下载角速度传感器的技术资料

文档序号:8160120

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一种角速度传感器(100)包括振动器(51)、支承基板(10)、锚段(30)、连接梁段、驱动段以及检测段。振动器(51)包括内部振动器(56)和外部振动器(57),它们在由驱动段驱动时在相反的圆周方向上振动。连接梁段将振动器(51)结合至锚...
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