐振频率的频率引起自激振荡。5.一种利用悬臂振动陀螺检测角速度的方法，该悬臂振动陀螺包括具有第一侧和第二侧的压电元件，该第一侧提供有驱动电极和一对检测电极，该驱动电极以预定间隔布置在该对检测电极之间，该第二侧与该第一侧相对并且提供有公共电极，所述悬臂振动陀螺由在所述驱动电极和公共电极之间输入的驱动信号振动，并且从该对检测电极生成对应于科里奥利力的一...
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