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本实用新型涉及到电镀技术领域，尤其涉及一种磁控溅射镀膜机射频离子源系统膜厚修正挡板。该磁控溅射镀膜机射频离子源系统膜厚修正挡板的气缸的顶杆顶端固定有齿条，齿盘与齿条相互啮合，齿条能够在气缸的带动下沿导轨滑动，齿条的移动通过齿盘带动修正板转动...
该专利属于杰莱特(苏州)精密仪器有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杰莱特(苏州)精密仪器有限公司授权不得商用。

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