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本实用新型公开了一种磁控溅射设备中的镀膜结构，包括：一腔板，其内开设有一半密封U型腔，半密封U型腔内均布设置有多个第一隔板，两两第一隔板之间构成一独立的镀膜空间，镀膜空间的一侧设置有一安装板，其上开设有两第一固定孔，腔板上开设的有两与第一固...
该专利属于绵阳金能移动能源有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过绵阳金能移动能源有限公司授权不得商用。

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