一种微机械陀螺仪正交误差补偿结构制造技术
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及微机械陀螺仪研究领域，具体地，涉及一种微机械陀螺仪正交误差补偿结构。
技术介绍
微机械陀螺仪结构基于Coriolis力原理工作，外界角速度将驱动方向的能量耦合到检测方向上引起检测质量块运动，从而实现角速度测量。但是，由于加工误差的存在，导致驱动运动直接耦合到检测方向上而不经过角速度的作用(如图1、图2所示)，因此产生的是误差信号。该误差信号的相位与驱动位移相同，与Coriolis信号相差90度，因此称为正交误差。为了提高微机械陀螺仪的精度，需要对正交误差进行补偿或抑制。由于正交误差与Coriolis信号相差90度，因此可以通过相敏解调来抑制正交误差，但是实际中由于解调信号与正交误差之间的相位不可能刚好相差90度，导致部分正交误差残留，且从电路上实现精确的相位控制会付出非常大的代价。电荷注入是补偿正交误差的另一种方法，该方法通过解调出正交误差信号，再将该信号反馈回检测前端运放，从而实现正交误差补偿。该方法的缺点同上，由于解调相位的偏差导致部分正交误差残留。另一种补偿正交误差的方法是，在驱动或检测质量块上增加施力电极，在施力电极上加载与正交误差运动反相...
【技术保护点】
一种微机械陀螺仪正交误差补偿结构，其特征在于，所述补偿结构包括：梳齿结构(1)和梳齿结构(2)，梳齿结构(1)包括：定齿(3)、定齿(4)、动齿(5)、连接件(6)，梳齿结构(2)包括：定齿(7)、定齿(8)、动齿(9)、连接件(10)；定齿(3)一端与连接件(6)的右上端连接，定齿(4)一端与连接件(6)的右下端连接，动齿(5)一端延伸至定齿(3)与定齿(4)之间，动齿(5)另一端质量块(11)的左侧连接；定齿(7)一端与连接件(10)的左下端连接，定齿(8)一端与连接件(6)的左上端连接，动齿(9)一端延伸至定齿(7)与定齿(8)之间，动齿(9)另一端质量块(11)的左...
【技术特征摘要】
1.一种微机械陀螺仪正交误差补偿结构，其特征在于，所述补偿结构包括：梳齿结构(1)和梳齿结构(2)，梳齿结构(1)包括：定齿(3)、定齿(4)、动齿(5)、连接件(6)，梳齿结构(2)包括：定齿(7)、定齿(8)、动齿(9)、连接件(10)；定齿(3)一端与连接件(6)的右上端连接，定齿(4)一端与连接件(6)的右下端连接，动齿(5)一端延伸至定齿(3)与定齿(4)之间，动齿(5)另一端质量块(11)的左侧连接；定齿(7)一端与连接件(10)的左下端连接，定齿(8)一端与连接件(6)的左上端连接，动齿(9)一端延伸至定齿(7)与定齿(8)之间，动齿(9)另一端质量块(11)的左侧连接；其中，动齿(5)、动齿(9)与质量块(11)具有相同电位，定齿(3)、定齿(4)、定齿(7)、与定齿(8)具有相同电位，动齿(5)、动齿(9)、质量块(11)与定齿(3)、定齿(4)、定齿(7)、定齿(8)之间具有一直流电压V...
【专利技术属性】
技术研发人员：王志，周骏，王龙峰，山永启，雷龙海，
申请(专利权)人：四川纳杰微电子技术有限公司，
类型：发明
国别省市：四川;51
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