用于真空设备破空管路的分流装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于真空设备破空管路的分流装置，包括：用于向真空腔室内输入破空气体的破空管道；设置在破空管道上以切换其工作状态的破空阀；设置于真空腔室内以实现破空的多个分流管；其中，所述破空管道在与各分流管相配合的一端设置有用于分流的转接头。本实用新型专利技术还有一个目的是提供一种用于真空设备破空管路的分流装置，其能够在进入真空腔室的一端通过配置多个分流管，使得破空气体经过各分流管分流后再进入腔体，减少对产品的冲击，保证产品质量，且整体结构简单，便于实施。

Diverter for vacuum equipment air breaking pipeline

【技术实现步骤摘要】
用于真空设备破空管路的分流装置
本技术涉及一种在真空镀膜破空
更具体地说，本技术涉及一种用在电池片工艺镀膜情况下的用于真空设备破空管路的分流装置。
技术介绍
太阳能电池片中的CIGS镀膜设备，需要周期性的对镀膜真空腔室室进行抽真空工艺镀膜，破空流片等操作。当电池片工艺镀膜完成后，需要对镀膜真空腔室破空，使镀膜真空腔室由高真空状态变为大气状态再将电池片流出。故破空是真空镀膜设备一个不可或缺的步骤，一般的破空管路，破空管路出风口唯一，无法分流，气流集中冲击力大，将产生巨大的噪音污染，并且内部气流大对产品本身产生损伤，影响产品质量。现有技术，如申请号为CN201821379503.4的破空装置，其是通过慢充管路向镀膜真空腔室内进行缓慢充气，进而降低了气流的冲击力，使得空气在进入到镀膜真空腔室内后，不会破坏电池片，其缺点在于结构复杂，不利于整体布局，不介于具体的实施。
技术实现思路
本技术的一个目的是解决至少上述问题和/或缺陷，并提供至少后面将说明的优点。本技术还有一个目的是提供一种用于真空设备破空管路的分流装置，其能够在进入真空腔室的一端通过配置多个分流管，使得破空气体经过各分流管分流后再进入腔体，减少对产品的冲击，保证产品质量，且整体结构简单，便于实施。为了实现根据本技术的这些目的和其它优点，提供了一种用于真空设备破空管路的分流装置，包括：用于向真空腔室内输入破空气体的破空管道；设置在破空管道上以切换其工作状态的破空阀；设置于真空腔室内以实现破空的多个分流管；其中，所述破空管道在与各分流管相配合的一端设置有用于分流的转接头。优选的是，其中，各转接头的输出端还连接有过滤模块。优选的是，其中，所述过滤模块被配置为包括与转接头可拆卸连接的第一分流套管；其中，各所述第一分流套管的周向侧壁上分别排布有多个分流通孔，且所述第一分流套管的自由端被配置为密封状态。优选的是，其中，所述过滤模块被配置为还包括设置于第一分流套管内部的滤芯；其中，所述滤芯被配置为活性炭管状结构。优选的是，其中，所述过滤模块被配置为还括：设置于第一分流套管内，以对滤芯进行固定的第二分流套管；其中，所述滤芯的内径被配置为大于第二分流套管的外径；所述第二分流套管的纵向侧壁上设置有至少一条对滤芯位置进行限定的开口槽。优选的是，其中，所述滤芯通过截面为图钉状的定位条进而固定在开口槽内。优选的是，其中，所述第二分流套管的长度被配置为小于第一分流套管的长度，且所述第一分流套管底部内壁上设置有对第二分流套管位置进行限定的沉槽。优选的是，其中，所述转接头被配置为一端与破空管道可拆卸连接，另一端通过相配合的弧形延伸部进而得到多个分流端口。本技术至少包括以下有益效果：其一，本技术通过配置分流装置，使得破空气体经过分流管进入腔体，对产品冲击小，整体结构简单，便于实施。其二，本技术通过在分流管上配备过滤模块，减小破空气体杂质并提高腔室洁净度的同时降低噪音污染。本技术的其它优点、目标和特征将部分通过下面的说明体现，部分还将通过对本技术的研究和实践而为本领域的技术人员所理解。附图说明图1为本技术的一个实施例中用于真空设备破空管路的分流装置的结构示意图；图2为本技术的一个实施例中第二分流套管的结构示意图；图3为本技术的另一个实施例中固定条的结构示意图；图4为本技术的另一个实施例中分流装置的结构示意图。具体实施方式下面结合附图对本技术做进一步的详细说明，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。应当理解，本文所使用的诸如“具有”、“包含”以及“包括”术语并不配出一个或多个其它元件或其组合的存在或添加。图1、4示出了根据本技术的一种用于真空设备破空管路的分流装置实现形式，其中包括：用于向真空腔室内输入破空气体的破空管道1；设置在破空管道上以切换其工作状态的破空阀2；设置于真空腔室内以实现破空的多个分流管3，其通过多个分流管的作用，将破空管内的气压进行分流，以使其输入的压力在预定范围内；其中，所述破空管道在与各分流管相配合的一端设置有用于分流的转接头4，通过转接头的作用，将一个破空管中的气体分流成多束，以减小其输出气体的压力，在这种方案中通过在原破空主管后通过转接头增加多个分流管形成第一道气体分流，以使其进入真空腔室的气体可通过足够多的分流管对其气体压力进行分散，具体来说本方案基于真空设备破空管路分流装置的设计，包括破空区、分流区。