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十字架结构的二维风速风向传感器涉及一种基于微机械（ＭＥＭＳ）剥离工艺的二维热膜风速风向传感器，尤其是采用玻璃，陶瓷等非硅材料作为衬底制备的热膜风速传感器。该传感器采用玻璃衬底，中央的加热电阻（１）为十字架结构。第一测温电阻（２），第二测温电...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

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