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本实用新型公开了一种用于真空设备破空管路的分流装置，包括：用于向真空腔室内输入破空气体的破空管道；设置在破空管道上以切换其工作状态的破空阀；设置于真空腔室内以实现破空的多个分流管；其中，所述破空管道在与各分流管相配合的一端设置有用于分流的转...
该专利属于绵阳金能移动能源有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过绵阳金能移动能源有限公司授权不得商用。

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