【技术实现步骤摘要】
一种能够快速换靶的柔性薄膜太阳能电池磁控溅射设备
本技术属于柔性薄膜太阳能电池磁控溅射设备领域，具体涉及一种能够快速换靶的柔性薄膜太阳能电池磁控溅射设备。
技术介绍
磁控溅射是物理气相沉积法的一种，其原理是入射粒子和靶的碰撞过程。入射粒子在靶中经历复杂的散射过程，和靶原子碰撞，把部分动量传给靶原子，此靶原子又和其他靶原子碰撞，形成级联过程，在这种级联过程中某些表面附近的靶原子获得向外运动的足够动量，离开靶被溅射出来，整个过程易于控制，且效率也较高，运用较为广泛。在目前的磁控溅射设备中，换靶是不可缺少的必要步骤，而常规的换靶方式，可以利用吊车进行换靶，但这种方法不仅占用空间、耗费的时间长，并且容易污染环境。针对以上问题，设计了一种腔室内导轨，配套使用滑块、手动葫芦，能够直接在设备区域直接完成换靶作业，占用空间小、用时短，且不污染环境。
技术实现思路
本技术的一个目的是解决至少上述问题和/或缺陷，并提供至少后面将说明的优点。为了实现根据本技术的这些目的和其它优点，提供了一种能够快速换靶的柔性薄膜太...
【技术保护点】
1.一种能够快速换靶的柔性薄膜太阳能电池磁控溅射设备，其特征在于，包括：/n腔室，其顶端的内表面上固定焊接有一组平行的导轨，所述一组平行的导轨一端位于腔室内，另一端位于腔室外部；/n腔门，其与腔室可实现密闭相连，所述腔门外表面的顶端平行设置有一组凸起的容纳腔，所述一组凸起的容纳腔能够容纳位于腔室外部的导轨，所述腔门外表面的底端固定连接有支撑板，所述支撑板与腔门外表面还通过两根倾斜杆固定焊接；/n连接板，其一个面上竖直设置有两根支撑杆，所述两根支撑杆上均设置有第一滚轮，所述第一滚轮与一组平行的导轨相互卡合滚动连接；/n收卷辊和放卷辊，其对称且可转动连接在连接板和腔门上，所述连...
【技术特征摘要】
1.一种能够快速换靶的柔性薄膜太阳能电池磁控溅射设备，其特征在于，包括：
腔室，其顶端的内表面上固定焊接有一组平行的导轨，所述一组平行的导轨一端位于腔室内，另一端位于腔室外部；
腔门，其与腔室可实现密闭相连，所述腔门外表面的顶端平行设置有一组凸起的容纳腔，所述一组凸起的容纳腔能够容纳位于腔室外部的导轨，所述腔门外表面的底端固定连接有支撑板，所述支撑板与腔门外表面还通过两根倾斜杆固定焊接；
连接板，其一个面上竖直设置有两根支撑杆，所述两根支撑杆上均设置有第一滚轮，所述第一滚轮与一组平行的导轨相互卡合滚动连接；
收卷辊和放卷辊，其对称且可转动连接在连接板和腔门上，所述连接板和腔门间可转动连接有镀膜辊，所述收卷辊、放卷辊和镀膜辊上连接有卷材。
2.如权利要求1所述的能够快速换靶的柔性薄膜太阳能电池磁控溅射设备，其特征在于，所述一组平行的导轨等距对称分布在腔室顶端的内表面上。
3.如权利要求2所述的能够快速换靶的柔性薄膜太阳能电池磁控溅射设备，其特征在于，所述一组平行的导轨均包括：“工”字型导轨主体，其外部表面上可拆卸连接有U型外壳。
4.如权利要求3所述的能够快速换靶的柔性薄膜太阳能电池磁控溅射设备...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘行健，陈培专，李仁龙，魏昌华，高翔，
申请(专利权)人：绵阳金能移动能源有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51
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