感光性导电糊剂及导电图案形成用膜制造技术

感光性导电糊剂，其具有季铵盐化合物(A)、含羧基的树脂(B)、光聚合引发剂(C)、具有不饱和双键的反应性单体(D)及导电性粒子(E)。本发明专利技术提供感光性导电糊剂及导电图案形成用膜，所述感光性导电糊剂在低温且短时间内呈现导电性，通过光刻法能够形成暴露于高温高湿环境后的与ITO的密合性及耐弯曲性优异的微细布线。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】感光性导电糊剂及导电图案形成用膜
本专利技术涉及感光性导电糊剂及使用其的导电图案形成用膜。
技术介绍
近年来，提出了通过使用感光性导电糊剂的光刻法，在耐热性低的基材上形成微细的导电图案的技术。为了在耐热性低的基板上形成导电图案，需要在不经过烧成工序(其通过高温加热来除去有机物)的情况下、在具有绝缘性的有机物中使导电性粒子彼此接触来形成导电通路。作为上述技术中使用的感光性导电糊剂，例如，提出了：包含具有2个以上烷氧基的化合物、具有不饱和双键的感光性成分、光聚合引发剂、导电性填料的导电糊剂(例如，参见专利文献1)；包含导电粉末、有机粘结剂、光聚合性单体、光聚合引发剂及溶剂的感光性导电糊剂(例如，参见专利文献2)；等等。另一方面，提出了包含二羧酸及其酸酐、具有不饱和双键且酸值在40～200mgKOH/g的范围内的感光性成分、光聚合引发剂、导电性填料的感光性导电糊剂(例如，参见专利文献3)等。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2011-180580号公报专利文献2：国际公开2004-061006号专利文献3：国际公开2012-124438号
技术实现思路
专利技术要解决的课题但是，由专利文献1、2的技术得到的导电图案存在硬、耐弯曲性低这样的课题。另外，就由专利文献3的技术得到的导电图案而言，在ITO等耐酸性低的基材的情况下，有暴露于高温高湿环境时密合性降低这样的课题。因此，本专利技术的目的在于提供下述感光性导电糊剂及导电图案形成用膜，所述感光性导电糊剂在低温且短时间内呈现导电性，通过光刻法能够形成暴露于高温高湿环境后的与ITO的密合性及耐弯曲性优异的微细布线。用于解决课题的手段本申请的专利技术人进行了深入研究，结果发现，通过使感光性导电糊剂及导电图案形成用膜含有季铵盐化合物，从而能够促进金属原子从导电性粒子表面扩散，与以往相比，能够在低温且短时间内形成微细的导电图案，并且能够抑制基材的变形，使暴露于高温高湿环境后的与ITO的密合性及耐弯曲性提高，从而完成了本专利技术。本专利技术为具有季铵盐化合物(A)、含羧基的树脂(B)、光聚合引发剂(C)、具有不饱和双键的反应性单体(D)及导电性粒子(E)的感光性导电糊剂及使用其的导电图案形成用膜。专利技术的效果根据本专利技术，可得到能够形成暴露于高温高湿环境后的与ITO的密合性优异、耐弯曲性优异的微细布线的感光性导电糊剂及导电图案形成用膜。通过使用它们并适当调节加工方法、构成构件，能够在曲面、锐角面上形成布线，得到耐久性高的压力传感器。附图说明[图1]为实施例的电阻率评价中使用的评价样品的示意图。[图2]为实施例38中制作的压力传感器的截面示意图。[图3]为实施例39中制作的压力传感器的截面示意图。[图4]为实施例40中制作的电阻率测定用电路基板的截面、端面及上下表面的示意图。[图5]为比较例4中制作的压力传感器的截面示意图。具体实施方式本专利技术的感光性导电糊剂含有季铵盐化合物(A)、含羧基的树脂(B)、光聚合引发剂(C)、具有不饱和双键的反应性单体(D)及导电性粒子(E)。由本专利技术的感光性导电糊剂得到的导电图案为有机成分与无机成分的复合物，导电性粒子(E)彼此因热固化时的原子扩散现象而互相接触，由此呈现导电性。季铵盐化合物(A)促进热固化时的原子扩散现象，因此通过使感光性导电糊剂含有季铵盐化合物(A)，从而能够在低温且短时间内呈现导电性。因此，就本专利技术的感光性导电糊剂而言，在形成导电图案时，能够抑制过度的固化收缩，将暴露于高温高湿环境后的导电图案与基材的密合性、耐弯曲性维持在高的水平。上述效果为季铵盐特有的效果。通常而言，在添加碱性高的伯胺化合物、仲胺化合物的情况下，与含羧基的树脂(B)的羧基发生中和反应，因此将损害光刻加工中的微细图案化性。