角速度传感器制造技术

一种角速度传感器（100）包括振动器（51）、支承基板（10）、锚段（30）、连接梁段、驱动段以及检测段。振动器（51）包括内部振动器（56）和外部振动器（57），它们在由驱动段驱动时在相反的圆周方向上振动。连接梁段将振动器（51）结合至锚段（30），并且在z方向上和圆周方向上是弹性的。连接梁段包括第一连接梁（80）和第二连接梁（81），每个第一连接梁（80）在一端处结合至外部振动器（57）并且在另一端处结合至内部振动器（56），每个第二连接梁（81）在一端处结合至相应第一连接梁（80）的振动节点（P2）并且在另一端处结合至锚段。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及角速度传感器，其包括布置为在高度上远离支承基板的振动器以及布置为距基板的高度与振动器相等并且经由连接梁结合至振动器的多个锚。
技术介绍
如在JP-A-2010-151808 (相应于US2010/0126269)中公开的，集成微机电结构是公知的。在这种结构中，驱动块经由弹性锚固定至基板。驱动块由绕着竖直轴线的驱动运动而致动，由此在垂直于竖直轴线的平面上执行旋转运动。在角速度施加至运动的驱动块时，角速度在驱动块上产生科氏力。在JP-A-2010-151808中公开的微机电结构中，角速度通过检测由科氏力引起的驱动块的位移来检测。 如JP-A-2010-151808的图4中所示，驱动块具有环形形状。在微机电结构中，第ー锚布置于由环形驱动块的内表面包围的第一区域中。而且，四个第二锚布置于定义为环形驱动块的外表面的外部区域的第二区域中。另外四个第一弹性锚以如此的方式布置以使得第一锚结合至每个第一弹性锚的一端并且每个第一弾性锚的另一端结合至环形驱动块的内表面。而且，四个第二弹性锚以如此的方式布置以使得每个第二弹性锚的一端结合至环形驱动块的外表面并且每个第二弾性锚的另一端结合至相应的第本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种角速度传感器（100），其包括：振动器（51），其布置于由相互垂直的x方向和y方向限定的x？y平面上，振动器（51）包括在x？y平面上具有环形平面形状的外部振动器（57）以及在x？y平面上具有环形平面形状的内部振动器（56），内部振动器（56）布置于由外部振动器（57）的内表面（57a）包围的区域中；支承基板（10），其在垂直于x？y平面的z方向上布置为远离所述振动器（51）；锚段（30），其从支承基板（10）延伸至所述振动器（51）布置于其上的x？y平面；将所述振动器（51）结合至所述锚段（30）的连接梁段，连接梁段在z方向上具有弹性并且在绕着z方向的圆周方向上具有弹性；驱动段，其在圆周...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：胜间田卓，樋口祐史，
申请(专利权)人：株式会社电装，
类型：发明
国别省市：