本实用新型专利技术公开一种MEMS陀螺仪的机械耦合误差抑制装置，该装置包括上下两层，上层为硅微陀螺仪的机械结构，下层为粘附有信号引线的玻璃衬底，陀螺仪的机械结构由左右对称放置的两个完全相同的子结构构成，两个子结构之间分别通过驱动耦合折叠梁与横梁连接，使得两个子结构在驱动模态和检测模态都相互关联。本实用新型专利技术中驱动解耦梁采用单梁的形式，及设定横梁下梁与检测折叠梁的刚度比，在结构设计上消除检测机构的转动效应和机械耦合误差。调整基座横梁的长度及锚点的位置，使检测模态下检测机构的运动是线性的。平衡稳固梁的采用，并设定与驱动耦合折叠梁的刚度比，使质量块的左右的驱动机构的运动状态保持一致。
【技术实现步骤摘要】
本技术属于MEMS (微机电系统）和微惯性测量技术，特别涉及一种MEMS陀螺 仪的机械耦合误差抑制装置与方法。
技术介绍
20世纪80年代中期，随着半导体加工技术的进步，机械结构与电子系统的微型化 与集成一一微机电系统（MEMS)技术的出现，给惯性传感器领域带来一场革命。自德雷珀实 验室于1991年首次展示其研制的硅微陀螺仪以来，基于表面加工、体硅加工或者两者混合 加工技术的硅微陀螺仪不断涌现。微机械陀螺仪以其微型化与集成化、可靠性高、功耗低、 易于数字化和智能化、响应快等优异性能，决定了它具有广阔的应用前景和军事应用价值。 硅微陀螺仪根据不同的性能等级可分为速率级、战术级及惯导级。速率机的硅微陀螺仪可 用在汽车、机器人、工业控制、玩具等领域。战术级的硅微陀螺仪主要用于空中、地面、海上 导航及姿态航向的基准系统，战术导弹、智能炮弹、新概念武器等军事领域。惯导级的硅微 陀螺仪用于战略导弹、空间飞行器、自主式潜艇导航等领域，惯性级硅微陀螺仪也成为各发 达国家研究的热点。 我国对于硅微陀螺仪的研究起步较晚，目前对于硅微陀螺仪的研究仍停留在实验 室阶段，且各项性能指标远远滞后，严重限制了自主研制的硅微陀螺仪的军事应用和商用 化进程。基于单质量硅微陀螺仪理论基础的双质量硅微陀螺仪，通过驱动模态的同幅同频 反向驱动，实现敏感模态哥氏加速度的差分检测，它能够有效地消除轴向加速度等共模干 扰的影响，环境适应性较强，是工程应用的首选结构。但由于加工缺陷等因素的存在，驱动 模态的振动能量也会耦合到检测模态，产生较大的输出误差。针对这一情况，硅微陀螺仪的 结构设计经历了从不解耦到半解耦，再到全解耦的发展过程。全解耦的结构从形式上看解 耦最彻底，但由于某些结构设计存在的缺陷，使得两者之间依然存在一定的耦合效应，而且 还可能产生部分结构扭转、随动等效应，这样就使硅微陀螺仪的性能降低。因此，在设计过 程中应注意结构的形式及相关结构的布局，从本质上减小误差，提高硅微陀螺仪的性能。
技术实现思路
专利技术目的：为了克服现有技术中存在的不足，本技术提供一种驱动模态和检 测模态的全解耦、检测灵敏度高、抗干扰能力强、温度性能优越、正交误差小的MEMS陀螺仪 的机械耦合误差抑制装置。 