玻璃减薄设备制造技术

本发明专利技术涉及一种玻璃减薄设备，更特别地，涉及一种用于更准确地将玻璃变薄以具有目标厚度的玻璃减薄设备。为了提高目标厚度的准确度，在其中对玻璃施加减薄处理的蚀刻区中，设置能够实时测量玻璃厚度的主厚度测量仪。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种玻璃减薄设备，更具体地，涉及一种用于更准确地将玻璃变薄以具有目标厚度的玻璃减薄设备。
技术介绍
在制造诸如液晶显示器(LCD)等平板显示器的同时，向基板施加各种处理。例如，出于预定目的，玻璃经历减薄处理等。在玻璃正在经受减薄处理的同时，在预设的蚀刻时间期间向玻璃施用蚀刻液体。如果在相同的蚀刻时间期间针对各个玻璃片执行减薄处理，则无法预料各玻璃片的期望厚度(即，目标厚度)。换句话讲，无法将所有玻璃片蚀刻成分别具有期望的目标蚀刻深度。
技术实现思路
因此，为了解决以上问题，想到了本专利技术；本专利技术的一方面是提供一种用于更准确地将玻璃变薄以具有目标厚度的玻璃减薄设备。根据本专利技术的实施方式，一种玻璃减薄设备包括：腔室，该腔室包括：在加载通道中布置的加载区和冲洗区；蚀刻区，在所述蚀刻区中对沿着所述加载通道加载的玻璃施加减薄处理；以及在卸载通道中布置的冲洗区和卸载区，通过所述卸载通道取出经历过减薄处理的玻璃；匣盒，该匣盒布置成能在所述腔室内移动，并且该匣盒竖直容纳至少一个玻璃片；主厚度测量仪，该主厚度测量仪设置在所述腔室的所述蚀刻区中并且实时测量经历减薄处理的玻璃的厚度；以及控制器，如果由所述主厚度测量仪测得的玻璃厚度达到目标厚度，则所述控制器停止对玻璃进行的减薄处理并且控制所述匣盒沿着所述卸载通道移动。附图说明根据下面结合附图对示例性实施方式的描述，本专利技术的以上和/或其它方面将变得清楚并且更容易理解，其中：图1示出应用于根据本专利技术的实施方式的玻璃减薄设备的腔室的结构；图2是根据本专利技术的实施方式的玻璃减薄设备的立体图；图3是图2的正视图；图4和图5是用于说明根据本专利技术的实施方式的玻璃减薄设备中的厚度测量仪的布置和操作的示意图；以及图6是用于说明根据本专利技术的实施方式的玻璃减薄设备中将玻璃变薄的方法的过程视图。具体实施方式下文中，将参照附图描述具有以上问题、解决方案和效果的根据本专利技术的用于在蚀刻过程中加载基板的匣盒(cassette)的示例性实施方式。为了描述的清晰和方便起见，可夸大附图中示出的元件的尺寸、形状等。另外，在考虑到本专利技术的构造和操作的情况下具体定义的术语可根据使用者和操作人员的意图或实践而变化。关于这种术语的定义必须是基于整个以下说明书中提供的内容。根据本专利技术的实施方式的腔室10可以是其中加载区或卸载区(L或U)11a或11b、冲洗区(R)13和蚀刻区(E)15如图1的(a)中所示顺序连接的腔室。在这种情况下，竖直容纳在匣盒等保持装置中的玻璃片或多个玻璃片被加载到加载区(L)11a中，在冲洗区(R)13中进行清洁并且在蚀刻区(E)15中经历变薄处理。然后，经处理的玻璃在向后方向上(即，向着冲洗区(R)13)移动以经历清洁处理并且通过卸载区(U)11b被卸载到外部。根据本专利技术的实施方式的腔室10可以是其中加载区(L)11a、冲洗区(R)13、蚀刻区(E)15、冲洗区(R)13和卸载区(U)11b如图1的(b)中所示顺序连接的腔室。在这种情况下，竖直容纳在匣盒等保持装置中的玻璃片或多个玻璃片被加载到加载区(L)11a中，在冲洗区(R)13中进行清洁并且在蚀刻区(E)15中经历变薄处理。然后，经处理的玻璃在向前方向上(即，向着冲洗区(R)13)移动以经历清洁处理并且通过卸载区(U)11b被卸载到外部。简言之，如图1中所示的根据本专利技术的实施方式的腔室10被构造成包括：加载
区11a和冲洗区13，所述加载区和所述冲洗区布置在玻璃向着蚀刻区15移动所经过的路径中(即，加载路径LP中)；蚀刻区，在所述蚀刻区中对沿着加载通道加载的玻璃施加减薄处理；以及冲洗区13和卸载区11b，所述冲洗区和所述卸载区布置在卸载通道UP中，卸载通道UP对应于卸载经历过减薄处理的玻璃所经过的通道。以下，将在以下假设下进行描述：竖直容纳在匣盒中的至少一个玻璃片在具有如图1的(a)中所示结构的腔室10内移动的同时经历减薄处理。然而，以下描述可同等地应用于使用图1的(b)中所示腔室的情况和一个玻璃片在移动的同时经历减薄处理的情况。