搬送单元的监视方法、监视装置、监视用模型及存储介质制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种检测搬送单元的异常的征兆的搬送单元的监视方法、监视装置、监视用模型及存储介质。搬送单元搬送被搬送体，且具有：搬送部，其设置于基板处理装置，并且保持被搬送体并进行搬送；以马达，其驱动搬送部，该监视方法包括以下工序：计算工序，在将作为马达的状态的指标的值设为状态值，将表示关于搬送单元获取的多个种类的所述状态值的关系的模型设为关系模型时，基于通过机器学习得到的关系模型和关于作为监视对象的搬送单元得到的多种的状态值，来计算作为该监视对象的所述搬送单元的健康度；以及输出工序，根据通过计算工序计算出的健康度，来输出与作为监视对象的搬送单元的状态有关的信息。

Monitoring method, monitoring device, monitoring model and storage medium of transport unit

【技术实现步骤摘要】
搬送单元的监视方法、监视装置、监视用模型及存储介质
本公开涉及一种搬送单元的监视方法、监视装置以及监视用模型。
技术介绍
专利文献1公开了一种将被搬送部件搭载于被驱动单元来进行搬送的装置。该装置具有驱动单元，该驱动单元通过马达的旋转驱动力使驱动侧带轮旋转，由此使被驱动单元向规定的方向移动。另外，该装置具有监视被驱动单元的搬送状态的搬送监视单元。搬送监视单元对驱动被驱动单元所需的马达的转矩值进行检测，基于检测出的转矩值来计算转矩值的相对于时间的转矩微分值，使用计算出的转矩微分值来检测搬送状态。由此，在专利文献1所公开的装置中，检测出在搬送时发生的异常。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2013-133192号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题本公开所涉及的技术用于检测搬送单元的异常的征兆。用于解决问题的方案本公开的一个方式是一种搬送单元的监视方法，所述搬送单元搬送被搬送体，所述搬送单元具有：搬送部，其设置于基板处理装置，并且保持所述被搬送体并进行搬送；以及马达，其驱动所述搬送部，该监视方法包括以下工序：计算工序，在将作为所述马达的状态的指标的值设为状态值，将表示关于所述搬送单元获取的多个种类的所述状态值的关系的模型设为关系模型时，基于通过机器学习得到的所述关系模型和关于作为监视对象的所述搬送单元得到的多个种类的所述状态值，来计算作为该监视对象的所述搬送单元的健康度；以及输出工序，根据通过所述计算工序计算出的所述健康度，来输出与作为所述监视对象的所述搬送单元的状态有关的信息。专利技术的效果根据本公开，能够检测搬送单元的异常的征兆。附图说明图1是表示具备本实施方式所涉及的搬送单元的监视装置的监视系统1的结构的概要的框图。图2是表示搬送单元的概要结构的框图。图3是表示搬送单元的概要结构的侧视图。图4是表示搬送单元的概要结构的俯视图。图5是表示对摘要数据附加的附加信息的一例的图。图6是表示对统计数据附加的附加信息的一例的图。图7是表示用于确定被预测有故障的部位的表的一例的图。图8是用于说明监视装置的模型获取部中的关系模型的获取处理的一例的流程图。图9是用于说明监视装置中的监视处理的一例的流程图。具体实施方式例如在半导体器件的制造工艺中的光刻法工序中，为了在半导体晶圆(以下有时省略为“晶圆”。)上形成规定的抗蚀图案而进行一系列的处理。上述一系列的处理包括涂布抗蚀液来形成抗蚀膜的涂布处理、将抗蚀膜以规定的图案曝光的曝光处理、向曝光后的抗蚀膜涂布显影液来进行显影的显影处理等。另外，上述一系列的处理由设置有对晶圆进行处理的各种处理单元、搬送晶圆的搬送单元等的基板处理装置以及与该基板处理装置相邻地配设的曝光装置进行。关于设置于基板处理装置的搬送单元，在专利文献1中公开了一种监视被驱动单元的搬送状态的搬送监视单元，该被驱动单元搭载并搬送被搬送部件。如前述的那样，该搬送监视单元对驱动被驱动单元所需的马达的转矩值进行检测，基于检测出的转矩值来计算转矩值的相对于时间的转矩微分值，使用计算出的转矩微分值来检测搬送状态。由此，能够检测在搬送时发生的异常。