具有垂直结构的晶体管和电子装置制造方法及图纸

技术编号:24291457 阅读:32 留言:0更新日期:2020-05-26 20:37
具有垂直结构的晶体管和电子装置。一种电子装置包括:面板;驱动器电路,其被配置为驱动所述面板;以及晶体管,其被设置在所述面板中,所述晶体管包括:第一电极,其被设置在基板上,绝缘图案,其被设置在所述基板上,所述绝缘图案与所述第一电极的边缘交叠,第二电极,其被设置在所述绝缘图案的上表面上,有源层,其被设置在所述第一电极、所述绝缘图案和所述第二电极上,栅极绝缘膜,其被设置在所述有源层上,以及栅极,其被设置在所述栅极绝缘膜上。

Transistors and electronic devices with vertical structure

【技术实现步骤摘要】
具有垂直结构的晶体管和电子装置
示例实施方式涉及一种具有垂直结构的晶体管和电子装置。
技术介绍
响应于信息社会的发展,对诸如显示装置和照明装置之类的一系列电子装置的各种需求正在增加。这种电子装置可以包括其中设置有数据线和选通线的面板、驱动数据线的数据驱动器以及驱动选通线的选通驱动器。作为电子装置的关键组件的面板可以包括具有各种功能的大量晶体管以驱动面板。因此,面板制造工艺不可避免地变得复杂和困难。然而,问题在于,如果追求简化工艺,则晶体管的性能会降低。此外,晶体管应具有高水平的集成度,以实现电子装置的诸如高分辨率之类的优越特性。然而,由于与工艺、设计等相关的问题,致使晶体管的尺寸不能无限地减小。因此,希望调节晶体管占据的面积而不降低晶体管的特性。
技术实现思路
本公开的各个方面提供了一种能够实现短沟道和集成的具有垂直结构的晶体管和电子装置。还提供了一种由于晶体管的高S因子而增加操作裕度的具有垂直结构的晶体管和电子装置。还提供了一种有源层没有断裂(例如,在电路中没有不连续性)的具有垂直结构的晶体管和电子装置。还提供了一种由于减小的装置面积而能够实现超高分辨率面板的具有垂直结构的晶体管和电子装置。还提供了一种具有垂直结构的晶体管和电子装置,其中能够在减小非显示区域的尺寸的同时增加晶体管的驱动电流。示例实施方式可以提供一种电子装置,该电子装置包括面板和驱动面板的驱动电路。在电子装置中,示例实施方式可以提供一种设置在面板中的晶体管,该晶体管包括:第一电极,该第一电极被设置在基板上;绝缘图案,该绝缘图案被设置在基板上并与第一电极的一端交叠;第二电极,该第二电极被设置在绝缘图案的顶表面的一部分上;有源层,该有源层被设置在第一电极、绝缘图案和第二电极上;栅极绝缘膜,该栅极绝缘膜被设置在有源层上;以及栅极,该栅极被设置在栅极绝缘膜上。有源层的一端与第一电极交叠,有源层的另一端与第二电极交叠,沟道区域被设置在有源层的不与第一电极或第二电极交叠的部分中。沟道区域包括第一部分和第二部分,第一部分包括与绝缘图案的侧表面对应的区域,第二部分从第一部分延伸并且包括与绝缘图案的顶表面的不与第二电极交叠的一部分交叠的区域。栅极绝缘膜的在与绝缘图案的侧表面相对应的区域中的一部分的厚度比栅极绝缘膜的在与绝缘图案的顶表面的未与第二电极交叠的一部分交叠的区域中的一部分的厚度薄。绝缘图案可以包括其宽度在垂直地远离基板的方向上增加的区域。有源层的沟道区域的长度可以与绝缘图案的高度成正比。栅极绝缘膜可以包括:第一栅极绝缘膜,该第一栅极绝缘膜被设置在有源层的顶表面上,以与第一电极的一部分和第二电极的一部分或全部交叠;第二栅极绝缘膜,第二栅极绝缘膜被设置在第一栅极绝缘膜上,以与有源层的沟道区域交叠。第一栅极绝缘膜可以暴露有源层的设置在绝缘图案的侧表面上的一部分或全部。第一栅极绝缘膜可以包括第一区域和第二区域,第一区域与有源层的一端和第一电极的一部分交叠,并且第二区域与有源层的另一端和第二电极的一部分或全部交叠。第二区域可以设置在有源层的沟道区域中的与绝缘图案的一部分交叠而未与第二电极交叠的部分上。第二栅极绝缘膜的最厚区域可以比第一栅极绝缘膜的最薄区域薄。电子装置还可以包括设置在第一电极、绝缘图案和第二电极上并且设置在有源层下方的中间层。中间层可以是厚度为至的无机膜。中间层的厚度可以比第一栅极绝缘膜或第二栅极绝缘膜的厚度薄。在晶体管被设置在显示区域中的情况下,钝化层可以覆盖晶体管的栅极,像素电极可以位于钝化层上,以通过钝化层中的孔与第一电极或第二电极电连接。