另外，在添加叔胺化合物的情况下，热固化时的原子扩散现象不发生，因此，无法获得在低温且短时间内呈现导电性的效果。通过使感光性导电糊剂含有含羧基的树脂(B)，从而能够提高光刻加工中的碱显影性，实现高分辨率的图案加工。通过使感光性导电糊剂含有光聚合引发剂(C)及具有不饱和双键的反应性单体(D)，利用基于光刻加工时的曝光的光聚合，从而能够使得感光性导电糊剂不溶于碱，实现微细图案化。作为季铵盐化合物(A)，例如，可举出氯化季铵化合物、溴化季铵化合物、碘化季铵化合物、它们的水合物等。作为氯化季铵化合物，例如，可举出苄基二甲基硬脂基氯化铵、二(十二烷基)二甲基氯化铵、苄基十六烷基二甲基氯化铵、苯扎氯铵、二癸基二甲基氯化铵、苄基十二烷基二甲基氯化铵、十六烷基三甲基氯化铵、三甲基十四烷基氯化铵、四丁基氯化铵、十二烷基三甲基氯化铵、氯化苯甲酰胆碱、癸基三甲基氯化铵、苄基三甲基氯化铵、四丙基氯化铵、苄基三甲基氯化铵、氯化乙酰胆碱、四乙基氯化铵、二烯丙基二甲基氯化铵、氯化胆碱、四甲基氯化铵等。作为溴化季铵化合物，例如，可举出将作为氯化季铵化合物所示例的化合物的氯替换为溴而成的化合物等。作为碘化季铵化合物，例如，可举出将作为氯化季铵化合物所示例的化合物的氯替换为碘而成的化合物等。可以含有它们中的两种以上。这些之中，氯化季铵化合物容易促进热固化时的导电性粒子的原子扩散现象，能够通过短时间的热固化使导电性进一步提高，因此优选。季铵盐化合物(A)中的阴离子的比例(阴离子的原子量/季铵盐化合物的分子量)优选为10.0重量％以上。阴离子的比例为10.0重量％以上时，阴离子的稳定性高，容易促进热固化时的导电性粒子的原子扩散现象，能够通过短时间的热固化使导电性进一步提高。另一方面，阴离子的比例优选为50.0重量％以下。阴离子的比例为50.O重量％以下时，能够提高在有机成分中的溶解性，能够抑制季铵盐化合物(A)的结晶析出。需要说明的是，所谓阴离子的比例，是指季铵盐化合物(A)中包含的阴离子的原子量相对于季铵盐化合物(A)的分子量而言的重量比例。优选与季铵盐化合物(A)的氮原子键合的基团中的至少三者为CxH2x-1(x＝1～4)。与氮原子键合的基团中的至少三者为CxH2x-1(x＝1～4)时，阴离子的稳定性高，容易促进热固化时的导电性粒子的原子扩散现象，即使在低温且短时间的热固化条件下，也能够使导电性提高。季铵盐化合物(A)的分子量优选为350以下。分子量为350以下时，阴离子的稳定性高，容易促进热固化时的导电性粒子的原子扩散现象，即使在低温且短时间的热固化条件下，也能够使导电性提高。相对于导电性粒子(E)100重量份而言，本专利技术的感光性导电糊剂中的季铵盐化合物(A)的含量优选为0.01～5重量份。季铵盐化合物(A)的含量为0.01重量份以上时，容易促进导电性粒子(E)的原子扩散现象，能够通过短时间的热固化使导电性进一步提高。季铵盐化合物(A)的含量更优选为0.05重量份以上，进一步优选为0.1重量份以上。另一方面，季铵盐化合物(A)的含量为5重量份以下时，能够抑制金属卤化物的生成，使导本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.感光性导电糊剂，其具有季铵盐化合物(A)、含羧基的树脂(B)、光聚合引发剂(C)、具有不饱和双键的反应性单体(D)及导电性粒子(E)。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171011 JP 2017-1974141.感光性导电糊剂，其具有季铵盐化合物(A)、含羧基的树脂(B)、光聚合引发剂(C)、具有不饱和双键的反应性单体(D)及导电性粒子(E)。


2.如权利要求1所述的感光性导电糊剂，其中，相对于所述导电性粒子(E)100重量份而言，含有0.01～5重量份的所述季铵盐化合物(A)。


3.如权利要求1或2所述的感光性导电糊剂，其中，所述季铵盐化合物(A)中的阴离子的比例为10.0重量％以上。


4.如权利要求1～3中任一项所述的感光性导电糊剂，其中，所述季铵盐化合物(A)的分子量为350以下。


5.如权利要求1～4中任一项所述的感光性导电糊剂，其中，与所述季铵...

【专利技术属性】
技术研发人员：水口创，小山麻里惠，
申请(专利权)人：东丽株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP