十字架结构的二维风速风向传感器及其制备方法技术

十字架结构的二维风速风向传感器涉及一种基于微机械（ＭＥＭＳ）剥离工艺的二维热膜风速风向传感器，尤其是采用玻璃，陶瓷等非硅材料作为衬底制备的热膜风速传感器。该传感器采用玻璃衬底，中央的加热电阻（１）为十字架结构。第一测温电阻（２），第二测温电阻（３），第三测温电阻（４），第四测温电阻（５），分别对称分布在十字架结构加热电阻之间。通过测量四个测温电阻两两之间的温度差，就可以反映风速风向信息。该传感器具有工艺简单可靠，灵敏度高，低功耗，响应时间快等优点。

【技术实现步骤摘要】
十字架结构的二维风速风向传感器及其制备方法
本专利技术涉及一种基于微机械(MEMS)剥离工艺的二维热膜风速风向传感器，尤其是采用玻璃，陶瓷等非硅材料作为衬底制备的热膜风速传感器。
技术介绍
风速、风向是气象测量中非常重要的组成部分。众所周知，利用机械加工的风杯和风向标虽然也能测量风速和风向，但这些机械装置因具有移动部件而易磨损，同时具有体积较大，价格昂贵，需要经常维护等缺点。基于MEMS加工技术的微型流速传感器具有体积小，价格低，产品一致性好的特点，是近几年来流体传感器研究的热点。Van Putten(人名)在1974年提出了第一个基于硅微加工技术的热线式流量传感器。为了同时测量风速和风向信息，Honeywell(公司名)等提出了基于热温差原理的热流量传感器。Huijsing(人名)等人提出了正方形加热条结构的风速传感器，其采用热电堆测量温差，可以测量二维的风速和风向。但是，由于硅衬底的高热导率，这类传感器的功耗较大，灵敏度较低。采用背面腐蚀或者正面腐蚀的方法形成绝热薄膜，可以提高灵敏度，但是结构易损坏，不利于后道工艺和封装。
技术实现思路
技术问题：本专利技术的目的是提出一种十字架结本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种十字架结构的二维风速风向传感器，其特征在于该传感器采用玻璃衬底，中央的加热电阻（１）为十字架结构。第一测温电阻（２），第二测温电阻（３），第三测温电阻（４），第四测温电阻（５），分别对称分布在十字架结构加热电阻之间。对称分布在玻璃衬底周围的１６个压焊块（６），对加热电阻和四个测温电阻进行分别引出。

【技术特征摘要】
1.一种十字架结构的二维风速风向传感器，其特征在于该传感器采用玻璃衬底，中央的加热电阻(1)为十字架结构。第一测温电阻(2)，第二测温电阻(3)，第三测温电阻(4)，第四测温电阻(5)，分别对称分布在十字架结构加热电阻之间。对称分布在玻璃衬底周围的16个压焊块(6)，对加热电阻和四个测温电阻进行分别引出。2.根据权利要求1所述的十字架结构的二维风速风向传感器，其特征在于衬底采用陶瓷或其它低热导率的材料。3.根据权利要求1或2所述的十字架结构的二维风速风向传感器，其特征在于加热电阻(1)、...

【专利技术属性】
技术研发人员：秦明，沈广平，黄庆安，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：发明
国别省市：84[中国|南京]