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一种微机械陀螺仪正交误差补偿结构制造技术
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文档序号:14826999
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本发明公开了一种微机械陀螺仪正交误差补偿结构,所述补偿结构包括:2个梳齿结构,梳齿结构包括:定齿、定齿、动齿、连接件,其中,定齿与动齿之间加载有直流电压VDC,实现了结构设计合理,简单的实现了补偿正交误差的技术效果。...
该专利属于四川纳杰微电子技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过四川纳杰微电子技术有限公司授权不得商用。
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