如图2和图3中所示，根据本专利技术的实施方式的玻璃减薄设备包括：腔室10，在所述腔室中对玻璃1施加减薄处理；匣盒30，该匣盒被布置成在腔室10内移动并且待经历减薄处理的至少一个玻璃片1竖直容纳在该匣盒中；主厚度测量仪50，该主厚度测量仪实时测量在腔室10的蚀刻区15内经历减薄处理的玻璃的厚度；以及控制器(未示出)，该控制器控制用于减薄处理的操作，在由主厚度测量仪50测得的玻璃厚度达到目标厚度时停止对玻璃进行的减薄处理，以及控制匣盒30沿着卸载通道UP移动。参照图2和图3，加载/卸载区11a、11b对应于用于将匣盒30(待经历减薄处理的玻璃1竖直容纳在该匣盒中)加载到腔室中空间或者用于将匣盒30(经历过减薄处理的玻璃1竖直容纳在该匣盒中)卸载到腔室10外部的空间。冲洗区13对应于用于在玻璃移动到蚀刻区15之前或者从蚀刻区15出来之后冲洗玻璃的空间。在这种情况下，加载通道LP包括加载区11a和冲洗区13，卸载通道UP包括冲洗区13和卸载区11b。当然，在图1的(b)中所示的腔室中，玻璃在在笔直方向上连续向前移动的同时经历处理，与图1的(a)和图2中所示的腔室相反。根据本专利技术的实施方式的匣盒30容纳待经历蚀刻处理、减薄处理或薄玻璃制备过程的至少一个玻璃片，并且被安装于腔室10中的加载空间。例如，如图2和图3中所示，匣盒30首先被安装于加载区11a。匣盒30被布置成在腔室10内往复运动，竖直容纳待经历减薄处理的至少一个玻璃片1。另外，匣盒30被构造成在转移装置(未示出)的作用下在加载区11a/卸载区11b和蚀刻区15之间往复运动。竖直容纳在匣盒30中的至少一个玻璃片1被放入加载区11a/卸载区11b中，在冲洗区13中进行冲洗，向蚀刻区15移动，以经历基于蚀刻液体进行的减薄处理。当从布置在蚀刻区15内上侧的蚀刻液体喷嘴(未示出)喷射的蚀刻液体沿着玻璃的两个表面向下流动时，执行减薄处理。在蚀刻区15中经历过减薄处理的至少一个玻璃片1在冲洗区13中再次进行冲洗并且通过卸载区11b被卸载到腔室10外部。在经历过减薄处理的玻璃片1被卸载到腔室10外部之后，将容纳玻璃片的下一个匣盒通过加载区11a加载到腔室10中并且如上所述地经历减薄处理。通过以上操作，玻璃片顺序地经历减薄处理。顺便一提，在玻璃1被卸载到腔室10外部之前，用安装在蚀刻区15内壁的主厚度测量仪50测量在蚀刻区15中经历过减薄处理的玻璃1的厚度。具体地，主厚度测量仪50实时测量在腔室10的蚀刻区15内经历减薄处理的玻璃的厚度。也就是说，主厚度测量仪50在容纳至少一个玻璃片的匣盒30被加载到蚀刻区15之后用蚀刻液体将玻璃变薄或者减薄的同时实时测量玻璃的厚度，并且将关于测得厚度的信息发送到控制器(未示出)。控制器实时确定从主厚度测量仪50接收的玻璃的厚度是否达到目标厚度。如果确定玻璃厚度达到目标厚度，则控制器停止对玻璃进行的减薄处理并且控制匣盒30沿着卸载通道UP移动。换句话讲，当在减薄处理期间玻璃厚度达到目标厚度时，控制器停止供应蚀刻液体等的减薄处理并且控制容纳完成减薄的玻璃的匣盒沿着卸载通道UP移动并且将所述匣盒取出。然后，沿着在与加载通道L本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种玻璃减薄设备，该玻璃减薄设备包括：腔室，该腔室包括：在加载通道中布置的加载区和冲洗区；蚀刻区，在所述蚀刻区中对沿着所述加载通道加载的玻璃施加减薄处理；以及在卸载通道中布置的冲洗区和卸载区，通过所述卸载通道取出经历过减薄处理的玻璃；匣盒，该匣盒布置成能在所述腔室内移动，并且该匣盒竖直容纳至少一个玻璃片；主厚度测量仪，该主厚度测量仪设置在所述腔室的所述蚀刻区中并且实时测量经历减薄处理的玻璃的厚度；以及控制器，如果由所述主厚度测量仪测得的玻璃厚度达到目标厚度，则所述控制器停止对玻璃进行的减薄处理并且控制所述匣盒沿着所述卸载通道移动。

【技术特征摘要】
2015.02.17 KR 10-2015-00240011.一种玻璃减薄设备，该玻璃减薄设备包括：腔室，该腔室包括：在加载通道中布置的加载区和冲洗区；蚀刻区，在所述蚀刻区中对沿着所述加载通道加载的玻璃施加减薄处理；以及在卸载通道中布置的冲洗区和卸载区，通过所述卸载通道取出经历过减薄处理的玻璃；匣盒，该匣盒布置成能在所述腔室内移动，并且该匣盒竖直容纳至少一个玻璃片；主厚度测量仪，该主厚度测量仪设置在所述腔室的所述蚀刻区中并且实时测量经历减薄处理的玻璃的厚度；以及控制器，如果由所述主厚度测量仪测得的玻璃厚度达到目标厚度，则所述控制器停止对玻璃进行的减薄处理并且控制所述匣盒沿着所述卸载通道移动。2.根据权利要求1所述的玻璃减薄设备，其中，所述主厚度测量仪与所述蚀刻区...

【专利技术属性】
技术研发人员：张承逸，
申请(专利权)人：MM科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR