磁控多弧镀膜机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种磁控多弧镀膜机，其技术方案要点是包括底座、镀膜室、密封门、竖直设置在镀膜室中的转轴、固定连接在转轴上的两转盘、设置在两转盘之间的若干转动杆、围绕转动杆均匀分布的冷却杆、固定连接在镀膜室底板顶部的环形块、固定连接在转动杆底部的齿轮、固定连接在转动杆外周上的若干挂钩、转动连接在转轴顶部一端的进水管、转动连接在转轴底部一端的出水管以及固定连接在镀膜室上的电机，工件温度较高的时候，停止镀膜，通过围绕在转动杆外侧的冷却杆对钩挂在转动杆外侧的工件进行冷却，使得工件能够在短时间内快速冷却，冷却完毕之后继续进行镀膜，使得镀膜工艺更加稳定，保证了最终的镀膜效果。

Magnetic controlled multi arc coating machine

【技术实现步骤摘要】
磁控多弧镀膜机
本技术涉及真空镀膜的
，更具体的说，它涉及一种磁控多弧镀膜机。
技术介绍
真空磁控溅射镀膜方式作为真空镀膜领域一种重要的方式，具有非常广泛的应用范围，镀膜基材包括金属、玻璃、陶瓷、塑料薄膜等，根据工艺条件，可制备多种薄膜，例如：光学薄膜、装饰薄膜、保护膜、电磁屏蔽薄膜等功能性薄膜。目前的真空磁控溅射镀膜工艺，由于工艺需求，特别是光学薄膜的膜系设计要求，镀膜的层数可能达到上百层，厚度达到微米级别，这就要求需要较长的镀膜时间，而针对非金属氧化物靶材的溅射，需要较高的溅射功率，这也导致长时间镀膜在真空室内部产生较多的热量，引起真空室内部的温度急剧升高。镀膜过程中的高温会使得塑料等耐温性差的基材材料发生变形，此外高温也会导致真空室内的气压发生变化，导致镀膜工艺不稳定，影响最终的镀膜效果。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本技术的目的在于提供一种磁控多弧镀膜机，其在工件温度较高的时候，停止镀膜，通过围绕在转动杆外侧的冷却杆对钩挂在转动杆外侧的工件进行冷却，使得工件能够在短时间内快速冷却，冷却完毕之后继续进行镀膜，使得镀膜工艺更加稳定，保证了最终的镀膜效果。为实现上述目的，本技术提供了如下技术方案：一种磁控多弧镀膜机，包括底座、固定连接在底座顶部的镀膜室、设置在镀膜室一侧的密封门、竖直设置在镀膜室中并且上下两端都转动连接在镀膜室上的转轴、固定连接在转轴靠近顶部和底部位置的两与转轴同轴的转盘、设置在两转盘之间的两端分别转动连接在两转盘上并且围绕转轴均匀分布的若干转动杆、围绕转动杆均匀分布并且两端分别固定连接在两转盘上的冷却杆、固定连接在镀膜室底板顶部并且与转轴同轴的环形块、固定连接在转动杆底部的齿轮、固定连接在转动杆外周上的若干用于对工件进行钩挂的挂钩、转动连接在转轴顶部一端并且位于镀膜室外侧的进水管、转动连接在转轴底部一端并且位于镀膜室外侧的出水管以及固定连接在镀膜室上用于带动转轴进行转动的电机；环形块外侧固定连接有与齿轮相互啮合的啮合齿；转动杆和冷却杆的轴向方向竖直设置，转轴的顶部一端开设有与进水管相互连通的进水孔，转轴的底部一端开设有与出水管相互连通的出水孔，转盘上开设有若干与转动杆一一对应的环形孔，环形孔围绕转动杆设置，冷却杆中开设有贯穿冷却杆并且分别与两转动板上对应的环形孔相互连通的冷却孔，转动盘上开设有若干沿转动盘径向方向设置并且与若干环形孔一一对应且相互连通的连接孔，位于顶部的转动盘上的连接孔与转轴的进水孔相互连通，位于底部的转动盘上的连接孔与转轴上的出水孔相互连通。通过采用上述技术方案，将需要镀膜的工件钩挂到挂钩上，当工件的温度较高的时候，通过进水管将冷却水送入到冷却杆的冷却孔当中，冷却水将工件周围的高温带走，并且将吸热之后的水从出水管送出，并且转动杆外周均匀的设置有若干冷却杆，转动杆在转动的过程当中，转动杆上的各个工件都能够得到均匀并且快速的冷却，使得工件能够在短时间内快速冷却，冷却完毕之后继续进行镀膜，使得镀膜工艺更加稳定，保证了最终的镀膜效果。本技术进一步设置为：所述转轴的顶部固定连接有位于镀膜室外侧并且与转轴同轴的皮带轮，电机的输出轴上固定连接有与电机的输出轴同轴的皮带轮，两皮带轮绕设有将两皮带轮连接在一起的皮带。通过采用上述技术方案，电机通过皮带和皮带轮带动转轴进行转动。本技术进一步设置为：所述转轴顶部一端开设有与转轴同轴的转动槽，转动槽和进水管同轴且同径，转动槽底部设置有开设在转轴上并且直径大于转动槽的限位槽，限位槽与转动槽同轴，限位槽内设置有固定连接在进水管上并且与限位槽相互配合的限位块；进水管与转轴的连接方式与出水管与转轴的连接方式相同。通过采用上述技术方案，通过设置限位块，使得进水管和出水管既能够转动连接在转轴上，又不容易从转轴上脱离。综上所述，本技术相比于现有技术具有以下有益效果：本技术通过设置转动杆、冷却杆、进水管和出水管，将需要镀膜的工件钩挂到挂钩上，当工件的温度较高的时候，通过进水管将冷却水送入到冷却杆的冷却孔当中，冷却水将工件周围的高温带走，并且将吸热之后的水从出水管送出，并且转动杆外周均匀的设置有若干冷却杆，转动杆在转动的过程当中，转动杆上的各个工件都能够得到均匀并且快速的冷却，使得工件能够在短时间内快速冷却，冷却完毕之后继续进行镀膜，使得镀膜工艺更加稳定，保证了最终的镀膜效果。附图说明图1为实施例的完整结构的轴测图；图2为实施例取出密封门的示意图；图3为图2的A部放大示意图；图4为实施例的完整结构的剖视图；图5为图4的B部放大示意图；图6为图4的C部放大示意图；图7为实施例的转盘的剖视图。图中：1、底座；2、镀膜室；21、密封门；3、电机；31、皮带轮；32、皮带；4、转轴；41、进水孔；42、出水孔；43、转动槽；44、限位槽；5、进水管；6、出水管；61、限位块；7、转盘；71、环形孔；72、连接孔；73、环形块；8、冷却杆；81、冷却孔；9、转动杆；91、挂钩；92、齿轮。具体实施方式实施例：一种磁控多弧镀膜机，参见附图1和附图2，包括底座1、固定连接在底座1顶部的镀膜室2、设置在镀膜室2一侧的用于控制镀膜室2开关的密封门21、竖直设置在镀膜室2中并且上下两端都转动连接在镀膜室2上的转轴4、固定连接在镀膜室2顶部的电机3、固定连接在电机3输出轴一端以及固定连接在转轴4顶部一端的皮带轮31、绕设在两皮带轮31上的用于将两皮带轮31连接在一起的皮带32以及固定连接在转轴4靠近上下两端并且位于镀膜室2当中的转盘7；转轴4的轴向方向竖直设置，转盘7与转轴4同轴设置，两转盘7分别位于镀膜室2当中靠近顶部靠近底部的位置。电机3的输出轴的轴向方向竖直设置，固定连接在电机3输出轴上的皮带轮31与电机3的输出轴同轴，固定连接在转轴4上的皮带轮31与转轴4同轴。电机3通过皮带32和皮带轮31带动转轴4进行转动，转轴4在进行转动的过程当中带动转盘7一起进行转动。参见附图2和附图3，两转盘7之间设置有若干两端分别转动连接在两转盘7上并且围绕转轴4均匀分布的转动杆9，每一个转动杆9的外侧都设置有若干围绕转动杆9均匀分布并且两端分别固定连接在两转盘7上的冷却杆8，转动杆9和冷却杆8的轴线方向都竖直设置，转动杆9的外周上固定连接有若干用于对工件进行钩挂的挂钩91。参见附图4和附图5，位于底部的转盘7的下方设置有固定连接在镀膜室2底板顶部的环形块73，环形块73与转轴4同轴，环形块73的外周固定连接有若干啮合齿，转动杆9的底部一端穿过位于底部的转盘7，并且转动杆9的底部一端固定连接有齿轮92，齿轮92设置在位于底部的转盘7的底部，齿轮92与环形块73外周上的啮合齿相互配合。转轴4在带动转盘7进行转动的过程当中，转动杆9既能够跟随转轴4围绕转轴4进行转动，还能够在齿轮92和环形块73上啮合齿的作用下进行自转。参见附图5和附图6，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种磁控多弧镀膜机，其特征在于：包括底座(1)、固定连接在底座(1)顶部的镀膜室(2)、设置在镀膜室(2)一侧的密封门(21)、竖直设置在镀膜室(2)中并且上下两端都转动连接在镀膜室(2)上的转轴(4)、固定连接在转轴(4)靠近顶部和底部位置的两与转轴(4)同轴的转盘(7)、设置在两转盘(7)之间的两端分别转动连接在两转盘(7)上并且围绕转轴(4)均匀分布的若干转动杆(9)、围绕转动杆(9)均匀分布并且两端分别固定连接在两转盘(7)上的冷却杆(8)、固定连接在镀膜室(2)底板顶部并且与转轴(4)同轴的环形块(73)、固定连接在转动杆(9)底部的齿轮(92)、固定连接在转动杆(9)外周上的若干用于对工件进行钩挂的挂钩(91)、转动连接在转轴(4)顶部一端并且位于镀膜室(2)外侧的进水管(5)、转动连接在转轴(4)底部一端并且位于镀膜室(2)外侧的出水管(6)以及固定连接在镀膜室(2)上用于带动转轴(4)进行转动的电机(3)；/n环形块(73)外侧固定连接有与齿轮(92)相互啮合的啮合齿；/n转动杆(9)和冷却杆(8)的轴向方向竖直设置，转轴(4)的顶部一端开设有与进水管(5)相互连通的进水孔(41)，转轴(4)的底部一端开设有与出水管(6)相互连通的出水孔(42)，转盘(7)上开设有若干与转动杆(9)一一对应的环形孔(71)，环形孔(71)围绕转动杆(9)设置，冷却杆(8)中开设有贯穿冷却杆(8)并且分别与两转动板上对应的环形孔(71)相互连通的冷却孔(81)，转动盘上开设有若干沿转动盘径向方向设置并且与若干环形孔(71)一一对应且相互连通的连接孔(72)，位于顶部的转动盘上的连接孔(72)与转轴(4)的进水孔(41)相互连通，位于底部的转动盘上的连接孔(72)与转轴(4)上的出水孔(42)相互连通。/n...

【技术特征摘要】
1.一种磁控多弧镀膜机，其特征在于：包括底座(1)、固定连接在底座(1)顶部的镀膜室(2)、设置在镀膜室(2)一侧的密封门(21)、竖直设置在镀膜室(2)中并且上下两端都转动连接在镀膜室(2)上的转轴(4)、固定连接在转轴(4)靠近顶部和底部位置的两与转轴(4)同轴的转盘(7)、设置在两转盘(7)之间的两端分别转动连接在两转盘(7)上并且围绕转轴(4)均匀分布的若干转动杆(9)、围绕转动杆(9)均匀分布并且两端分别固定连接在两转盘(7)上的冷却杆(8)、固定连接在镀膜室(2)底板顶部并且与转轴(4)同轴的环形块(73)、固定连接在转动杆(9)底部的齿轮(92)、固定连接在转动杆(9)外周上的若干用于对工件进行钩挂的挂钩(91)、转动连接在转轴(4)顶部一端并且位于镀膜室(2)外侧的进水管(5)、转动连接在转轴(4)底部一端并且位于镀膜室(2)外侧的出水管(6)以及固定连接在镀膜室(2)上用于带动转轴(4)进行转动的电机(3)；
环形块(73)外侧固定连接有与齿轮(92)相互啮合的啮合齿；
转动杆(9)和冷却杆(8)的轴向方向竖直设置，转轴(4)的顶部一端开设有与进水管(5)相互连通的进水孔(41)，转轴(4)的底部一端开设有与出水管(6)相互连通的出水孔(42)，转盘(7)上开设有若干与转动杆(9)一一对应的环形孔(71)，环...

【专利技术属性】
技术研发人员：傅志坚，
申请(专利权)人：青岛华磊真空镀膜有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37