【技术实现步骤摘要】
一种新型真空镀膜机网状伞叶
本技术涉及真空镀膜机
，较为具体的，涉及到一种新型真空镀膜机网状伞叶。
技术介绍
真空镀膜是将真空室内材料的原子阴极被激发的电子在电场作用下加速飞向衬底基片的过程中与氩原子发生碰撞，电离出大量的氩离子和二次电子，二次电子飞向衬底基片，氩离子在电场的作用下加速轰击靶材，溅射出大量的靶材原子，呈中性的靶原子(或分子)沉积在衬底上形成薄膜，二次电子在加速飞向衬底的过程中受到磁场罗仑磁力的影响，被束缚在靠近靶面的等离子体区域内，该区域内等离子体密度很高，二次电子在磁场的作用下围绕靶面做圆周运动，该电子的运动路劲很长，在运动过程中不断地与氩原子发生碰撞电离出大量的氩离子轰击靶材，经过多次碰撞后二次电子的能量逐渐降低，摆脱磁力线的束缚，远离靶材最终沉积在衬底上。目前，市面上的伞具是在一块铝板上加一层薄的铁皮上面，伞叶的材质是铁的，这样将基片固定在伞叶的时候，都是通过在基片的四个角上贴上磁铁，这样在磁场的作用下，可以使得基片固定在伞叶的表面。由于铁皮和铝块整块的重量非常重，将其放置在伞架上非常的费...
【技术保护点】
1.一种新型真空镀膜机网状伞叶，其包括：主体支架(2)和伞叶(1)，伞叶(1)通过焊接的方式固定在主体支架(2)上，其特征在于：伞叶(1)成网布状，多孔镂空分布于伞叶(1)，主体支架(2)由立体支撑杆(22)和铝合金片(21)焊接固定组成。/n
【技术特征摘要】
1.一种新型真空镀膜机网状伞叶，其包括：主体支架(2)和伞叶(1)，伞叶(1)通过焊接的方式固定在主体支架(2)上，其特征在于：伞叶(1)成网布状，多孔镂空分布于伞叶(1)，主体支架(2)由立体支撑杆(22)和铝合金片(21)焊接固定组成。
2.如权利要求1所述的新型真空镀膜机网状伞叶，其特征在于：主体支架(2)的材质为铝合金，伞叶(1)为铁制网布。
3.如权利要求1所述的新型真空镀膜机网状伞叶，其特征在于：主体支架(2)的厚度为5mm，伞叶(1)的厚度为1mm。
4.如权利要求1所述的新型真空镀膜机网状伞叶，其特征在于：所述的伞叶(1)为扇形，由两条扇形直线(13)和内部弧线(11)和外部弧线(12)组成。
5.如权利要求1所述的新型真空镀膜机网状伞叶，其特征在于：所述的真空镀膜机主体支架(2)的铝合金片(21)包括第一铝合金片(211)、第二铝合金片(212)、第三铝合金片(213)和第四铝合金片(214)；第一铝合金片(211)、第二铝合金片(212)和第三铝合金片(213)为折角90°直角的宽度8mm的铝合金，第一铝合金片(211)、第二铝合金片(212)长度与伞叶(1)的扇形直线(13)完全匹配；第三铝合金片(213)为弧形，与伞叶(1)的外部弧线(12)完全匹配，第四铝合金片(214)为扇...
【专利技术属性】
技术研发人员：袁小夫，舒本剑，
申请(专利权)人：安徽安合鑫光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34
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