一种高散热的旋转阴极制造技术

本实用新型专利技术公开了一种高散热的旋转阴极，包括驱动装置和管状靶；所述的驱动装置包括主支撑管、外套管和底架；所述的主支撑管上依次套设有上骨架密封、上连接轴承、从动轮、下连接轴承、下骨架密封和呈法兰状的铜导体；所述的主支撑管的末端设有散热鳍片，所述的散热鳍片呈圆环状设于主支撑管的末端；所述的从动轮通过皮带与电机的输出轴相连，所述的主支撑管的外壁通过上、下连接轴承与外套管的内壁相连；所述管状靶的尾部与主支撑管的头部相连。本装置用于旋转阴极运动过程中驱动装置处的散热，并可显著提高主支撑管的散热能力，从而提高机构的稳定性与使用寿命。

A high heat dissipation rotating cathode

【技术实现步骤摘要】
一种高散热的旋转阴极
本技术涉及一种高散热的旋转阴极。
技术介绍
旋转靶材的磁控溅射被广泛地用于在基片上制作各种不同的薄膜。在磁控溅射中，待溅射的材料以圆柱形的形状形成或被粘附到由刚性材料制成的圆柱形支撑管的外表面。磁控管总成被安置在管内并供应磁通量，磁通量穿过靶材，使得在靶材的外表面存在大量磁通量。磁场以一种方式设计，使磁场保留从靶材发射的电子，如增大电子与工作气体电离碰撞的概率，从而增强溅射过程的效率。而在实际使用中，管状靶在旋转时会产生大量的热，所以需要通过水冷将热量散去，但水冷系统无法实现驱动部分中，主支撑管与轴承之间的散热。所以往往需要在运行一段时间后，将主支撑管浸入到水中，实现冷却，但还是无法有效的满足长期运行时的冷却需求。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决以上现有技术的不足，提出了一种高散热的旋转阴极。一种高散热的旋转阴极，包括驱动装置和管状靶；所述的驱动装置包括主支撑管、外套管和底架；所述的主支撑管上依次套设有上骨架密封、上连接轴承、从动轮、下连接轴承、下骨架密封和呈法兰状的铜导体；所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高散热的旋转阴极，其特征在于，包括驱动装置和管状靶；所述的驱动装置包括主支撑管、外套管和底架；所述的主支撑管上依次套设有上骨架密封、上连接轴承、从动轮、下连接轴承、下骨架密封和呈法兰状的铜导体；所述的主支撑管的末端设有散热鳍片，所述的散热鳍片呈圆环状设于主支撑管的末端；所述的从动轮通过皮带与电机的输出轴相连，所述的主支撑管的外壁通过上、下连接轴承与外套管的内壁相连；所述管状靶的尾部与主支撑管的头部相连。/n

【技术特征摘要】
1.一种高散热的旋转阴极，其特征在于，包括驱动装置和管状靶；所述的驱动装置包括主支撑管、外套管和底架；所述的主支撑管上依次套设有上骨架密封、上连接轴承、从动轮、下连接轴承、下骨架密封和呈法兰状的铜导体；所述的主支撑管的末端设有散热鳍片，所述的散热鳍片呈圆环状设于主支撑管的末端；所述的从动轮通过皮带与电机的输出轴相连，所述的主支撑管的外壁通过上、下连接轴承与外套管的内壁相连；所述管状靶的尾部与主支撑管的头部相连。


2.根据权利要求1所述的一种高散热的旋转阴极，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：匡国庆，
申请(专利权)人：镇江市德利克真空设备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32