可以将数据电压施加到栅极。晶体管可以被设置在面板的显示区域中的多个子像素的每一个区域中。晶体管可以被包括在面板的位于显示区域的外围的非显示区域中所设置的选通驱动器电路中。在根据示例实施方式的具有垂直结构的晶体管和电子装置中,能够实现短沟道和集成。在根据示例实施方式的具有垂直结构的晶体管和电子装置中,由于晶体管的高S因子,致使操作裕度增加。在根据示例实施方式的具有垂直结构的晶体管和电子装置中,有源层没有断裂。在根据示例实施方式的具有垂直结构的晶体管和电子装置中,由于减小的装置面积,致使能够实现超高分辨率面板。在根据示例实施方式的具有垂直结构的晶体管和电子装置中,能够在减小非显示区域的尺寸的同时增加晶体管的驱动电流。附记1.一种电子装置,该电子装置包括:面板;驱动器电路,所述驱动器电路被配置为驱动所述面板;以及晶体管,所述晶体管被设置在所述面板中,所述晶体管包括:第一电极,所述第一电极被设置在基板上,绝缘图案,所述绝缘图案被设置在所述基板上,所述绝缘图案与所述第一电极的边缘交叠,第二电极,所述第二电极被设置在所述绝缘图案的上表面上,有源层,所述有源层被设置在所述第一电极、所述绝缘图案和所述第二电极上,栅极绝缘膜,所述栅极绝缘膜被设置在所述有源层上,以及栅极,所述栅极被设置在所述栅极绝缘膜上,其中,所述有源层的第一部分与所述第一电极交叠,所述有源层的第二部分与所述第二电极交叠,并且所述有源层的沟道区域在所述有源层的第一部分与所述有源层的第二部分之间,并且其中,所述沟道区域包括沿着所述绝缘图案的侧表面设置的第一沟道部和设置在所述绝缘图案的所述上表面的一部分上的第二沟道部,所述第二沟道部从所述第二电极的边缘延伸到所述第一沟道部。附记2.根据附记1所述的电子装置,其中,所述栅极绝缘膜的第一部分与所述第二沟道部交叠并且具有第一厚度,并且所述栅极绝缘膜的第二部分沿着所述绝缘图案的所述侧表面设置并且具有比所述栅极绝缘膜的所述第一部分的第一厚度小的第二厚度。附记3.根据附记1所述的电子装置,其中,所述绝缘图案的宽度在垂直地远离所述基板的方向上增加,或者其中,所述绝缘图案相对于所述基板具有倒锥形形状。附记4.根据附记1所述的电子装置,其中,所述有源层的所述沟道区域的长度与所述绝缘图案的高度成正比。附记5.根据附记1所述的电子装置,其中,所述栅极绝缘膜包括:第一栅极绝缘膜,所述第一栅极绝缘膜被设置在所述有源层的上表面上并且与所述第一电极的部分和所述第二电极的部分交叠;以及第二栅极绝缘膜,所述第二栅极绝缘膜被设置在所述第一栅极绝缘膜上并且与所述有源层的所述沟道区域交叠。附记6.根据附记5所述的电子装置,其中,所述第二栅极绝缘膜在相对于所述基板的垂直方向上与所述沟道区域交叠。附记7.根据附记5所述的电子装置,其中,所述第一栅极绝缘膜暴露所述有源层的沿着所述绝缘图案的所述侧表面的一部分。附记8.根据附记5所述的电子装置,其中,所述第一栅极绝缘膜被设置在所述有源层的整个沟道区域上,并且其中,设置在所述第一沟道部上的所述第一栅极绝缘膜的厚度比设置在所述第二沟道部上的所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电子装置,该电子装置包括:/n面板;/n驱动器电路,所述驱动器电路被配置为驱动所述面板;以及/n晶体管,所述晶体管被设置在所述面板中,所述晶体管包括:/n第一电极,所述第一电极被设置在基板上,/n绝缘图案,所述绝缘图案被设置在所述基板上,所述绝缘图案与所述第一电极的边缘交叠,/n第二电极,所述第二电极被设置在所述绝缘图案的上表面上,/n有源层,所述有源层被设置在所述第一电极、所述绝缘图案和所述第二电极上,/n栅极绝缘膜,所述栅极绝缘膜被设置在所述有源层上,以及/n栅极,所述栅极被设置在所述栅极绝缘膜上,其中,所述有源层的第一部分与所述第一电极交叠,所述有源层的第二部分与所述第二电极交叠,并且所述有源层的沟道区域在所述有源层的第一部分与所述有源层的第二部分之间,并且/n其中,所述沟道区域包括沿着所述绝缘图案的侧表面设置的第一沟道部和设置在所述绝缘图案的所述上表面的一部分上的第二沟道部,所述第二沟道部从所述第二电极的边缘延伸到所述第一沟道部。/n

