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角速度传感器制造技术
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文档序号:8160120
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一种角速度传感器(100)包括振动器(51)、支承基板(10)、锚段(30)、连接梁段、驱动段以及检测段。振动器(51)包括内部振动器(56)和外部振动器(57),它们在由驱动段驱动时在相反的圆周方向上振动。连接梁段将振动器(51)结合至锚...
该专利属于株式会社电装所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社电装授权不得商用。
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