【技术实现步骤摘要】
本公开内容涉及用于感测角速率的微机电陀螺仪,以及感测角速率的方法。
技术介绍
众所周知,微机电系统(MEMS)的应用在不同
日益广泛,并且取得了令人鼓舞的结果,尤其是在惯性传感器、微集成陀螺仪和机电振荡器的生产中。特别地,存在不同类型的MEMS陀螺仪,它们并不是由其复杂的机电结构和操作模式来区分,而是在任何情形下基于科里奥利加速检测进行区别。在这种类型的MEMS陀螺仪中,质量块弹性地被约束到衬底或定子,以能够在互相垂直的驱动方向和感测方向上平移。通过控制设备,将质量块在驱动方向上以受控的频率和幅度处进行振动。当陀螺仪沿着垂直于驱动方向和检测方向的轴以一角速率旋转时,由于在驱动方向上的运动,质量块受科里奥利力支配并且沿着检测方向移动。质量块在感测方向上的位移由角速率和在驱动方向上的速度两者确定,并且可被转换为电信号。例如,质量块和衬底可被电容耦合,以使得电容取决于质量块相对于衬底的位置。由此质量块在检测方向上的位移可以以幅度调制的电信号的形式被检测,幅度调制的电信号与角速率成比例,其载波处于驱动质量块的振动频率。解调器的使用使得获得调制信号以得到瞬时角速率成为可能。然而,在许多情况下,承载关于瞬时角速率信息的加速信号还包含并非由科里奥利加速确定的杂散分量,并且因而以干扰的形式存在。例如经常地,由于精度限制和生产流程扩展,杂散分量可能取决于微机械部分的结构缺陷。典型地,由于质量块与衬底之间所提供的
弹性约束中的缺陷,驱动质量块的有效振动运动可能与理论上期望的方向并不对准。这种类型的缺陷通常产生正交信号分量,其由于微结构的旋转而叠加到有用 ...
【技术保护点】
一种微机电陀螺仪,包括:衬底;固定到所述衬底的定子感测结构;第一质量块,其被弹性地耦合到所述衬底并且能够相对于所述衬底在第一方向上移动;第二质量块,其被弹性地耦合到所述第一质量块并且能够相对于所述第一质量块在第二方向上移动;以及第三质量块,所述第三质量块按照使得所述第三质量块能够相对于所述第二质量块在所述第一方向上移动的方式而被弹性地耦合到所述第二质量块,并且所述第三质量块按照使得所述第三质量块能够相对于所述衬底在所述第二方向上移动的方式而被弹性耦合到所述衬底;所述第三质量块被电容耦合到所述定子感测结构。
【技术特征摘要】
2015.04.24 IT 1020150000130111.一种微机电陀螺仪,包括:衬底;固定到所述衬底的定子感测结构;第一质量块,其被弹性地耦合到所述衬底并且能够相对于所述衬底在第一方向上移动;第二质量块,其被弹性地耦合到所述第一质量块并且能够相对于所述第一质量块在第二方向上移动;以及第三质量块,所述第三质量块按照使得所述第三质量块能够相对于所述第二质量块在所述第一方向上移动的方式而被弹性地耦合到所述第二质量块,并且所述第三质量块按照使得所述第三质量块能够相对于所述衬底在所述第二方向上移动的方式而被弹性耦合到所述衬底;所述第三质量块被电容耦合到所述定子感测结构。2.根据权利要求1所述的陀螺仪,包括所在述衬底与所述第三质量块之间的第一弹性元件,所述第一弹性元件被配置为使得所述第三质量块能够相对于所述衬底在所述第二方向上移动并且防止所述第三质量块相对于所述衬底在所述第一方向上的移动。3.根据权利要求2所述的陀螺仪,包括在所述第三质量块与所述第二质量块之间的第二弹性元件,所述第二弹性元件被配置为使得所述第三质量块能够相对于所述第二质量块在所述第一方向上移动并且防止所述第三质量块相对于所述第二质量块在所述第二方向上的移动。4.根据权利要求3所述的陀螺仪,包括在所述衬底与所述第一质量块之间的第三弹性元件,所述第三弹性元件被配置为使得所述第一质量块能够相对于所述衬底在所述第一方向上移动并且防止所述第一质量块相对于所述衬底在所述第二方向上的移动。5.根据权利要求4所述的陀螺仪,包括在所述第一质量块与所述第二质量块之间的第四弹性元件,所述第四弹性元件被配置为使得所
\t述第二质量块能够相对于所述第一质量块在所述第二方向上移动并且防止所述第二质量块相对于所述第一质量块在所述第一方向上的移动。6.根据权利要求1所述的陀螺仪,其中所述第三质量块被耦合到所述定子感测结构,使得所述第三质量块与所述定子感测结构之间的电容由所述第三质量块相对于所述衬底的位置来确定。7.根据权利要求1所述的陀螺仪,其中:所述第三质量块包括被弹性地耦合到所述第二质量块和可动感测电极的集合的支撑元件;并且所述定子感测结构包括固定到所述衬底并且被电容耦合到相应的可动感测电极的定子感测电极的集合。8.根据权利要求1所述的陀螺仪,包括:固定到所述第一质量块的可动驱动电极;以及固定到所述衬底并且被电容耦合到相应的可动驱动电极的定子驱动电极。9.根据权利要求1所述的陀螺仪,其中所述第一质量块是多个第一质量块的一个,每个第一质量块被弹性地耦合到所述衬底,所述第一质量块相对于中心锚固对称地被布置并且在所述第一方向上对齐。10.根据权利要求9所述的陀螺仪,包括多个第四质量块,每个第四质量块被弹性地耦合到所述衬底,其中:所述多个第四质量块相对于所述中心锚固对称地被布置并且在垂直于所述第一方向的致动方向上对齐;每个第一质量块通过相应的另外的弹性悬置元件被耦合至每个所述第四质量块,每个第一质量块被配置为将所...
【专利技术属性】
技术研发人员:D·普拉蒂,C·瓦尔扎希纳,L·G·法罗尼,M·F·布鲁内托,
申请(专利权)人:意法半导体股份有限公司,
类型:发明
国别省市:意大利;IT
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