【技术实现步骤摘要】
一种速冷型平面阴极
本技术涉及一种速冷型平面阴极。
技术介绍
真空镀膜是一种在真空中制备膜层产生薄膜材料的技术，有三种形式，即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。其中溅射镀膜是真空镀膜中最主要的方法，该技术是在真空中利用荷能粒子轰击靶表面，使被轰击出的粒子沉积在基片上。在磁控溅射镀膜工艺中，对磁控溅射镀膜设备的质量要求很高，而在磁控溅射镀膜设备中，磁场的设置尤为重要。目前普遍采用平面磁控溅射阴极(简称“平面阴极”)，平面阴极均是采用在磁靴中安装磁铁的方法来获得加速磁场。平面阴极在长时间使用后，其表面的温度会上升从而影响镀膜效果，而传统的水冷方式只能在短时间降温，而当阴极体使用一段时间后，当温度上升至一定程度时，传统水冷装置的散热能力就显得捉襟见肘了。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决以上现有技术的不足，提出了一种速冷型平面阴极。一种速冷型平面阴极，包括底座和设于底座上方的阴极体；所述的阴极体的下表面连有速冷装置；所述的速冷装置由上盖、进水管、出水管、下板、第一侧板和第二侧板拼接而成，速冷装置的内部...
【技术保护点】
1.一种速冷型平面阴极，其特征在于，包括底座和设于底座上方的阴极体；所述的阴极体的下表面连有速冷装置；所述的速冷装置由上盖、进水管、出水管、下板、第一侧板和第二侧板拼接而成，速冷装置的内部设有空腔；所述第一侧板的表面上设有若干个进风孔，第一侧板的内壁上连有若干个风扇，所述第二侧板的表面上设有排气槽；所述的进水管与出水管分别位于速冷装置的两端，进水管与出水管之间通过若干个连接管相连，所述的连接管位于空腔内，连接管的一端与进水管的侧壁相连，连接管的另一端与出水管的侧壁相连，连接管的侧壁上设有若干个微孔。/n
【技术特征摘要】
1.一种速冷型平面阴极，其特征在于，包括底座和设于底座上方的阴极体；所述的阴极体的下表面连有速冷装置；所述的速冷装置由上盖、进水管、出水管、下板、第一侧板和第二侧板拼接而成，速冷装置的内部设有空腔；所述第一侧板的表面上设有若干个进风孔，第一侧板的内壁上连有若干个风扇，所述第二侧板的表面上设有排气槽；所述的进水管与出水管分别位于速冷装置的两端，进水管与出水管之间通过若干个连接管相连，所述的连接管位于空腔内，连接管的一端与进水管的侧壁相连，连接管的另一端与出水管的侧壁相连，连接管的侧壁上设有若...
【专利技术属性】
技术研发人员：匡国庆，
申请(专利权)人：镇江市德利克真空设备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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