一种能够快速换靶的柔性薄膜太阳能电池磁控溅射设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种能够快速换靶的柔性薄膜太阳能电池磁控溅射设备，包括：腔室，其顶端的内表面上固定焊接有一组平行的导轨；腔门，其与腔室可实现密闭相连，所述腔门外设置有凸起的容纳腔，所述凸起的容纳腔能够容纳腔室外部的导轨，所述腔门外的底端连接有支撑板；连接板，其一个面上设置有一组支撑杆，所述支撑杆上均设置有第一滚轮，所述第一滚轮与导轨相互卡合滚动连接；收卷辊和放卷辊，其对称且可转动连接在连接板和腔门上，所述连接板和腔门间可转动连接有镀膜辊，所述收卷辊、放卷辊和镀膜辊上连接有卷材。本实用新型专利技术的一种能够快速换靶的柔性薄膜太阳能电池磁控溅射设备具有操作简单，节省换靶时间，占用空间小的优点。

A kind of magnetron sputtering equipment for flexible thin film solar cells

【技术实现步骤摘要】
一种能够快速换靶的柔性薄膜太阳能电池磁控溅射设备
本技术属于柔性薄膜太阳能电池磁控溅射设备领域，具体涉及一种能够快速换靶的柔性薄膜太阳能电池磁控溅射设备。
技术介绍
磁控溅射是物理气相沉积法的一种，其原理是入射粒子和靶的碰撞过程。入射粒子在靶中经历复杂的散射过程，和靶原子碰撞，把部分动量传给靶原子，此靶原子又和其他靶原子碰撞，形成级联过程，在这种级联过程中某些表面附近的靶原子获得向外运动的足够动量，离开靶被溅射出来，整个过程易于控制，且效率也较高，运用较为广泛。在目前的磁控溅射设备中，换靶是不可缺少的必要步骤，而常规的换靶方式，可以利用吊车进行换靶，但这种方法不仅占用空间、耗费的时间长，并且容易污染环境。针对以上问题，设计了一种腔室内导轨，配套使用滑块、手动葫芦，能够直接在设备区域直接完成换靶作业，占用空间小、用时短，且不污染环境。
技术实现思路
本技术的一个目的是解决至少上述问题和/或缺陷，并提供至少后面将说明的优点。为了实现根据本技术的这些目的和其它优点，提供了一种能够快速换靶的柔性薄膜太阳能电池磁控溅射设备，包括：腔室，其顶端的内表面上固定焊接有一组平行的导轨，所述一组平行的导轨一端位于腔室内，另一端位于腔室外部；腔门，其与腔室可实现密闭相连，所述腔门外表面的顶端平行设置有一组凸起的容纳腔，所述一组凸起的容纳腔能够容纳位于腔室外部的导轨，所述腔门外表面的底端固定连接有支撑板，所述支撑板与腔门外表面还通过两根倾斜杆固定焊接；连接板，其一个面上竖直设置有两根支撑杆，所述两根支撑杆上均设置有第一滚轮，所述第一滚轮与一组平行的导轨相互卡合滚动连接；收卷辊和放卷辊，其对称且可转动连接在连接板和腔门上，所述连接板和腔门间可转动连接有镀膜辊，所述收卷辊、放卷辊和镀膜辊上连接有卷材。优选的是，所述一组平行的导轨等距对称分布在腔室顶端的内表面上。优选的是，所述一组平行的导轨均包括：“工”字型导轨主体，其外部表面上可拆卸连接有U型外壳。优选的是，所述第一滚轮与一组平行的导轨卡合滚动连接方式为：所述一组平行的导轨内设置的“工”字型导轨主体内均包含有一组内滑槽和一组外滑槽，所述第一滚轮分别卡合在内滑槽上，实现滚动连接。优选的是，所述“工”字型导轨主体与U型外壳的可拆卸连接为：所述“工”字型导轨主体底端与U型外壳底端设置有相匹配的螺纹孔，两者通过螺钉连接。优选的是，所述“工”字型导轨主体为高碳铬轴承钢导轨主体，所述U型外壳为304不锈钢U型外壳。优选的是，所述一组凸起的容纳腔为对称分布的304不锈钢中空长方形容纳腔。优选的是，所述支撑板的底端的四个角上设置有第二滚轮。优选的是，所述收卷辊、放卷辊、镀膜辊与连接板和腔门的可转动连接方式为：通过轴承可转动连接。本技术至少包括以下有益效果：1、采用腔室内导轨的方式，配套使用滑块和手动葫芦工具，能够在设备区域直接完成换靶作业，占用空间小、耗费时间短，且绿色环保、不污染环境。2、在设备的收放卷端门车处预留方形凹槽，长度略长于导轨伸出腔室外延部分，可以起到导轨限位作用，保证了设备关腔抽真空的密封性、真空度。本技术的其它优点、目标和特征将部分通过下面的说明体现，部分还将通过对本技术的研究和实践而为本领域的技术人员所理解。