一种磁控溅射设备中的镀膜结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种磁控溅射设备中的镀膜结构，包括：一腔板，其内开设有一半密封U型腔，半密封U型腔内均布设置有多个第一隔板，两两第一隔板之间构成一独立的镀膜空间，镀膜空间的一侧设置有一安装板，其上开设有两第一固定孔，腔板上开设的有两与第一固定孔相配合的第二固定孔，第一固定孔与第二固定孔之间设置有镀膜靶材；一门板，其上可转动设置有一镀膜辊，镀膜辊的周向上套设有一待镀膜基板，门板上还固定设置有一半圆型架，半圆型架与所述镀膜辊间隙配合，半圆型架上均布设置有多个与第一隔板相配合的第二隔板；采用本实用新型专利技术的镀膜结构，能够提高各镀膜空间内的气密性，防止窜气，减小摩擦阻力，提高镀膜质量与效果。

A coating structure in magnetron sputtering equipment

【技术实现步骤摘要】
一种磁控溅射设备中的镀膜结构
本技术涉及一种镀膜结构。更具体地说，本技术涉及一种磁控溅射设备中的镀膜结构。
技术介绍
目前，磁控溅射镀膜设备中，主要就是镀膜结构对待镀膜基材溅射镀膜，镀膜开始前，镀膜结构中的门板需要向腔板移动，使腔板与门板中的隔板相互配合，在腔板的U型腔中形成相对密闭的镀膜空间。而现在设置在门板上的第二隔板向设置在腔板上的第一隔板靠近时，为了使两者之间的密闭效果更好，通常第二隔板紧接触在第一隔板上滑动，造成第一隔板与第二隔板之间相互摩擦，损坏设备，另外，虽然两者为紧接触滑动，但第一隔板与第二隔板之间还是不可避免的存在缝隙，导致工艺气体在U型腔内的各镀膜空间之间相互流通，发生窜气的现象，使镀膜层厚度和膜结构与工艺需求不一致，影响膜层质量。
技术实现思路
本技术的一个目的是解决至少上述问题和/或缺陷，并提供至少后面将说明的优点。为了实现根据本技术的这些目的和其它优点，提供了一种磁控溅射设备中的镀膜结构，包括：一腔板，其内开设有一半封闭U型腔，所述半封闭U型腔内均布设置有多个第一隔板，两两所述第一隔板之间构成一独立的镀膜空间，所述镀膜空间的一侧设置有一安装板，其上开设有两第一固定孔，所述镀膜空间的另一侧、在所述半封闭U型腔的侧板上开设有两与所述第一固定孔相配合的第二固定孔，所述第一固定孔与所述第二固定孔之间设置有镀膜靶材，所述镀膜空间的底部还设置有一通气排孔，以在所述镀膜空间内通入氩气，所述镀膜空间内还设置有一出气口，以在出气口处通过真空泵使镀膜空间形成真空状态；r>一门板，其上可转动设置有一镀膜辊，所述镀膜辊的周向上套设有一待镀膜基板，所述门板上还固定设置有一半圆型架，其与所述镀膜辊间隙配合，所述半圆型架的中部还开设有一通槽，所述半圆型架上均布设置有多个与所述第一隔板相配合的第二隔板；其中，所述第一隔板的顶部开设有一半封闭的矩形内凹槽，所述第二隔板的底部设置有与所述矩形内凹槽过盈配合的矩形柔性密封条。优选的是，其中，所述第二隔板内还布设有呈锯齿状的冷却管道，在其内通入降温液以对所述第二隔板进行降温。优选的是，其中，所述第二隔板的内表面上还焊接设置有一S状的冷却风管，所述冷却风管上开设有多个朝向所述第二隔板内表面一侧的通风口。优选的是，其中，所述降温液为冷却水或冷却油。本技术至少包括以下有益效果：其一、通过分别在第一隔板与第二隔板上设置的第一柔性密封条与第二柔性密封条，将第一隔板与第二隔板之间的硬接触滑动摩擦变为软接触滑动摩擦，保护隔板的结构，避免损坏设备。其二、通过分别设置的第一柔性密封条与第二柔性密封条，使第一隔板与第二隔板之间间隙填充密封，使各镀膜空间内的气密性更好，解决每个镀膜空间内的工艺气体窜气问题，有效的改善了每个镀膜空间内所镀的膜层厚度和膜层质量。其三、通过分别将第一柔性密封条与第二柔性密封条设置为不同开角大小以及长短大小，使两个密封条不需要正对位安装接触也具有较好的气密性效果，使安装简单、方便、高效。本技术的其它优点、目标和特征将部分通过下面的说明体现，部分还将通过对本技术的研究和实践而为本领域的技术人员所理解。附图说明图1示出了磁控溅射设备中的镀膜结构的整体结构图；图2示出了腔板的结构图；图3示出了门板的结构图；图4示出了第一隔板与第二隔板上柔性密封条与内凹槽的放大结构图；图5示出了第二隔板内锯齿状冷却管道的结构图。具体实施方式下面结合附图对本技术做进一步的详细说明，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。应当理解，本文所使用的诸如“具有”、“包含”以及“包括”术语并不配出一个或多个其它元件或其组合的存在或添加。图1示出了根据本技术一种磁控溅射设备中的镀膜结构的一种实现形式，其中包括：一腔板1，其内开设有一半封闭U型腔2，所述半封闭U型腔2内均布设置有多个第一隔板3，两两所述第一隔板3之间构成一独立的镀膜空间4，所述镀膜空间4的一侧设置有一安装板5，其上开设有两第一固定孔6，所述镀膜空间3的另一侧、在所述半封闭U型腔的侧板7上开设有两与所述第一固定孔相配合的第二固定孔8，所述第一固定孔6与所述第二固定孔8之间设置有镀膜靶材(未示出)，所述镀膜空间的底部还设置有一通气排孔9，以在所述镀膜空间内通入氩气，所述镀膜空间内还设置有一出气口(未示出)，以在出气口处通过真空泵(未示出)使镀膜空间形成真空状态；一门板10，其上可转动设置有一镀膜辊11，所述镀膜辊11的周向上套设有一待镀膜基板12，所述门板10上还固定设置有一半圆型架13，其与所述镀膜辊11间隙配合，所述半圆型架13上开设有通槽14，以使镀膜靶材溅射出的气体分子能够穿过半圆型架上的通槽后，沉积到待镀膜基板的表面上，所述半圆型架13上均布设置有多个与所述第一隔板3相配合的第二隔板15；其中，所述第一隔板3的顶部开设有一半封闭的矩形内凹槽16，所述第二隔板15的底部设置有与所述矩形内凹槽过盈配合的矩形柔性密封条17。本专利中镀膜与现有镀膜设备的工作原理相同，主要原理为：首先将待镀膜基板12卷绕在镀膜辊11上，将门板10向腔板1方向移动，使腔板1上的第一隔板3与门板10上的第二隔板15将半封闭U型腔2内分割成多个密封的镀膜空间4，通过真空泵对各镀膜空间进行抽气，使其成为真空状态，然后再通过通气排孔9向镀膜空间4内充入氩气气体，此时将镀膜靶材的两端接入大电流，使氩气离子撞击镀膜靶材表面，镀膜靶材的原子被弹出，此时通过外部动力机构带动镀膜辊11转动，从而带动待镀膜基板12一起匀速转动，使溅射的气体分子能够均匀且高效的沉积在待镀膜基板上，完成镀膜。半封闭U型腔内设置有7块第一隔板，构成6个相对相互独立的镀膜空间4(图1和图2中仅画出了两个第一隔板构成的一个镀膜空间)，每个镀膜空间4可根据实际镀膜的厚度及质量需要，对充入的氩气气体体积和溅射靶材接通的电流大小进行控制，实现高效调控，通过设置的第一固定孔6和第二固定孔8，主要是实现对镀膜靶材的高效固定与安装，镀膜靶材的长度略小于第一固定孔与第二固定孔之间的距离，镀膜靶材的直径也小于第一固定孔和第二固定孔的直径，以保证镀膜靶材可方便的直接挂靠在第一固定孔与第二固定孔之间，设置的第一柔性密封条与第二柔性密封条主要是保证各镀膜空间内的气密性，避免气体在半封闭U型腔内无序流动，影响镀膜的效果和质量；在第一隔板的顶部上开设半封闭状的矩形内凹槽，使其具有一安装位，同时在第二隔板的底部通过胶粘设置有一矩形柔性密封条，使第二隔板在与第一隔板配合形成镀膜空间时，矩形柔性密封条能够直接镶嵌在矩形内凹槽中，实现各镀膜空间的气密密封，同时由于矩形柔性密封条与矩形内凹槽为过盈配合，所以柔性密封条在柔性伸缩变形状态下，能够紧密的卡紧在矩形内凹槽中，进一步的提高气密性，提高镀膜效果。半圆型架上还固定设置有一冷却辊18，其内也通入有循环冷却水，用于对待镀膜基板进行冷却降温本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种磁控溅射设备中的镀膜结构，其特征在于，包括：/n一腔板，其内开设有一半封闭U型腔，所述半封闭U型腔内均布设置有多个第一隔板，两两所述第一隔板之间构成一独立的镀膜空间，所述镀膜空间的一侧设置有一安装板，其上开设有两第一固定孔，所述镀膜空间的另一侧、在所述半封闭U型腔的侧板上开设有两与所述第一固定孔相配合的第二固定孔，所述第一固定孔与所述第二固定孔之间设置有镀膜靶材，所述镀膜空间的底部还设置有一通气排孔，以在所述镀膜空间内通入氩气，所述镀膜空间内还设置有一出气口，以在出气口处通过真空泵使镀膜空间形成真空状态；/n一门板，其上可转动设置有一镀膜辊，所述镀膜辊的周向上套设有一待镀膜基板，所述门板上还固定设置有一半圆型架，其与所述镀膜辊间隙配合，所述半圆型架的中部还开设有一通槽，所述半圆型架上均布设置有多个与所述第一隔板相配合的第二隔板；/n其中，所述第一隔板的顶部开设有一半封闭的矩形内凹槽，所述第二隔板的底部设置有与所述矩形内凹槽过盈配合的矩形柔性密封条。/n

【技术特征摘要】
1.一种磁控溅射设备中的镀膜结构，其特征在于，包括：
一腔板，其内开设有一半封闭U型腔，所述半封闭U型腔内均布设置有多个第一隔板，两两所述第一隔板之间构成一独立的镀膜空间，所述镀膜空间的一侧设置有一安装板，其上开设有两第一固定孔，所述镀膜空间的另一侧、在所述半封闭U型腔的侧板上开设有两与所述第一固定孔相配合的第二固定孔，所述第一固定孔与所述第二固定孔之间设置有镀膜靶材，所述镀膜空间的底部还设置有一通气排孔，以在所述镀膜空间内通入氩气，所述镀膜空间内还设置有一出气口，以在出气口处通过真空泵使镀膜空间形成真空状态；
一门板，其上可转动设置有一镀膜辊，所述镀膜辊的周向上套设有一待镀膜基板，所述门板上还固定设置有一半圆型架，其与所述镀膜辊间隙配合，所述半圆型架的中部还开设有...

【专利技术属性】
技术研发人员：夏熙，陈培专，李仁龙，魏昌华，高翔，
申请(专利权)人：绵阳金能移动能源有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51