【技术实现步骤摘要】
一种磁控溅射镀膜机射频离子源系统膜厚修正挡板
本技术涉及到电镀
，尤其涉及一种磁控溅射镀膜机射频离子源系统膜厚修正挡板。
技术介绍
在电镀
，因为不同产品，不同镀膜工艺，不同产品镀膜厚度不同，这样在电镀过程中就需要用到膜厚修正挡板。通常修正板机构使用四连杆机构，虽然四连杆机构制作成本低，但是由于四连杆机构在某一个位置会有卡死现象，这样机构无法正常使用，同时气缸会受到一个很大的径向力，导致气缸出现单边摩擦，久而久之加速密封件的磨损，真空度降低。有鉴于上述的缺陷，本公司积极加以研究创新，以期创设一种磁控溅射镀膜机射频离子源系统膜厚修正挡板，该磁控溅射镀膜机射频离子源系统膜厚修正挡板的通过气缸带动齿条和齿盘来调节修正板的角度，节省了空间，并且能够使得修正板角度的调节更加准确可靠。
技术实现思路
为了克服
技术介绍
中存在的缺陷，本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种磁控溅射镀膜机射频离子源系统膜厚修正挡板，包括气缸、固定座和修正板固定座，所述气缸固定在固定座上，所述气缸的顶杆从固定座内穿过，所...
【技术保护点】
1.一种磁控溅射镀膜机射频离子源系统膜厚修正挡板，包括气缸（1）、固定座（2）和修正板固定座（4），其特征在于，所述气缸（1）固定在固定座（2）上，所述气缸（1）的顶杆（14）从固定座（2）内穿过，所述顶杆（14）的顶端固定有齿条（3），所述齿条（3）的外部设有防护板（11），所述防护板（11）固定在固定座（2）上，所述防护板（11）上通过导轨固定螺钉（12）固定有导轨（5），所述齿条（3）能够在气缸（1）的带动下沿导轨（5）滑动，所述修正板固定座（4）的一端设有齿盘（15），所述齿盘（15）通过转轴（13）与防护板（11）可活动连接在一起，所述齿盘（15）与齿条（3）相互...
【技术特征摘要】
1.一种磁控溅射镀膜机射频离子源系统膜厚修正挡板，包括气缸（1）、固定座（2）和修正板固定座（4），其特征在于，所述气缸（1）固定在固定座（2）上，所述气缸（1）的顶杆（14）从固定座（2）内穿过，所述顶杆（14）的顶端固定有齿条（3），所述齿条（3）的外部设有防护板（11），所述防护板（11）固定在固定座（2）上，所述防护板（11）上通过导轨固定螺钉（12）固定有导轨（5），所述齿条（3）能够在气缸（1）的带动下沿导轨（5）滑动，所述修正板固定座（4）的一端设有齿盘（1...
【专利技术属性】
技术研发人员：常洪兴，徐胜，
申请(专利权)人：杰莱特苏州精密仪器有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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