【技术特征摘要】
20181120 KR 10-2018-01438171.一种电子装置,该电子装置包括:
面板;
驱动器电路,所述驱动器电路被配置为驱动所述面板;以及
晶体管,所述晶体管被设置在所述面板中,所述晶体管包括:
第一电极,所述第一电极被设置在基板上,
绝缘图案,所述绝缘图案被设置在所述基板上,所述绝缘图案与所述第一电极的边缘交叠,
第二电极,所述第二电极被设置在所述绝缘图案的上表面上,
有源层,所述有源层被设置在所述第一电极、所述绝缘图案和所述第二电极上,
栅极绝缘膜,所述栅极绝缘膜被设置在所述有源层上,以及
栅极,所述栅极被设置在所述栅极绝缘膜上,其中,所述有源层的第一部分与所述第一电极交叠,所述有源层的第二部分与所述第二电极交叠,并且所述有源层的沟道区域在所述有源层的第一部分与所述有源层的第二部分之间,并且
其中,所述沟道区域包括沿着所述绝缘图案的侧表面设置的第一沟道部和设置在所述绝缘图案的所述上表面的一部分上的第二沟道部,所述第二沟道部从所述第二电极的边缘延伸到所述第一沟道部。


2.根据权利要求1所述的电子装置,其中,所述栅极绝缘膜的第一部分与所述第二沟道部交叠并且具有第一厚度,并且所述栅极绝缘膜的第二部分沿着所述绝缘图案的所述侧表面设置并且具有比所述栅极绝缘膜的所述第一部分的第一厚度小的第二厚度。


3.根据权利要求1所述的电子装置,其中,所述绝缘图案的宽度在垂直地远离所述基板的方向上增加,或者
其中,所述绝缘图案相对于所述基板具有倒锥形形状。


4.根据权利要求1所述的电子装置,其中,所述有源层的所述沟道区域的长度与所述绝缘图案的高度成正比。


5.根据权利要求1所述的电子装置,其中,所述栅极绝缘膜包括:
第一栅极绝缘膜,所述第一栅极绝缘膜被设置在所述有源层的上表面上并且与所述第一电极的部分和所述第二电极的部分交叠;以及
第二栅极绝缘膜,所述第二栅极绝缘膜被设置在所述第一栅极绝缘膜上并且与所述有源层的所述沟道区域交...

【专利技术属性】
技术研发人员:赵寅晫徐廷锡朴世熙朴在润成相润
申请(专利权)人:乐金显示有限公司
类型:发明
国别省市:韩国;KR

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