【技术实现步骤摘要】
基于可变直径微光纤环的光学微机械加速度传感器及其方法
本专利技术涉及一种基于可变直径微光纤环的光学微机械加速度传感器及其方法。
技术介绍
加速度传感器是一种利用已知可以探测的物理量去传感或间接测量加速度变化的传感器件，它在航空航天、导弹定位制导、工业制造以及车辆安装装置等领域都有着广泛的应用。目前有各种基于不同传感原理的加速度传感器，近几年随着微机械加工工艺的进步，基于该工艺的微机械加速度传感器也得到了迅速地发展，微机械加速度传感器相比于常规的加速度传感器具有集成度高、体积小、功耗低等显著优势，但目前绝大多数的微机械加速度传感器却存在着测量精度低、测量动态范围小的缺点。为了能够提高微机械加速度传感器的测量精度和动态范围，并结合光学在精密测量领域有其独特的优势，因此采用光学与微机械工艺相结合的光学微机械(MOEMS)加速度传感器成为了其中一个重要的发展方向。在现有报道中，光纤微机械加速度传感器多是采用普通光纤测量由外界加速度变化引起光强变化的方法，然而光强测量在抗干扰能力方面的不足制约了此类传感器的实用化，为了解决光强测量抗干扰能力差的问题，出现了采用普通光纤端面...
【技术保护点】
一种基于可变直径微光纤环的光学微机械加速度传感器，其特征在于具有硅基底（１３），在硅基底上刻有圆形凹槽，圆形凹槽内放置有直径可变的微光纤环（１），微光纤环两端分别为标准光纤输入端（３）、标准光纤输出端（４），微光纤环的交叉处为微光纤环耦合区（２），耦合区中两根交叉的微光纤为轴向平行，微光纤环耦合区上方设有加速度传感装置，加速度传感装置具有可动质量块（９），可动质量块经弹性微悬臂梁（１０）与固定架相连，耦合区两根微光纤中的一根微光纤固定在可动质量块上，另一根微光纤固定在硅基底上。
【技术特征摘要】
1.一种基于可变直径微光纤环的光学微机械加速度传感器，其特征在于具有硅基底(13)，在硅基底上刻有圆形凹槽，圆形凹槽内放置有直径可变的微光纤环(1)，微光纤环两端分别为标准光纤输入端(3)、标准光纤输出端(4)，微光纤环的交叉处为微光纤环耦合区(2)，耦合区中两根交叉的微光纤为轴向平行，微光纤环耦合区上方设有加速度传感装置，加速度传感装置具有可动质量块(9)，可动质量块经弹性微悬臂梁(10)与固定架相连，耦合区两根微光纤中的一根微光纤固定在可动质量块上，另一根微光纤固定在硅基底上。2.如权利要求1所述的一种基于可变直径微光纤环的光学微机械加速度传感器，其特征在于所述的微光纤直径为1～25微米。3.如权利要求1所述的一种基于可变直径微光纤环的光学微机械加速度传感器，其特征在于所述的硅基底(13)、可动质量块(9)与微光纤接触表面镀有氟化镁薄膜，氟化镁薄膜的厚度为0.3-1微米。4.如权利要求1所述的一种基于可变直径微光纤环的...
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