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本发明提供了一种微机械，包括由导体形成的活动部分和由导体形成的支撑部分，其中活动部分和支撑部分彼此分隔，绝缘层设置在导体上，导电层设置在绝缘层上，并且导电层形成为跨过活动部分和支撑部分。本发明还提供了一种位移传感器及其制作方法。...
该专利属于索尼株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过索尼株式会社授权不得商用。

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