技术方案：为实现上述目的，本技术的MEMS陀螺仪的机械耦合误差抑制装 置，包括上下两层，上层为振动机械结构，下层为玻璃衬底； 所述玻璃衬底包括若干电极引线与若干键合点，所述电极引线包括公共电极、驱 动电极与检测电极三种； 所述振动机械结构包括两个左右对称放置的完全相同的单质量角速度测量单元 子结构；振动机械结构四角处设有四个整体固定锚点，两个单质量角速度测量单元子结构 之间连接有驱动耦合折叠梁，且两个单质量角速度测量单元子结构的上下各有一根横梁， 且两个单质量角速度测量单元子结构同一侧的横梁相连；所述横梁通过基座直梁与整体固 定锚点连接；在驱动模态下，两个单质量角速度测量单元子结构通过驱动耦合折叠梁建立 关联，在检测模态下，两个单质量角速度测量单元子结构之间通过横梁建立关联； 每个单质量角速度测量单元子结构均包括敏感质量、驱动机构、检测机构、结构稳 固平衡梁、驱动折叠梁、检测折叠梁、驱动解耦梁、检测解耦梁与子结构固定锚点；所述驱动 机构位于敏感质量的左右两侧，所述检测机构位于敏感质量的上下两侧，所述驱动机构与 检测机构围成一个口字形，敏感质量位于口字形正中，口字形内部四角处设置有四个子结 构固定锚点；所述驱动机构与敏感质量之间连有检测解耦梁，检测解耦梁位于敏感质量的 上下两侧，驱动机构的运动方向为左右方向；检测机构与敏感质量之间连有驱动解耦梁，驱 动解耦梁位于敏感质量的左右两侧，检测机构运动的平衡点在驱动解耦梁与检测机构的连 接点处，且检测机构的运动方向为上下方向；驱动机构、检测机构、驱动解耦梁、检测解耦梁 四者组成一个田字；驱动机构上下两侧设有驱动折叠梁，驱动折叠梁将驱动机构固定在子 结构固定锚点上；检测机构左右；两侧设有检测折叠梁，检测折叠梁将检测机构固定在子 结构固定锚点上；所述驱动折叠梁与检测折叠梁均匀离各自最近的子结构固定锚点相连； 同时通过横梁下梁与横梁相连，所述横梁下梁位于检测机构靠近横梁的一侧； 每个整体固定锚点与子结构固定锚点分别固接于玻璃衬底上的不同的键合点，使 振动机械结构悬浮在玻璃衬底上；两个敏感质量各有一个公共电极与之相连。 进一步地，所述驱动机构上下两侧还设有结构稳固平衡梁，所述结构稳固平衡梁 与离其最近的整体固定锚点连接。 进一步地，所述驱动解耦梁采用单梁的形式。 进一步地，所述横梁下梁采用单梁的形式，且与横梁单点连接。 进一步地，所述驱动机构包含两组驱动梳齿，两组驱动梳齿左右对称布置，每组驱 动梳齿均包括活动驱动梳齿与固定驱动梳齿，活动驱动梳齿连在驱动机构的边框上，固定 驱动梳齿与固定驱动梳齿锚点连接，且与活动驱动梳齿镶嵌式布置，固定驱动梳齿锚点固 连在所述玻璃衬底上的对应位置的键合点上；同时所有固定驱动梳齿与玻璃衬底上的驱动 电极连接。 进一步地，所述检测机构包含两组检测梳齿，两组检测梳齿上下对称布置，每组检 测梳齿均包括活动检测梳齿与固定检测梳齿，活动检测梳齿连在检测机构的边框上，固定 检测梳齿与固连在玻璃衬底上的固定检测梳齿锚点连接，且与活动检测梳齿镶嵌式布置， 固定检测梳齿锚点固连在所述玻璃衬底上的对应位置的键合点上；同时所有固定检测梳齿 与玻璃衬底上的检测电极连接。 有益效果：（1)驱动解耦梁采用长度较长的单梁，梁的刚度减小，减少检测机构在 驱动方向的随动效应，单梁的占用空间变小，更易放置，与横梁下梁和检测折叠梁的刚度配 合，可以消除检测机构在驱动模态下的转动效应。单梁的使用可以使敏感质量的质量增大， 敏感质量的转动效应减小，增加系统的稳定性，且单梁的使用，敏感质量的转动效应向检测 机构的传递会大大减小；（2)横梁下梁采用单梁的形式，且与横梁单点连接，可以减小在检 测模态下横梁的非线性变形对检测机构的影响，减少检测机构的转动效应，与检测折叠梁 共同限制检测机构，使其只在检测方线性运动；（3)横梁下梁与横梁的连接点是横梁非线 性变形的极点，可减小在检测模态下横梁非线性变形向检测机构的传递；(4)结构稳固平 衡梁的采用，并通过设定结构稳固平衡梁与驱动耦合梁的刚度比，驱动耦合梁的存在造成 子结构左右驱动机构受力不均衡的现象，使左右驱动机构运动状态保持一致，且结构稳固 平衡梁可以使检测模态下的驱动机构的转动效应减小。