一种磁控溅射镀膜机射频离子源系统膜厚修正挡板技术方案

本实用新型专利技术涉及到电镀技术领域，尤其涉及一种磁控溅射镀膜机射频离子源系统膜厚修正挡板。该磁控溅射镀膜机射频离子源系统膜厚修正挡板的气缸的顶杆顶端固定有齿条，齿盘与齿条相互啮合，齿条能够在气缸的带动下沿导轨滑动，齿条的移动通过齿盘带动修正板转动，完成修正板角度的调节，上限位调节螺钉和下限位调节螺钉能够对修正板的转动角度进行调节。此外，该磁控溅射镀膜机射频离子源系统膜厚修正挡板结构简单，对修正板角度的调节准确可靠，适合推广使用。

Film thickness correction baffle for RF ion source system of magnetron sputtering coater

【技术实现步骤摘要】
一种磁控溅射镀膜机射频离子源系统膜厚修正挡板
本技术涉及到电镀
，尤其涉及一种磁控溅射镀膜机射频离子源系统膜厚修正挡板。
技术介绍
在电镀
，因为不同产品，不同镀膜工艺，不同产品镀膜厚度不同，这样在电镀过程中就需要用到膜厚修正挡板。通常修正板机构使用四连杆机构，虽然四连杆机构制作成本低，但是由于四连杆机构在某一个位置会有卡死现象，这样机构无法正常使用，同时气缸会受到一个很大的径向力，导致气缸出现单边摩擦，久而久之加速密封件的磨损，真空度降低。有鉴于上述的缺陷，本公司积极加以研究创新，以期创设一种磁控溅射镀膜机射频离子源系统膜厚修正挡板，该磁控溅射镀膜机射频离子源系统膜厚修正挡板的通过气缸带动齿条和齿盘来调节修正板的角度，节省了空间，并且能够使得修正板角度的调节更加准确可靠。
技术实现思路
为了克服
技术介绍
中存在的缺陷，本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种磁控溅射镀膜机射频离子源系统膜厚修正挡板，包括气缸、固定座和修正板固定座，所述气缸固定在固定座上，所述气缸的顶杆从固定座内穿过，所述顶杆的顶端固定有齿条，所述齿条的外部设有防护板，所述防护板固定在固定座上，所述防护板上通过导轨固定螺钉固定有导轨，所述齿条能够在气缸的带动下沿导轨滑动，所述修正板固定座的一端设有齿盘，所述齿盘通过转轴与防护板可活动连接在一起，所述齿盘与齿条相互啮合，所述修正板固定座上通过螺钉固定有修正板支架，所述修正板支架上固定有修正板，所述固定座上对应修正板固定座固定有下限位支座。优选的所述防护板上设有上限位调节螺钉，所述修正板固定座上设有下限位调节螺钉。本技术所涉及的一种磁控溅射镀膜机射频离子源系统膜厚修正挡板，该磁控溅射镀膜机射频离子源系统膜厚修正挡板的气缸的顶杆顶端固定有齿条，齿盘与齿条相互啮合，齿条能够在气缸的带动下沿导轨滑动，齿条的移动通过齿盘带动修正板转动，完成修正板角度的调节，上限位调节螺钉和下限位调节螺钉能够对修正板的转动角度进行调节。此外，该磁控溅射镀膜机射频离子源系统膜厚修正挡板结构简单，对修正板角度的调节准确可靠，适合推广使用。附图说明下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。图1是本技术一种磁控溅射镀膜机射频离子源系统膜厚修正挡板的结构示意图一；图2是本技术一种磁控溅射镀膜机射频离子源系统膜厚修正挡板的结构示意图二；图3是本技术一种磁控溅射镀膜机射频离子源系统膜厚修正挡板的内部结构示意图；其中:1、气缸；2、固定座；3、齿条；4、修正板固定座；5、导轨；6、下限位支座；7、上限位调节螺钉；8、下限位调节螺钉；9、修正板支架；10、修正板；11、防护板；12、导轨固定螺钉；13、转轴；14、顶杆；15、齿盘。具体实施方式现在结合附图对本技术作进一步详细的说明。附图为简化的示意图，仅以示意方式说明本技术的基本结构，因此其仅显示与本技术有关的构成。请参阅图1-3，一种磁控溅射镀膜机射频离子源系统膜厚修正挡板，包括气缸1、固定座2和修正板固定座4，所述气缸1固定在固定座2上，所述气缸1的顶杆14从固定座2内穿过，所述顶杆14的顶端固定有齿条3，所述齿条3的外部设有防护板11，所述防护板11固定在固定座2上，所述防护板11上通过导轨固定螺钉12固定有导轨5，所述齿条3能够在气缸1的带动下沿导轨5滑动，所述修正板固定座4的一端设有齿盘15，所述齿盘15通过转轴13与防护板11可活动连接在一起，所述齿盘15与齿条3相互啮合，所述修正板固定座4上通过螺钉固定有修正板支架9，所述修正板支架9上固定有修正板10，所述固定座2上对应修正板固定座4固定有下限位支座6，所述防护板11上设有上限位调节螺钉7，所述修正板固定座4上设有下限位调节螺钉8。本技术所涉及的一种磁控溅射镀膜机射频离子源系统膜厚修正挡板，该磁控溅射镀膜机射频离子源系统膜厚修正挡板的气缸的顶杆顶端固定有齿条，齿盘与齿条相互啮合，齿条能够在气缸的带动下沿导轨滑动，齿条的移动通过齿盘带动修正板转动，完成修正板角度的调节，上限位调节螺钉和下限位调节螺钉能够对修正板的转动角度进行调节。此外，该磁控溅射镀膜机射频离子源系统膜厚修正挡板结构简单，对修正板角度的调节准确可靠，适合推广使用。显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本专利技术创造的保护范围之中。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种磁控溅射镀膜机射频离子源系统膜厚修正挡板，包括气缸（1）、固定座（2）和修正板固定座（4），其特征在于，所述气缸（1）固定在固定座（2）上，所述气缸（1）的顶杆（14）从固定座（2）内穿过，所述顶杆（14）的顶端固定有齿条（3），所述齿条（3）的外部设有防护板（11），所述防护板（11）固定在固定座（2）上，所述防护板（11）上通过导轨固定螺钉（12）固定有导轨（5），所述齿条（3）能够在气缸（1）的带动下沿导轨（5）滑动，所述修正板固定座（4）的一端设有齿盘（15），所述齿盘（15）通过转轴（13）与防护板（11）可活动连接在一起，所述齿盘（15）与齿条（3）相互啮合，所述修正板固定座（4）上通过螺钉固定有修正板支架（9），所述修正板支架（9）上固定有修正板（10），所述固定座（2）上对应修正板固定座（4）固定有下限位支座（6）。/n

【技术特征摘要】
1.一种磁控溅射镀膜机射频离子源系统膜厚修正挡板，包括气缸（1）、固定座（2）和修正板固定座（4），其特征在于，所述气缸（1）固定在固定座（2）上，所述气缸（1）的顶杆（14）从固定座（2）内穿过，所述顶杆（14）的顶端固定有齿条（3），所述齿条（3）的外部设有防护板（11），所述防护板（11）固定在固定座（2）上，所述防护板（11）上通过导轨固定螺钉（12）固定有导轨（5），所述齿条（3）能够在气缸（1）的带动下沿导轨（5）滑动，所述修正板固定座（4）的一端设有齿盘（1...

【专利技术属性】
技术研发人员：常洪兴，徐胜，
申请(专利权)人：杰莱特苏州精密仪器有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32