但是，当在搬送单元中实际地发生上述异常时，设置有该搬送单元的基板处理装置整体停止，因此要求在发生异常之前预测该异常的发生，换言之，要求检测异常的征兆。如果能够检测异常的征兆，则在检测后对被检测出异常的征兆的搬送单元的部件进行维护、更换，使计划外的装置停止时间减少，由此能够使基板处理装置的工作率提高。因此，本公开所涉及的技术用于检测搬送单元的异常的征兆。下面，参照附图来说明本实施方式所涉及的搬送单元的监视方法和监视装置。此外，在本说明书和附图中，关于实质上具有相同的功能结构的要素标注相同的标记，由此省略重复说明。图1是表示具备本实施方式所涉及的搬送单元的监视装置的监视系统1的结构的概要的框图。图2是表示搬送单元的概要结构的框图。图3和图4分别是表示搬送单元的概要结构的侧视图和俯视图。图5是表示对摘要数据附加的附加信息的一例的图。图6是表示对统计数据附加的附加信息的一例的图。图7是表示用于确定被预测有故障的部位的表的一例的图。如图1所示，监视系统1具有监视装置3和多个作为处理装置的基板处理装置21～2p(以下有时统称为“基板处理装置2”。)。多个基板处理装置21～2p与监视装置3经由局域网(LAN)、因特网之类的网络连接。此外，以下为了简化说明仅将基板处理装置21～2p中的基板处理装置21设为监视装置3的监视对象。另外，为了简化说明，设为基板处理装置21～2p所具有的后述的搬送单元和搬送臂全部为相同的种类，并且具有相同的构造。基板处理装置21是涂布显影处理装置等半导体制造装置。基板处理装置21具有对晶圆进行用于形成抗蚀膜的涂布处理等各种处理的处理单元211～21q和在处理装置21内进行晶圆的搬送的搬送单元221～22r。另外，处理装置21具有控制处理单元211～21q(以下有时统称为“处理单元21”。)、搬送单元221～22r(以下有时统称为“搬送单元22”。)等的控制部23。处理装置21还具有显示各种信息的显示部24。搬送单元221在处理单元211～21q之间搬送作为被搬送体的晶圆，或者在用于收容晶圆的盒(未图示)与处理单元211～21q之间搬送作为被搬送体的晶圆。如图2所示，该搬送单元221具有：搬送臂25，其是保持晶圆并进行搬送的搬送部；以及驱动部26，其通过马达26a的驱动力来驱动搬送臂25。搬送臂25例如沿着图3所示的沿搬送区域的长边方向(Y方向)延伸的引导件25a搬送晶圆W。搬送臂25具有沿着引导件25a在左右方向(Y方向)上移动的框25b和沿着框25b在高度方向(Z方向)上移动的升降体25c。并且，如图3和图4所示，搬送臂25具有在升降体25c上转动的转动体25d和支承晶圆W并在转动体25d上沿前后方向(X方向)移动的晶圆支承部25e。如图2所示，驱动部26针对搬送臂25的每个轴具有马达26a，例如具有X轴马达26ax、Y轴马达26ay、Y轴马达26ay、Z轴马达26az以及θ轴马达26aθ。X轴马达26ax是与搬送臂25的X轴有关的马达，用于使晶圆支承部25e在前后方向(图3的X方向)上移动。Y轴马达26ay是与搬送臂25的Y轴有关的马达，用于通过使框25b在左右方向(图3的Y方向)上移动来使晶圆支承部25e在Y方向上移动。Z轴马达26az是与搬送臂25的Z轴有关的马达，用于通过使升降体25c在上下方向(图3的Z方向)上移动来使晶圆支承部25e在Z方向上移动。θ轴马达26aθ是与搬送臂25的θ轴有关的马达，用于通过使升降体25c旋转来使晶圆支承部25e旋转。搬送单元222～22r的结构与搬送单元221相同，因此省略其说明。控制部23例如由具备CPU、存储器等的计算机构成，具本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种搬送单元的监视方法，所述搬送单元搬送被搬送体，其中，/n所述搬送单元具有：搬送部，其设置于基板处理装置，并且保持所述被搬送体并进行搬送；以及马达，其驱动所述搬送部，/n该搬送单元的监视方法包括以下工序：/n计算工序，在将作为所述马达的状态的指标的值设为状态值，将表示关于所述搬送单元获取的多个种类的所述状态值的关系的模型设为关系模型时，基于通过机器学习得到的所述关系模型和关于作为监视对象的所述搬送单元得到的多个种类的所述状态值，来计算作为所述监视对象的所述搬送单元的健康度；以及/n输出工序，根据通过所述计算工序计算出的所述健康度，来输出与作为所述监视对象的所述搬送单元的状态有关的信息。/n

