一种可调式平面阴极制造技术

本实用新型专利技术公开了一种可调式平面阴极，包括底座和设于底座上方的阴极体；所述的阴极体通过升降装置与底座相连；升降装置包括螺母、丝杆、缓冲垫、导柱、导套和弹簧；所述的螺母与底座相连，所述的丝杆旋接在螺母上，丝杆的顶端抵接在阴极体的下表面上；所述的导柱套设在导套的内孔中，导柱的上表面与阴极体的下表面相连，导柱的下表面与导套内孔的侧壁之间形成密封腔，所述密封腔的底部连有气阀，所述导套的下表面与底座的上表面相连；所述弹簧的一端与阴极体相连，弹簧的另一端抵接在导套的上表面上。通过升降装置可以调节阴极体的高度，从而调节磁场，以获得更好的磁控镀膜效果。

An adjustable planar cathode

【技术实现步骤摘要】
一种可调式平面阴极
本技术涉及一种可调式平面阴极。
技术介绍
真空镀膜是一种在真空中制备膜层产生薄膜材料的技术，有三种形式，即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。其中溅射镀膜是真空镀膜中最主要的方法，该技术是在真空中利用荷能粒子轰击靶表面，使被轰击出的粒子沉积在基片上。在磁控溅射镀膜工艺中，对磁控溅射镀膜设备的质量要求很高，而在磁控溅射镀膜设备中，磁场的设置尤为重要。目前普遍采用平面磁控溅射阴极(简称“平面阴极”)，平面阴极均是采用在磁靴中安装磁铁的方法来获得加速磁场，但现有的磁靴位置无法调整，不但会造成靶材的浪费且无法获得最优的镀膜效果。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决以上现有技术的不足，提出了一种可调式平面阴极。一种可调式平面阴极，包括底座和设于底座上方的阴极体；所述的阴极体通过升降装置与底座相连；所述的升降装置包括螺母、丝杆、缓冲垫、导柱、导套和弹簧；所述的螺母与底座相连，所述的丝杆旋接在螺母上，丝杆的顶端抵接在阴极体的下表面上；所述缓冲垫的横截面为X形，缓冲垫的内部设有空腔，缓冲垫的上端抵接在阴极体的下表面上，下端本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可调式平面阴极，其特征在于，包括底座和设于底座上方的阴极体；所述的阴极体通过升降装置与底座相连；所述的升降装置包括螺母、丝杆、缓冲垫、导柱、导套和弹簧；所述的螺母与底座相连，所述的丝杆旋接在螺母上，丝杆的顶端抵接在阴极体的下表面上；所述缓冲垫的横截面为X形，缓冲垫的内部设有空腔，缓冲垫的上端抵接在阴极体的下表面上，下端与底座的上表面相连；所述的导柱设在导套的内孔中，导柱的上表面与阴极体的下表面相连，导柱的下表面与导套内孔的侧壁之间形成密封腔，所述密封腔的底部连有气阀，所述导套的下表面与底座的上表面相连；所述弹簧的一端与阴极体相连，弹簧的另一端抵接在导套的上表面上。/n

【技术特征摘要】
1.一种可调式平面阴极，其特征在于，包括底座和设于底座上方的阴极体；所述的阴极体通过升降装置与底座相连；所述的升降装置包括螺母、丝杆、缓冲垫、导柱、导套和弹簧；所述的螺母与底座相连，所述的丝杆旋接在螺母上，丝杆的顶端抵接在阴极体的下表面上；所述缓冲垫的横截面为X形，缓冲垫的内部设有空腔，缓冲垫的上端抵接在阴极体的下表面上，下端与底座的上表面相连；所述的导柱设在导套的内孔中，导柱的上表面与阴极体的下表面相连，导柱的下表面与导套内孔的侧壁之间形成密封腔，所述密封腔的底部连有气阀，所述导套的下表面与底座的上表面相连；所述弹簧的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：匡国庆，
申请(专利权)人：镇江市德利克真空设备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32