一种新型减薄制程工艺酸液交换结构制造技术

本实用新型专利技术提供一种新型减薄制程工艺酸液交换结构。所述新型减薄制程工艺酸液交换结构包括压滤机；第三高频油箱，所述第三高频油箱安装于所述压滤机的侧壁；储油机构，所述储油机构连通于所述第三高频油箱的顶部，所述储油机构包括导流管、水泵、第一高频油箱及第二高频油箱；连接机构，所述连接机构连接于所述第一高频油箱、所述第二高频油箱与所述压滤机之间，所述连接机构包括水阀、回酸管及连接管；第四高频油箱；第五高频油箱；第六高频油箱；尾处理机构；衡温机构，所述衡温机构安装于所述第二高频油箱的侧面。本实用新型专利技术提供的新型减薄制程工艺酸液交换结构温度交换彻底、设备制备的效果更好、使顶喷蚀刻的效果更好。

A new structure of acid-liquid exchange in thinning process

【技术实现步骤摘要】
一种新型减薄制程工艺酸液交换结构
本技术涉及酸液交换
，尤其涉及一种新型减薄制程工艺酸液交换结构。
技术介绍
减薄，是指对曝光过度或显影过度而无法放大的过于偏黑的负片的一种补救方法,电离时生成的阳离子全部是氢离子(H+)的化合物叫做酸，或者溶于水并能释放质子形成H3O+(水合氢离子)的物质也是酸。目前的新型减薄制程工艺酸液交换结构在循环交换过程中进行过滤，在过滤循环交换过程中温度交换不彻底，会形成局部温度不均，酸液浓度不一致导致蚀刻率不稳定，对于整体TFT-LCD顶喷蚀刻制程工艺而言，从而使设备制程容易出现比较高的喷淋痕蚀刻不均和厚度不均。因此，有必要提供一种新的新型减薄制程工艺酸液交换结构解决上述技术问题。
技术实现思路
本技术解决的技术问题是提供一种温度交换彻底、设备制备的效果更好、使顶喷蚀刻的效果更好的新型减薄制程工艺酸液交换结构。为解决上述技术问题，本技术提供的新型减薄制程工艺酸液交换结构包括：压滤机；第三高频油箱，所述第三高频油箱安装于所述压滤机的侧壁；储油机构，所述储油机构连通于所述第三高频油箱的顶部，所述储油机构包括导流管、水泵、第一高频油箱及第二高频油箱，所述第三高频油箱的顶部连通有所述第二高频油箱，所述第二高频油箱的顶部连通有所述第一高频油箱，所述第一高频油箱与第二高频油箱的侧面通过所述导流管连通，所述导流管的侧壁安装有所述水泵；连接机构，所述连接机构连接于所述第一高频油箱、所述第二高频油箱与所述压滤机之间，所述连接机构包括水阀、回酸管及连接管，所述压滤机与所述第一高频油箱之间通过所述回酸管连通，所述回酸管的侧壁安装有所述水阀，所述所述压滤机与所述第一高频油箱之间连通有所述连接管；第四高频油箱，所述第四高频油箱连通于所述第三高频油箱；第五高频油箱，所述第五高频油箱连通于所述第四高频油箱的顶部；第六高频油箱，所述第六高频油箱连通于所述第五高频油箱的顶部；尾处理机构，所述尾处理机构安装于所述第六高频油箱的侧壁，所述第一高频油箱与所述尾处理机构之间连通；衡温机构，所述衡温机构安装于所述第二高频油箱的侧面。优选的，所述尾处理机构包括排放管、开关、喷铪盒及清洁剂箱，所述第六高频油箱的侧壁安装有所述喷铪盒，所述第五高频油箱的侧壁安装有所述清洁剂箱，所述清洁剂箱与所述喷哈盒之间连通，所述喷哈盒与所述第一高频油箱之间通过所述排放管连通，所述开关安装于所述排放管的侧壁。优选的，所述衡温机构外壳、缓冲管、挡板、皮带、转轴、刮板、喷水管、连接板及带轮，所述第二高频油箱的侧面连通有所述外壳，所述外壳与所述压滤机之间通过所述缓冲管连通，所述外壳靠近所述第二高频油箱的内侧焊接有所述挡板，所述外壳的内部安装有与所述缓冲管连通的所述喷水管，所述外壳的内部转动连接有两个所述转轴，两个所述转轴的端部焊接所述带轮，两个所述转轴之间通过所述皮带配合所述带轮转动连接，两个所述转轴的表面呈环形阵列焊接有所述连接板，位于两个所述转轴表面上的所述连接板的端部焊接有所述刮板。优选的，挡板呈倾斜焊接于所述外壳的内侧，三个所述挡板呈阶梯装焊接于所述外壳的内侧。优选的，所述刮板位于所述喷水管的底部，且其中一个所述转轴表面的所述刮板的底部与所述外壳侧面开口处平齐。