附图说明：图1为本技术提供的设备结构示意图；图2为本技术提供的腔室与导轨位置示意图；图3为本技术提供的腔室与导轨刨面图；图4为本技术提供的导轨结构示意图；图5为本技术提供的第一滚轮位置示意图；图6为本技术提供的第一滚轮与导轨连接位置示意图；图7为本技术提供的滑块结构示意图；具体实施方式：下面结合附图对本技术做进一步的详细说明，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。应当理解，本文所使用的诸如“具有”、“包含”以及“包括”术语并不配出一个或多个其它元件或其组合的存在或添加。如图1-7所示，本技术的一种能够快速换靶的柔性薄膜太阳能电池磁控溅射设备，包括：腔室1，其顶端的内表面上固定焊接有一组平行的导轨2，所述一组平行的导轨2一端位于腔室1内，另一端位于腔室1外部；腔门3，其与腔室1可实现密闭相连，所述腔门3外表面的顶端设置有一组凸起的容纳腔31，所述一组凸起的容纳腔31能够容纳位于腔室1外部的导轨2，所述腔门3外表面的底端固定连接有支撑板4，所述支撑板4与腔门3外表面还通过两根倾斜杆41固定焊接；连接板5，其一个面上竖直设置有两根支撑杆51，所述两根支撑杆51上均设置有第一滚轮52，所述第一滚轮52与一组平行的导轨2相互卡合滚动连接；收卷辊61和放卷辊62，其对称且可转动连接在连接板5和腔门3上，所述连接板5和腔门3间可转动连接有镀膜辊7，所述收卷辊61、放卷辊62和镀膜辊7上连接有卷材8。工作原理：腔室1保持固定不动，打开腔门3后，向外移动腔门3，连接板5上的第一滚轮52沿一组平行的导轨向外移动，带动腔门3、支撑板4、连接板5和位于腔门3和连接板5间的收放辊61、放卷辊62和镀膜辊7向外移动，若此时需要换靶，则将第一滚轮52滚动到导轨2的最外端，使用换靶滑块9进行换靶，该换靶滑块9上设置有与导轨2相卡合的第三滚轮91，首先将换靶滑块9上的可拆卸侧板92卸下(所述可拆卸侧板92通过螺钉与换靶滑块9相连)，将换靶滑块9上的第三滚轮91卡合在一组平行的导轨2中一个导轨的外滑槽24内，将可拆卸侧板92上的第三滚轮91卡合在一组平行的导轨2中另一个导轨的外滑槽24内，通过螺钉将可拆卸侧板92连接到换靶滑块9上，通过设置在换靶滑块9底端的圆环93，通过手动葫芦(未示出)等工具，将靶材(未示出)吊起来，并通过换靶滑块9上的第三滚轮91输送到腔室1内的预定位置(未示出)，放下靶材并将靶材固定，将换靶滑块9向外移动，并重复拆卸步骤，卸下换靶滑块9；完成换靶后，在放卷辊62上连接好卷材8，卷材8的一端经过第一过渡辊(未示出)和预热辊(未示出)后与镀膜辊7底端接触，再经过冷却辊(未示出)和第二过渡辊(未示出)连接到收卷辊61上，所述第一过渡辊、预热辊、放卷辊62、镀膜辊7和冷却辊、第二过渡辊、收卷辊61均与电机(未示出)连接，可由电机带动进行旋转，所述电机设置在腔门3外表面上，所述用于控制镀膜辊加热和冷却的冷热交换机组(未示出)和用于控制电机转动的传动控制柜(未示出)均设置在支撑板4上；完成操作后，向里推动腔门3，使腔门3与腔室1密闭相连，此时，靶材位于镀膜辊7的正下方，打开装置电源，开始将腔室1内的空气抽出，加热装置进行加热，真空度和温度达到预设值后，开始磁控溅射镀膜，镀膜完成后，由冷却装置冷却后，打开腔门3，取出已完成镀膜工艺的卷材。在上述技术方案中，所述一组平行的导轨2等距对称分布在腔室1顶端的内表面上。采用这种方式，焊接固定两根导轨2，可以保证连本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种能够快速换靶的柔性薄膜太阳能电池磁控溅射设备，其特征在于，包括：/n腔室，其顶端的内表面上固定焊接有一组平行的导轨，所述一组平行的导轨一端位于腔室内，另一端位于腔室外部；/n腔门，其与腔室可实现密闭相连，所述腔门外表面的顶端平行设置有一组凸起的容纳腔，所述一组凸起的容纳腔能够容纳位于腔室外部的导轨，所述腔门外表面的底端固定连接有支撑板，所述支撑板与腔门外表面还通过两根倾斜杆固定焊接；/n连接板，其一个面上竖直设置有两根支撑杆，所述两根支撑杆上均设置有第一滚轮，所述第一滚轮与一组平行的导轨相互卡合滚动连接；/n收卷辊和放卷辊，其对称且可转动连接在连接板和腔门上，所述连接板和腔门间可转动连接有镀膜辊，所述收卷辊、放卷辊和镀膜辊上连接有卷材。/n