气体首先通过破空阀控制从破风主管的进气口进入，再经过转接头上的4个或多个分流管对进气进行分流操作，进而减小对产品的冲击，保证产品质量，且整体结构简单，便于实施。在另一种实例中，各转接头的输出端还连接有过滤模块5，本方案通过将经过4个或多个分流管出来的气体，通过过滤模块中的滤芯进行过滤，具体可将过滤模块采用蜂窝管设计，内部可设置为含有活性炭层的滤芯，将气体中的杂质减小，改善噪音污染。如图1，在另一种实例中，所述过滤模块被配置为包括与转接头可拆卸连接的第一分流套管6，通过可拆卸的连接使其便于后期对滤芯的维护和更换；其中，各所述第一分流套管的周向侧壁上分别排布有多个分流通孔7，其分流管过来的气体，经过分流管壁上均匀分布的多个圆形分流孔进行有效分流，可有效减小了破空气体的冲击力，降低对产品质量造成不良影响的概率，且所述第一分流套管的自由端被配置为密封状态，其使得其破空气体只能通过分流通孔进行流出，有效的对破空气体的冲击力及位置进行控制。这种方案的真空腔室内的破空管道有一片分流区域，其上均匀遍布分流孔，使得其破空效果可控度有效提高。如图1，在另一种实例中，所述过滤模块被配置为包括设置于第一分流套管内部的滤芯8；其中，所述滤芯被配置为活性炭管状结构，本方案应用于真空镀膜行业破空分流装置，其应用原因在于经过工艺镀膜后，真空腔室需要由真空状态到大气状态，在破空过程中，噪声及破空气体杂质会给操作人员带来噪音伤害和影响产品的质量，本专利设计一种分流装置用的滤芯，其能有效地与各分流套管相配合，实现在分流过程中对噪音和杂质的去除，能够有效杜绝上述问题发生。如图2，在另一种实例中，所述过滤模块被配置为还包括：设置于第一分流套管内，以对滤芯进行固定的第二分流套管9，其被配置为与第一分流套管相配合的网状结构或格栅状结构，或设置成与第一分流套管结构具有一致性；其中，所述滤芯的内径被配置为大于第二分流套管的外径；所述第第二分流套管的纵向侧壁上设置有至少一条对滤芯位置进行限定的开口槽10，在这种方案中通过第二分流套管的作用对滤芯的位置进行限定，并通过开口槽的设定，使得滤芯可部分挤压入槽内，以使其内径与第二分流套管的外径相配合，同时对滤芯的位置进行固定，防止其在工作和安装本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于真空设备破空管路的分流装置，其特征在于，包括：/n用于向真空腔室内输入破空气体的破空管道；/n设置在破空管道上以切换其工作状态的破空阀；/n设置于真空腔室内以实现破空的多个分流管；/n其中，所述破空管道在与各分流管相配合的一端设置有用于分流的转接头；/n各转接头的输出端还连接有过滤模块；/n所述过滤模块被配置为包括与转接头可拆卸连接的第一分流套管；/n各所述第一分流套管的周向侧壁上分别排布有多个分流通孔，且所述第一分流套管的自由端被配置为密封状态；/n所述过滤模块被配置为还包括设置于第一分流套管内部的滤芯；/n所述滤芯被配置为活性炭管状结构；/n所述过滤模块被配置还包括：/n设置于第一分流套管内，以对滤芯进行固定的第二分流套管；/n所述滤芯的内径被配置为大于第二分流套管的外径；/n所述第二分流套管的纵向侧壁上设置有至少一条对滤芯位置进行限定的开口槽；/n所述滤芯通过截面为图钉状的定位条进而固定在开口槽内；/n所述第二分流套管的长度被配置为小于第一分流套管的长度，且所述第一分流套管底部内壁上设置有对第二分流套管位置进行限定的沉槽。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于真空设备破空管路的分流装置，其特征在于，包括：
用于向真空腔室内输入破空气体的破空管道；
设置在破空管道上以切换其工作状态的破空阀；
设置于真空腔室内以实现破空的多个分流管；
其中，所述破空管道在与各分流管相配合的一端设置有用于分流的转接头；
各转接头的输出端还连接有过滤模块；
所述过滤模块被配置为包括与转接头可拆卸连接的第一分流套管；
各所述第一分流套管的周向侧壁上分别排布有多个分流通孔，且所述第一分流套管的自由端被配置为密封状态；
所述过滤模块被配置为还包括设置于第一分流套管内部的滤芯；
所述滤芯被配置为活性炭管状结构；<...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁伟，陈培专，李仁龙，魏昌华，高翔，
申请(专利权)人：绵阳金能移动能源有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51