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本实用新型公开了一种能够快速换靶的柔性薄膜太阳能电池磁控溅射设备，包括：腔室，其顶端的内表面上固定焊接有一组平行的导轨；腔门，其与腔室可实现密闭相连，所述腔门外设置有凸起的容纳腔，所述凸起的容纳腔能够容纳腔室外部的导轨，所述腔门外的底端连接...
该专利属于绵阳金能移动能源有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过绵阳金能移动能源有限公司授权不得商用。

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