【技术实现步骤摘要】
位移传感器及其制造方法
本专利技术涉及用于检测角速度和加速度的位移传感器。
技术介绍
以往，已经使用三轴加速度传感器(three-axis acceleration sensors)，其利用电容在三个轴即X、Y和Z轴上检测加速度(例如，请见JP-A-4-299227(第一专利文件))。此外，以往也类似地已经使用利用电容检测角速度的角速度传感器(例如，请见JP-A-10-227644(第二专利文件))。近些年，例如为了检测数字相机的手动震颤已经使用位移传感器，这比如可以检测加速度的加速度传感器或可以检测角速度的角速度传感器，并且对位移传感器需求已经增加。特别是，小尺寸的位移传感器有很大的需求量，并且利用电容的位移传感器引人注目，这是因为这种位移传感器尺寸可被减小并且结构简单。通常，利用电容的位移传感器每个都具有作为移动电极的探测部分(plumb section)和固定电极，移动电极由具有弹性的梁部分可移动地支撑，而固定电极部分与探测部分相分离，因此通过固定电极部分检测探测部分的位移来检测作用在探测部分上的加速度。此外，最近已经提出了五轴位移传感器(下称“五轴位移传...
【技术保护点】
一种微机械，包括：由导体形成的可动部分；和由导体形成的支撑部分，其中该可动部分和该支撑部分彼此分隔，绝缘层提供在该导体上，导电层提供在该绝缘层上，并且该导电层形成为跨过该可动部分和该支撑部分。
【技术特征摘要】
JP 2006-4-21 118157/061、一种微机械，包括：由导体形成的可动部分；和由导体形成的支撑部分，其中该可动部分和该支撑部分彼此分隔，绝缘层提供在该导体上，导电层提供在该绝缘层上，并且该导电层形成为跨过该可动部分和该支撑部分。2、一种位移传感器，包括：下基板，具有第一电极部分；上基板，具有第二电极部分；振动器，通过弹性梁部分移动地支撑，并且由在该下基板和该上基板之间的中间基板形成，该中间基板具有三层结构，包括第一导电层、绝缘层和第二导电层；支撑部分，由该第一导电层、该绝缘层和该第二导电层形成，并且支撑该梁部分；和导通部分，由该导电层、该绝缘层和该第二导电层形成，与该支撑部分电隔离，并且引出该第一电极部分到该上基板，由此该振动器的位移通过该第一电极部分和该第二电极部分检测，以检测角速度和加速度中的至少一个，其中该第二导电层设置成跨过该导通部分和该支撑部分。3、一种位移传感器，包括：下基板，具有第一电极部分；上基板，具有第二电极部分；振动器，通过弹性梁部分可移动地支撑，并且由在该下基板和该上基板之间的中间基板形成，该中间基板具有三层结构，包括第一导电层、绝缘层和第二导电层；支撑部分，由该第一导电层、该绝缘层和该第二...
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