一种巨量转移装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种巨量转移装置及方法，所述巨量转移装置包括：壳体、设置在所述壳体内的滑板；所述壳体背面设置有用于吸附微元件的吸附孔，所述壳体正面设置有真空孔，所述滑板上设置有第一通孔，所述滑板可在所述壳体内滑动并通过所述第一通孔连通或断开所述吸附孔和所述真空孔。通过控制滑板滑动第一距离并连通对应的真空孔和吸附孔，即可进行巨量转移；控制滑板滑动第二距离并连通对应的真空孔和吸附孔，也可以进行巨量转移；其中，滑板滑动第二距离时连通的真空孔和吸附孔与滑板滑动第一距离时连通的真空孔和吸附孔不同。也就是说，通过控制滑板的滑动距离可以选择性连通真空孔和吸附孔。

A huge transfer device and method

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】一种巨量转移装置及方法
本专利技术涉及巨量转移
，尤其涉及的是一种巨量转移装置及方法。
技术介绍
巨量转移装置应用于大量微元件(如Micro-LED)的转移，由于Micro-LED等微元件是分为R、G、B三色Micro-LED的，现有技术中的巨量转移装置通产采用的是全取、全转移的方式，无法选择性转移某一部分微元件。因此，现有技术还有待于改进和发展。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题在于，针对现有技术的上述缺陷，提供一种巨量转移装置及方法，旨在解决现有技术中无法选择性转移某一部分微元件的问题。本专利技术解决技术问题所采用的技术方案如下：一种巨量转移装置，其中，包括：壳体、设置在所述壳体内的滑板；所述壳体背面设置有用于吸附微元件的吸附孔，所述壳体正面设置有真空孔，所述滑板上设置有第一通孔，所述滑板可在所述壳体内滑动并通过所述第一通孔连通或断开所述吸附孔和所述真空孔。所述的巨量转移装置，其中，所述吸附孔呈第一点阵列分布。所述的巨量转移装置，其中，所述真空孔呈第二点阵列或第一线阵列分布；其中，所述第一线阵列中的线与所述吸附孔的连线对应设置。所述的巨量转移装置，其中，所述第一通孔呈第三点阵列或第二线阵列分布；其中，所述第二线阵列中的线与所述吸附孔的连线对应设置。所述的巨量转移装置，其中，所述第三点阵列中点的数量小于所述第二点阵列中点的数量，所述第二线阵列中线的数量小于所述第一线阵列中线的数量。所述的巨量转移装置，其中，所述滑板上设置有第二通孔，所述第二通孔位于相邻两个所述第一通孔的1/4处。所述的巨量转移装置，其中，所述滑板上设置有第三通孔，所述第三通孔位于相邻两个所述第一通孔的1/2处。所述的巨量转移装置，其中，所述滑板上设置有第四通孔，所述第四通孔位于相邻两个所述第一通孔的3/4处。一种巨量转移方法，其中，采用如上述任意一项所述巨量转移装置，所述方法包括步骤：控制滑板滑动第一距离并连通对应的真空孔和吸附孔，并进行巨量转移；控制滑板滑动第二距离并连通对应的真空孔和吸附孔，并进行巨量转移；其中，滑板滑动第二距离时连通的真空孔和吸附孔与滑板滑动第一距离时连通的真空孔和吸附孔不同。所述的巨量转移方法，其中，所述控制滑板滑动第一距离并连通对应的真空孔和吸附孔，包括：控制滑板滑动第一距离以使第一通孔或第二通孔或第三通孔或第四通孔连通真空孔和吸附孔。有益效果：通过控制滑板滑动第一距离并连通对应的真空孔和吸附孔，即可进行巨量转移；控制滑板滑动第二距离并连通对应的真空孔和吸附孔，也可以进行巨量转移；其中，滑板滑动第二距离时连通的真空孔和吸附孔与滑板滑动第一距离时连通的真空孔和吸附孔不同。也就是说，通过控制滑板的滑动距离可以选择性连通真空孔和吸附孔。附图说明图1是本专利技术中巨量转移装置的第一结构示意图。图2是本专利技术中巨量转移装置的第二结构示意图。图3是本专利技术中滑板的第一结构示意图。图4是本专利技术中巨量转移装置的第一截面图。图5是本专利技术中巨量转移装置的第二截面图。图6是本专利技术中巨量转移装置转移的示意图。图7是本专利技术中滑板的第二结构示意图。图8是本专利技术中巨量转移装置的第三截面图。图9是本专利技术中巨量转移装置的第四截面图。图10是本专利技术中巨量转移装置的第五截面图。图11是本专利技术中巨量转移装置的第六截面图。具体实施方式为使本专利技术的目的、技术方案及优点更加清楚、明确，以下参照附图并举实施例对本专利技术进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。请同时参阅图1-图11，本专利技术提供了一种巨量转移装置的一些实施例。