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检测装置、检测方法和电子装置制造方法及图纸
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文档序号:2624972
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一种检测装置,包括:悬臂振动陀螺,其包括具有第一侧和第二侧的压电元件,该第一侧提供有驱动电极和一对检测电极,该驱动电极以预定间隔夹在该对检测电极之间,该第二侧与该第一侧相对并且提供有公共电极,所述悬臂振动陀螺由在所述驱动电极和公共电极之间输...
该专利属于索尼株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过索尼株式会社授权不得商用。
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