角速度传感器制造技术

一种角速度传感器，通过４个质量部相互以逆相位振动使质量部的振动状态稳定，并提高检测精度和可靠性。其特征在于，由外侧支持梁（１２）连接质量部（２、６、１０、１１），由固定部（１４）将该支持梁（１２）中与质量部（２、１１）和质量部（６、１０）以逆相位振动时的节对应的节部（１２Ａ）固定于基板（１）上。并且，４个质量部在将其全体的重心（Ｇ）大致保持于一定的位置的状态下沿Ｘ轴方向进行振动，通过使质量部（２、６）根椐Ｚ轴周围的角速度（Ω）沿Ｙ轴方向变位并将其变位量作为角速度进行检测。由此，可使质量部的振动状态稳定化，同时可由Ｙ轴方向上的对称形状补弥其尺寸误差等，可提高传感器的检测精度和可靠性。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及例如适用于检测角速度的角速度传感器。
技术介绍
作为角速度传感器，已知通常由以下构件组成，即，基板；由该基板通过支持梁可于相互正交的2个方向变位地支持的质量部；沿前述2个方向中的与基板平行的振动方向使该质量部振动的振动发生装置；及以所述质量部在与所述振动方向正交的检测方向上变位时的变位量作为角速度进行检测的角速度检测装置(例如参照日本专利特开平5-312576)。这种传统技术的角速度传感器在相对基板平行的X轴、与Y轴垂直的Z轴中，例如使质量部沿着X轴方向以所定振幅进行振动，在此状态下，一旦施加Z轴周围的角速度，则在质量部上产生Y轴方向的科里奥利力。由此，因质量部沿Y轴方向变位，故角速度检测装置通过将此时的质量部变位量作为静电容量等的变化进行检测，并输出与角速度对应的检测信号。在此场合，质量部由设于基板的支持梁沿X轴方向等可变位(振动)地支持。并且，该支持梁将基端侧固定于基板，将前端侧与质量部连结，并且在角速度传感器作动时通过支持梁的挠曲变形使质量部沿X轴方向振动。又，在例如日本专利特开平7-218268号公报中记载的另一传统技术中，使用一种称之为音叉型罗盘的角速度传本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种角速度传感器，其特征在于，包括：基板；留有间隙地与该基板对向、由相互正交的Ｘ轴、Ｙ轴、Ｚ轴组成的３轴方向中沿Ｙ轴方向并列配置的４个质量部；沿Ｘ轴方向可变位地与该各质量部连结的支持梁；设于该支持梁与所述基板间、将该支持梁固定于所述基板上的固定部；通过使所述各质量部中的至少一部分质量部振动、使相互邻接的质量部以逆相位沿Ｘ轴方向进行振动的振动发生装置；以及在所述４个质量部中将Ｙ轴方向中心位置夹在其间地配置于对称位置的２个质量部上产生角速度作用时该质量部将沿Ｙ轴和Ｚ轴中至少某一方的轴向变位的变位量作为角速度进行检测的角速度检测装置。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：持田洋一，小中义宏，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：JP[日本]