与相关技术相比较，本技术提供的新型减薄制程工艺酸液交换结构具有如下有益效果：本技术提供一种新型减薄制程工艺酸液交换结构，所述在所述第二高频油箱的侧面安装所述外壳，在酸水过滤时将所述缓冲管打开实现了所述压滤机内部过滤后的酸水流到所述缓冲管的内部卖进一步的进入到所述喷水管的颞部，进而水掉落到其中一个所述转轴表面的所述刮板的表面，然后带动其中一个所述转轴侧壁的所述带轮转动，进而过滤后的水掉落到呈阶梯状设置的所述挡板的表面，减缓了酸水的流动速度，其中一个所述带轮通过所述皮带带动另一个所述带轮转动，进一步的带动另一个所述转轴转动，位于所述外壳底部的所述转轴转动后带动所述刮板将所述外壳底部的所述刮板转动，进而实现了所述刮板将所述外壳内部的酸水进行搅拌让温度进行均匀，降药液循环交换时出现的局部温度不均，降低循环时间，缩短制程时间，确保双向减薄蚀刻率相同，双向减薄蚀刻率相同，可降低蚀刻制程厚度不均和喷淋痕蚀刻不均。附图说明图1为本技术提供的新型减薄制程工艺酸液交换结构的一种较佳实施例的结构示意图；图2为图1所示的第二高频油箱与衡温机构连接示意图；图3为图2所示的A部结构放大示意图。图中标号：1、压滤机，2、连接机构，21、水阀，22、回酸管，23、连接管，3、储油机构，31、导流管，32、水泵，33、第一高频油箱，34、第二高频油箱，4、衡温机构，41、外壳，42、缓冲管，43、挡板，44、皮带，45、转轴，46、刮板，47、喷水管，48、连接板，49、带轮，5、第三高频油箱，6、第四高频油箱，7、第五高频油箱，8、第六高频油箱，9、尾处理机构，91、排放管，92、开关，93、喷铪盒，94、清洁剂箱。具体实施方式下面结合附图和实施方式对本技术作进一步说明。请结合参阅图1、图2和图3，其中，图1为本技术提供的新型减薄制程工艺酸液交换结构的一种较佳实施例的结构示意图；图2为图1所示的第二高频油箱与衡温机构连接示意图；图3为图2所示的A部结构放大示意图。新型减薄制程工艺酸液交换结构包括：压滤机1；第三高频油箱5，所述第三高频油箱5安装于所述压滤机1的侧壁；储油机构3，所述储油机构3连通于所述第三高频油箱5的顶部，所述储油机构3包括导流管31、水泵32、第一高频油箱33及第二高频油箱34，所述第三高频油箱5的顶部连通有所述第二高频油箱34，所述第二高频油箱34的顶部连通有所述第一高频油箱33，所述第一高频油箱33与第二高频油箱34的侧面通过所述导流管31连通，所述导流管31的侧壁安装有所述水泵32；连接机构2，所述连接机构2连接于所述第一高频油箱33、所述第二高频油箱34与所述压滤机1之间，所述连接机构2包括水阀21、回酸管22及连接管23，所述压滤机1与所述第一高频油箱33之间通过所述回酸管22连通，所述回酸管22的侧壁安装有所述水阀21，所述所述压滤机1与所述第一高频油箱33之间连通有所述连接管23；第四高频油箱6，所述第四高频油箱6连通于所述第三高频油箱2；第五高频油箱7，所述第五高频油箱7连通于所述第四高频油箱6的顶部；第六高频油箱8，所述第六高频油箱8连通于所述第五高频油箱7的顶部；尾处理机构9，所述尾处理机构9安装于所述第六高频油箱8的侧壁，所述第一高频油箱33与所述尾处理机构9之间连通；衡温机构4，所述衡温机构4安装于所述第二高频油箱34的侧面。所述尾处理机构9包括排放管91、开关92、喷铪盒93及清洁剂箱94，所述第六高频油箱8的侧壁安装有所述喷铪盒93，所述第五高频油箱7的侧壁安装有所述清洁剂箱7，所述清洁剂箱7与所述喷哈盒93之间连通，所述喷哈盒73与所述第一高频油箱33之间通过所述排放管91连通，所述开关92安装本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种新型减薄制程工艺酸液交换结构，其特征在于，包括：/n压滤机；/n第三高频油箱，所述第三高频油箱安装于所述压滤机的侧壁；/n储油机构，所述储油机构连通于所述第三高频油箱的顶部，所述储油机构包括导流管、水泵、第一高频油箱及第二高频油箱，所述第三高频油箱的顶部连通有所述第二高频油箱，所述第二高频油箱的顶部连通有所述第一高频油箱，所述第一高频油箱与第二高频油箱的侧面通过所述导流管连通，所述导流管的侧壁安装有所述水泵；/n连接机构，所述连接机构连接于所述第一高频油箱、所述第二高频油箱与所述压滤机之间，所述连接机构包括水阀、回酸管及连接管，所述压滤机与所述第一高频油箱之间通过所述回酸管连通，所述回酸管的侧壁安装有所述水阀，所述压滤机与所述第一高频油箱之间连通有所述连接管；/n第四高频油箱，所述第四高频油箱连通于所述第三高频油箱；/n第五高频油箱，所述第五高频油箱连通于所述第四高频油箱的顶部；/n第六高频油箱，所述第六高频油箱连通于所述第五高频油箱的顶部；/n尾处理机构，所述尾处理机构安装于所述第六高频油箱的侧壁，所述第一高频油箱与所述尾处理机构之间连通；/n衡温机构，所述衡温机构安装于所述第二高频油箱的侧面。/n...

