一种氧化喷淋装置制造方法及图纸

技术编号:24277525 阅读:191 留言:0更新日期:2020-05-23 15:35
本实用新型专利技术提供了一种氧化喷淋装置,属于机械技术领域。它解决了现有氧化喷淋装置喷淋不够均匀等技术问题。本氧化喷淋装置,包括底座,底座上固定有槽体一和槽体二,其特征在于,所述氧化喷淋装置还包括喷淋箱、丝杆、转动电机、导轨、齿条、臭氧输送管和回收结构,喷淋箱固定在底座上,转动电机固定在喷淋箱上,转动电机的输出轴水平设置,导轨固定在喷淋箱上,齿条固定在喷淋箱上,丝杆上螺纹连接有螺母,螺母上安装有螺母座,螺母座套设在丝杆上且与导轨滑动设置,螺母座上还转动设置有转动杆,转动杆上固定有齿轮,齿轮和齿条相啮合,转动杆上还固定有喷淋盘,喷淋箱上设置有臭氧输送口。本实用新型专利技术具有喷淋均匀的特点。

An oxidation spray device

【技术实现步骤摘要】
一种氧化喷淋装置
本技术属于机械
,涉及一种喷淋装置,特别是一种氧化喷淋装置。
技术介绍
氧化喷淋装置设置于硅电池生产流水线上,将臭氧通过喷淋孔均匀地喷淋在硅片上,从而形成均匀的二氧化硅膜,以此降低电位诱导衰减的作用。经检索,如中国专利文献公开了一种氧化喷淋装置【申请号:201821606075.4;公开号:CN208862006U】。这种氧化喷淋装置,其特征在于,包括:喷淋腔体,为设于电池流水线的中空腔体,所述喷淋腔体内具有臭氧输送管路,所述臭氧输送管路上具有若干臭氧出口,所述喷淋腔体朝向所述流水线具有均匀分布的喷淋孔;排风罩,对应所述喷淋腔体设置,与所述喷淋腔体共同组成封闭空间,所述排风罩设有排风口,所述排风口与排风风机接通。该专利中公开的氧化喷淋装置虽然具有可以实现氧化喷淋的作用,但是,喷淋不够均匀,因此,设计出一种氧化喷淋装置是很有必要的。
技术实现思路
本技术的目的是针对现有的技术存在上述问题,提出了一种氧化喷淋装置,具有喷淋均匀的特点。本技术的目的可通过下列技术方案来实现:一种氧化喷淋装本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种氧化喷淋装置,包括底座,底座上固定有槽体一和槽体二,其特征在于,所述氧化喷淋装置还包括喷淋箱、丝杆、转动电机、导轨、齿条、臭氧输送管和回收结构,喷淋箱固定在底座上,喷淋箱上开设有进口和出口,槽体一和进口相连通,槽体二和出口相连通,转动电机固定在喷淋箱上,转动电机的输出轴水平设置,丝杆的一端通过轴承和喷淋箱相连接,丝杆的另一端和转动电机的输出轴相连接,导轨固定在喷淋箱上,齿条固定在喷淋箱上,且导轨、丝杆和齿条之间相互平行,丝杆上螺纹连接有螺母,螺母上安装有螺母座,螺母座套设在丝杆上且与导轨滑动设置,螺母座上还转动设置有转动杆,转动杆上固定有齿轮,齿轮和齿条相啮合,转动杆上还固定有喷淋盘,...

【技术特征摘要】
1.一种氧化喷淋装置,包括底座,底座上固定有槽体一和槽体二,其特征在于,所述氧化喷淋装置还包括喷淋箱、丝杆、转动电机、导轨、齿条、臭氧输送管和回收结构,喷淋箱固定在底座上,喷淋箱上开设有进口和出口,槽体一和进口相连通,槽体二和出口相连通,转动电机固定在喷淋箱上,转动电机的输出轴水平设置,丝杆的一端通过轴承和喷淋箱相连接,丝杆的另一端和转动电机的输出轴相连接,导轨固定在喷淋箱上,齿条固定在喷淋箱上,且导轨、丝杆和齿条之间相互平行,丝杆上螺纹连接有螺母,螺母上安装有螺母座,螺母座套设在丝杆上且与导轨滑动设置,螺母座上还转动设置有转动杆,转动杆上固定有齿轮,齿轮和齿条相啮合,转动杆上还固定有喷淋盘,喷淋箱上设置有臭氧输送口,臭氧输送...

【专利技术属性】
技术研发人员:颜大安叶石标
申请(专利权)人:浙江艾能聚光伏科技股份有限公司
类型:新型
国别省市:浙江;33

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