如图4所示，本专利技术的一种巨量转移装置，包括：壳体10、设置在所述壳体10内的滑板20；所述壳体10背面设置有用于吸附微元件30的吸附孔121，所述壳体10正面设置有真空孔111，所述滑板20上设置有第一通孔21，所述滑板20可在所述壳体10内滑动并通过所述第一通孔21连通或断开所述吸附孔121和所述真空孔111。具体地，如图-图4所示，壳体10包括：相互连接的面板11和底板12；真空孔111位于面板11上并贯穿面板11，吸附孔121位于底板12上并贯穿底板12。面板11和底板12之间有间隙，滑板20位于间隙内，间隙的高度与滑板20的厚度相匹配，以使滑板20可在间隙内滑动且不会漏风。值得说明的是，通过控制滑板20滑动第一距离并连通对应的真空孔111和吸附孔121，即可进行巨量转移；控制滑板20滑动第二距离并连通对应的真空孔111和吸附孔121，也可以进行巨量转移；其中，滑板20滑动第二距离时连通的真空孔111和吸附孔121与滑板20滑动第一距离时连通的真空孔111和吸附孔121不同。也就是说，通过控制滑板20的滑动距离可以选择性连通真空孔111和吸附孔121。在本专利技术的一个较佳实施例中，如图2所示，所述吸附孔121呈第一点阵列分布。具体地，微元件30通常采用点阵列分布，因此，将吸附孔121设置成相应的点阵列分布，当然这里的点阵列可以是行列矩阵、圆形矩阵等，采用行列矩阵时，则滑板20沿行或列的方向滑动；采用圆形矩阵时，则滑板20以圆心为转轴，沿圆周方向转动(滑动)。本实施例中以行列矩阵进行说明。在本专利技术的一个较佳实施例中，所述真空孔111呈第二点阵列或第一线阵列分布(如图1所示)；其中，所述第一线阵列中的线与所述吸附孔121的连线对应设置。具体地，真空孔111形成第二点阵列，第二点阵列与第一点阵列对应设置，也就是说，真空孔111必须覆盖所有的吸附孔121，使得每个吸附孔121都能够吸附微元件30。也可以将吸附孔121的点连成线，则形成线阵列，例如，将点阵列的每行或列连接起来形成一行或一列，如此每一行或一列可共用一个真空通道与真空机连接，这一行或一列的真空度也一致，吸附力也相同。在本专利技术的一个较佳实施例中，所述第一通孔21呈第三点阵列或第二线阵列分布(如图3所示)；其中，所述第二线阵列中的线与所述吸附孔121的连线对应设置。具体地，滑板20上的第一通孔21可以是覆盖所有的吸附孔121，也可以仅覆盖部分的吸附孔121。若干第一通孔21覆盖所有的吸附孔121，则第一通孔21一次可以连通所有的真空孔111和吸附孔121，实现全转移。若第一通孔21覆盖部分吸附孔121，则第一通孔21一次只能连通部分真空孔111和吸附孔121，实现部分转移；在控制滑板20滑动后第一通孔21可以连通另外一部分的真空孔111和吸附孔121，实现相应的部分转移。例如，如图4和图5所示，三色Micro-LED采用均匀分布，每种颜色依次排列，第一通孔21每一次只对应一种颜色，滑板20滑动后可对应第二种颜色，继续滑动滑板20可对应第三种颜色，从而实现不同颜色的选择性转移。在本专利技术的一个较佳实施例中，所述第三点阵列中点的数量小于所述第二点阵列中点的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种巨量转移装置，其特征在于，包括：壳体、设置在所述壳体内的滑板；所述壳体背面设置有用于吸附微元件的吸附孔，所述壳体正面设置有真空孔，所述滑板上设置有第一通孔，所述滑板可在所述壳体内滑动并通过所述第一通孔连通或断开所述吸附孔和所述真空孔。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种巨量转移装置，其特征在于，包括：壳体、设置在所述壳体内的滑板；所述壳体背面设置有用于吸附微元件的吸附孔，所述壳体正面设置有真空孔，所述滑板上设置有第一通孔，所述滑板可在所述壳体内滑动并通过所述第一通孔连通或断开所述吸附孔和所述真空孔。


2.根据权利要求1所述的巨量转移装置，其特征在于，所述吸附孔呈第一点阵列分布。


3.根据权利要求2所述的巨量转移装置，其特征在于，所述真空孔呈第二点阵列或第一线阵列分布；其中，所述第一线阵列中的线与所述吸附孔的连线对应设置。


4.根据权利要求3所述的巨量转移装置，其特征在于，所述第一通孔呈第三点阵列或第二线阵列分布；其中，所述第二线阵列中的线与所述吸附孔的连线对应设置。


5.根据权利要求4所述的巨量转移装置，其特征在于，所述第三点阵列中点的数量小于所述第二点阵列中点的数量，所述第二线阵列中线的数量小于所述第一线阵列中线的数量。


6.根据权利要求3所述的巨量转移装置，其特征在于，所述滑...

【专利技术属性】
技术研发人员：许时渊，
申请(专利权)人：重庆康佳光电技术研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：重庆;50