【技术特征摘要】
1.一种新型减薄制程工艺酸液交换结构，其特征在于，包括：
压滤机；
第三高频油箱，所述第三高频油箱安装于所述压滤机的侧壁；
储油机构，所述储油机构连通于所述第三高频油箱的顶部，所述储油机构包括导流管、水泵、第一高频油箱及第二高频油箱，所述第三高频油箱的顶部连通有所述第二高频油箱，所述第二高频油箱的顶部连通有所述第一高频油箱，所述第一高频油箱与第二高频油箱的侧面通过所述导流管连通，所述导流管的侧壁安装有所述水泵；
连接机构，所述连接机构连接于所述第一高频油箱、所述第二高频油箱与所述压滤机之间，所述连接机构包括水阀、回酸管及连接管，所述压滤机与所述第一高频油箱之间通过所述回酸管连通，所述回酸管的侧壁安装有所述水阀，所述压滤机与所述第一高频油箱之间连通有所述连接管；
第四高频油箱，所述第四高频油箱连通于所述第三高频油箱；
第五高频油箱，所述第五高频油箱连通于所述第四高频油箱的顶部；
第六高频油箱，所述第六高频油箱连通于所述第五高频油箱的顶部；
尾处理机构，所述尾处理机构安装于所述第六高频油箱的侧壁，所述第一高频油箱与所述尾处理机构之间连通；
衡温机构，所述衡温机构安装于所述第二高频油箱的侧面。


2.根据权利要求1所述的新型减薄制程工艺酸液交换结构，其特征在于，所述尾处...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁坤，
申请(专利权)人：黄石惠晶显示科技有限公司，
类型：新型
国别省市：湖北;42