【技术特征摘要】
20181120 JP 2018-2170761.一种搬送单元的监视方法，所述搬送单元搬送被搬送体，其中，
所述搬送单元具有：搬送部，其设置于基板处理装置，并且保持所述被搬送体并进行搬送；以及马达，其驱动所述搬送部，
该搬送单元的监视方法包括以下工序：
计算工序，在将作为所述马达的状态的指标的值设为状态值，将表示关于所述搬送单元获取的多个种类的所述状态值的关系的模型设为关系模型时，基于通过机器学习得到的所述关系模型和关于作为监视对象的所述搬送单元得到的多个种类的所述状态值，来计算作为所述监视对象的所述搬送单元的健康度；以及
输出工序，根据通过所述计算工序计算出的所述健康度，来输出与作为所述监视对象的所述搬送单元的状态有关的信息。


2.根据权利要求1所述的搬送单元的监视方法，其特征在于，
所述状态值的种类是关于与所述马达的动作有关的数据的特征量的种类，
所述状态值分别是所述特征量的统计值。


3.根据权利要求1或2所述的搬送单元的监视方法，其特征在于，
所述状态值的种类包括所述马达的最大转矩值、最小转矩值、转矩微分值最大值以及转矩微分值最小值中的至少任意两方。


4.根据权利要求1或2所述的搬送单元的监视方法，其特征在于，
在将关于作为所述监视对象的所述搬送单元得到的所述多个种类的所述状态值的关系设为实际的关系时，
将所述实际的关系相对于由所述关系模型表示的关系产生的混乱进行数值化来得到所述健康度。


5.根据权利要求1或2所述的搬送单元的监视方法，其特征在于，
基于作为所述监视对象的所述搬送单元中的所述状态值与根据所述关系模型预测的所述状态值的误差，来计算所述健康度。


6.根据权利要求1或2所述的搬送单元的监视方法，其特征在于，
通过遗传编程来获取所述关系模型。


7.根据权利要求1或2所述的搬送单元的监视方法，其特征在于，
在所述输出工序中，在所述健康度超过阈值的情况下，关于作为所述监视对象的所述搬送单元输出用于通知预知到异常的发生的通知信息。


8.根据权利要求1或2所述的搬送单元的监视方法，其特征在于，
在所述输出工序中，基于针对所述状态值的每个种类计算出的所述健康度，来确定作为所述监视对象的所述搬送单元中被预测有故障的部位，输出用于识别确定出的部位的信息。


9.根据权利要求1或2所述的搬送单元的监视方法，其特征在于，
还包括模型获取工序，在该模型获取工序中，通过机器学习来获取所述关系模型。

【专利技术属性】
技术研发人员：牧准之辅，筒井拓郎，相泽玲，宇崎友哉，太田敦，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP