微热流陀螺仪制造技术

微热流陀螺仪，采用双向流体分流通道结构，由驱动膜振动变形控制腔体体积周期的交替变化，产生两股速度大小和温度完全相同，而速度方向相反的流体，流体分别流经各自的缓冲腔和主微流通道，分流至对称布置的带有热敏器件的分流通道，热敏器件与流体之间的对流传热包含有角速度信息，通过检测两对对称布置热敏器件的温差获得角速度。本发明专利技术的优点是能有效减小离心力耦合对检测精度的负面影响，使检测精度和量程可以同时达到优化，适用于匀角速度和非匀角速度的场合，结构简单，灵敏度和分辨率高。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种传感器，特别涉及一种检测角速度的微热流陀螺仪。技术背景陀螺仪在各个领域中已经得到广泛应用，如军事上可用于导弹惯性制导、工业上可用于汽车或机器人运动监测以及各类消费电子产品等。对小尺寸、低成本、高性能和高可靠性微机械陀螺仪的极大需求将促进这类产品的产业化。目前已经研制出的微机械陀螺仪加工工艺较复杂，其原理一般基于电容、压电效应造成电路复杂，导致其成本居高不下。美国专利5012676提出了一种气体陀螺仪。它以泵为核心工作部件，基于哥式力作用下的射流与对称布置的热敏器件对流传热有差异来检测角速度。当无角速度时，射流不偏转，两热敏器件检测的温度相同；当存在角速度时，射流偏转，两热敏器件检测的温度存在差异，通过测量温差获得角速度。该陀螺仪存在一个缺点：在非匀角速度的情况下，哥式力和角加速度引起的切向力都将导致射流偏转，因此，热敏器件间的温差同时包含角速度和角加速度信息。中国专利01129222.9提出了一种以气体为工作流体的双向合成喷射流陀螺仪。它采用合成喷产生两股速度大小相同，速度方向相反的射流，由对称布置在腔体中心线两侧的一对或多对热敏器件检测射流偏转，从而获得角速本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微热流陀螺仪，主要包括：外壳、基体、热敏器件、检测驱动电路，其特征在于所述在基体（１）上设有腔体（２）、第一锥形收缩管（３ａ）、第二锥形收缩管（３ｂ）、第三锥形收缩管（３ｃ）、第四锥形收缩管（３ｄ）、第一锥形扩散管（４ａ）、第二锥形扩散管（４ｂ）、第一缓冲腔（５ａ）、第二缓冲腔（５ｂ），第一主微流通道（６ａ）、第二主微流通道（６ｂ）、第一分流通道（７ａ）、第二分流通道（７ｂ）、第三分流通道（７ｃ）、第四分流通道（７ｄ）、回流管道（１０），腔体（２）位于基体（１）的中心，第一锥形收缩管（３ａ）、第二锥形收缩管（３ｂ）通过腔体（２）、第一锥形扩散管（４ａ）、第一缓冲腔（５ａ）、第一主微流通道（...

【技术特征摘要】
1.一种微热流陀螺仪，主要包括：外壳、基体、热敏器件、检测驱动电路，其特征在于所述在基体(1)上设有腔体(2)、第一锥形收缩管(3a)、第二锥形收缩管(3b)、第三锥形收缩管(3c)、第四锥形收缩管(3d)、第一锥形扩散管(4a)、第二锥形扩散管(4b)、第一缓冲腔(5a)、第二缓冲腔(5b)，第一主微流通道(6a)、第二主微流通道(6b)、第一分流通道(7a)、第二分流通道(7b)、第三分流通道(7c)、第四分流通道(7d)、回流管道(10)，腔体(2)位于基体(1)的中心，第一锥形收缩管(3a)、第二锥形收缩管(3b)通过腔体(2)、第一锥形扩散管(4a)、第一缓冲腔(5a)、第一主微流通道(6a)分别与第一分流通道(7a)、第二分流通道(7b)相连通，再接到回流管道(10)，第一热敏器件(8a)、第二热敏器件(8b)分别对称置于第一分流通道(7a)、第二分流通道(7b)中，第三锥形收缩管(3c)、第四锥形收缩管(3d)通过腔体(2)、第二锥形扩散管(4b)、第二缓冲腔(5b)、第二主微流通道(6b)分别与第三分流通道(7c)、第四分流通道(7d)相连通，再接到回流管道...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘胜，艾叶，罗小兵，
申请(专利权)人：刘胜，
类型：发明
国别省市：31[]