【技术特征摘要】
1.一种能够快速换靶的柔性薄膜太阳能电池磁控溅射设备，其特征在于，包括：
腔室，其顶端的内表面上固定焊接有一组平行的导轨，所述一组平行的导轨一端位于腔室内，另一端位于腔室外部；
腔门，其与腔室可实现密闭相连，所述腔门外表面的顶端平行设置有一组凸起的容纳腔，所述一组凸起的容纳腔能够容纳位于腔室外部的导轨，所述腔门外表面的底端固定连接有支撑板，所述支撑板与腔门外表面还通过两根倾斜杆固定焊接；
连接板，其一个面上竖直设置有两根支撑杆，所述两根支撑杆上均设置有第一滚轮，所述第一滚轮与一组平行的导轨相互卡合滚动连接；
收卷辊和放卷辊，其对称且可转动连接在连接板和腔门上，所述连接板和腔门间可转动连接有镀膜辊，所述收卷辊、放卷辊和镀膜辊上连接有卷材。


2.如权利要求1所述的能够快速换靶的柔性薄膜太阳能电池磁控溅射设备，其特征在于，所述一组平行的导轨等距对称分布在腔室顶端的内表面上。


3.如权利要求2所述的能够快速换靶的柔性薄膜太阳能电池磁控溅射设备，其特征在于，所述一组平行的导轨均包括：“工”字型导轨主体，其外部表面上可拆卸连接有U型外壳。


4.如权利要求3所述的能够快速换靶的柔性薄膜太阳能电池磁控溅射设备...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘行健，陈培专，李仁龙，魏昌华，高翔，
申请(专利权)人：绵阳金能移动能源有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51