【附图说明】 附图1是本技术MEMS陀螺仪的机械耦合误差抑制装置结构示意图； 附图2是本技术机械耦合误差抑制机构结构示意图； 附图3是本技术MEMS陀螺仪的驱动机构和驱动反馈机构示意图； 附图4是本技术MEMS陀螺仪的检测机构示意图； 附图5是本技术MEMS陀螺仪的玻璃衬底示意图。【具体实施方式】 下面结合附图对本技术作更进一步的说明。 结合附图1，本技术MEMS陀螺仪的机械耦合误差抑制方法和装置实现对垂直 于x-y水平面的输入角速度的测量。结构分为上下两层，上层为硅微陀螺仪的振动机械结 构，下层为粘附有信号引线的玻璃衬底。陀螺的机械结构由两个对称放本文档来自技高网...
【技术保护点】
MEMS陀螺仪的机械耦合误差抑制装置，其特征在于：包括上下两层，上层为振动机械结构，下层为玻璃衬底；所述玻璃衬底包括若干电极引线与若干键合点，所述电极引线包括公共电极、驱动电极与检测电极三种；所述振动机械结构包括两个左右对称放置的完全相同的单质量角速度测量单元子结构；振动机械结构四角处设有四个整体固定锚点，两个单质量角速度测量单元子结构之间连接有驱动耦合折叠梁，且两个单质量角速度测量单元子结构的上下各有一根横梁，且两个单质量角速度测量单元子结构同一侧的横梁相连；所述横梁通过基座直梁与整体固定锚点连接；在驱动模态下，两个单质量角速度测量单元子结构通过驱动耦合折叠梁建立关联，在检测模态下，两个单质量角速度测量单元子结构之间通过横梁建立关联；每个单质量角速度测量单元子结构均包括敏感质量、驱动机构、检测机构、结构稳固平衡梁、驱动折叠梁、检测折叠梁、驱动解耦梁、检测解耦梁与子结构固定锚点；所述驱动机构位于敏感质量的左右两侧，所述检测机构位于敏感质量的上下两侧，所述驱动机构与检测机构围成一个口字形，敏感质量位于口字形正中，口字形内部四角处设置有四个子结构固定锚点；所述驱动机构与敏感质量之间连有检测解耦梁，检测解耦梁位于敏感质量的上下两侧，驱动机构的运动方向为左右方向；检测机构与敏感质量之间连有驱动解耦梁，驱动解耦梁位于敏感质量的左右两侧，检测机构运动的平衡点在驱动解耦梁与检测机构的连接点处，且检测机构的运动方向为上下方向；驱动机构、检测机构、驱动解耦梁、检测解耦梁四者组成一个田字；驱动机构上下两侧设有驱动折叠梁，驱动折叠梁将驱动机构固定在子结构固定锚点上；检测机构左右；两侧设有检测折叠梁，检测折叠梁将检测机构固定在子结构固定锚点上；所述驱动折叠梁与检测折叠梁均匀离各自最近的子结构固定锚点相连；同时通过横梁下梁与横梁相连，所述横梁下梁位于检测机构靠近横梁的一侧；每个整体固定锚点与子结构固定锚点分别固接于玻璃衬底上的不同的键合点，使振动机械结构悬浮在玻璃衬底上；两个敏感质量各有一个公共电极与之相连。...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：杨波，邓允朋，王行军，胡迪，吴磊，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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