用于真空设备破空管路的分流装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于真空设备破空管路的分流装置，包括：用于向真空腔室内输入破空气体的破空管道；设置在破空管道上以切换其工作状态的破空阀；设置于真空腔室内以实现破空的多个分流管；其中，所述破空管道在与各分流管相配合的一端设置有用于分流的转接头。本实用新型专利技术还有一个目的是提供一种用于真空设备破空管路的分流装置，其能够在进入真空腔室的一端通过配置多个分流管，使得破空气体经过各分流管分流后再进入腔体，减少对产品的冲击，保证产品质量，且整体结构简单，便于实施。

Diverter for vacuum equipment air breaking pipeline

【技术实现步骤摘要】
用于真空设备破空管路的分流装置
本技术涉及一种在真空镀膜破空
更具体地说，本技术涉及一种用在电池片工艺镀膜情况下的用于真空设备破空管路的分流装置。
技术介绍
太阳能电池片中的CIGS镀膜设备，需要周期性的对镀膜真空腔室室进行抽真空工艺镀膜，破空流片等操作。当电池片工艺镀膜完成后，需要对镀膜真空腔室破空，使镀膜真空腔室由高真空状态变为大气状态再将电池片流出。故破空是真空镀膜设备一个不可或缺的步骤，一般的破空管路，破空管路出风口唯一，无法分流，气流集中冲击力大，将产生巨大的噪音污染，并且内部气流大对产品本身产生损伤，影响产品质量。现有技术，如申请号为CN201821379503.4的破空装置，其是通过慢充管路向镀膜真空腔室内进行缓慢充气，进而降低了气流的冲击力，使得空气在进入到镀膜真空腔室内后，不会破坏电池片，其缺点在于结构复杂，不利于整体布局，不介于具体的实施。
技术实现思路
本技术的一个目的是解决至少上述问题和/或缺陷，并提供至少后面将说明的优点。本技术还有一个目的是提供一种用于真空设备破空管路的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于真空设备破空管路的分流装置，其特征在于，包括：/n用于向真空腔室内输入破空气体的破空管道；/n设置在破空管道上以切换其工作状态的破空阀；/n设置于真空腔室内以实现破空的多个分流管；/n其中，所述破空管道在与各分流管相配合的一端设置有用于分流的转接头；/n各转接头的输出端还连接有过滤模块；/n所述过滤模块被配置为包括与转接头可拆卸连接的第一分流套管；/n各所述第一分流套管的周向侧壁上分别排布有多个分流通孔，且所述第一分流套管的自由端被配置为密封状态；/n所述过滤模块被配置为还包括设置于第一分流套管内部的滤芯；/n所述滤芯被配置为活性炭管状结构；/n所述过滤模块被配置还包括：/n设置于...

【技术特征摘要】
1.一种用于真空设备破空管路的分流装置，其特征在于，包括：
用于向真空腔室内输入破空气体的破空管道；
设置在破空管道上以切换其工作状态的破空阀；
设置于真空腔室内以实现破空的多个分流管；
其中，所述破空管道在与各分流管相配合的一端设置有用于分流的转接头；
各转接头的输出端还连接有过滤模块；
所述过滤模块被配置为包括与转接头可拆卸连接的第一分流套管；
各所述第一分流套管的周向侧壁上分别排布有多个分流通孔，且所述第一分流套管的自由端被配置为密封状态；
所述过滤模块被配置为还包括设置于第一分流套管内部的滤芯；
所述滤芯被配置为活性炭管状结构；<...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁伟，陈培专，李仁龙，魏昌华，高翔，
申请(专利权)人：绵阳金能移动能源有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51