一种磁控溅射中纤维端面镀膜装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种磁控溅射中纤维端面镀膜装置，包括底座，所述底座上设有密封盒体，所述底座上设有支撑座，所述支撑座上设有靶材，所述密封盒体内在位于靶材正上方位置配合设置纤维夹紧机构；所述纤维夹紧机构包括一组夹板、螺栓及螺母，所述螺栓穿设在一组夹板上，且通过螺母进行夹紧固定。本发明专利技术的有益效果是：该装置设计结构简单合理，使用方便，应用本装置为纤维端面进行磁控溅射镀膜，只需将纤维放置夹板的线槽之中，再将夹板放置在密封盒上，保证了纤维端面镀膜的可操作性与可靠性，对纤维镀膜的制造领域具有重要的意义。

A kind of end face coating device for medium fiber by magnetron sputtering

【技术实现步骤摘要】
一种磁控溅射中纤维端面镀膜装置
本专利技术涉及真空磁控溅射镀膜
，具体涉及一种磁控溅射中纤维端面镀膜装置。
技术介绍
纤维镀膜在实际应用中具有很大的价值，镀金属纤维是一种以金属为皮、非金属纤维为芯的复合纤维，镀金属纤维按镀膜金属可分为：镀锌、镀银、镀铝、镀镍、镀铜等，它除仍保留原有芯纤维的柔曲性及机械力学性能外，根据镀层的不同，还具有对电磁波及红外线的反射性能、导电性及延长使用寿命等优点。而在光纤端面镀膜，可以增加激光透射或者反射功能。在现有技术中，通常需要利用电化学方法在纤维上镀膜，但是这种方法镀铝时，容易造成污染，并且铝膜并不是很致密。本装置涉及的磁控溅射是物理气相沉积的一种，具有膜层附着力强的优点，且对环境没有污染。但由于纤维的细小，在磁控溅射中对纤维端面镀膜，镀膜前夹持安装的工作过程比较复杂，且镀膜时的可靠性不高，因此，针对多条纤维，如何保证镀膜的可操作性与可靠性，成为本专利技术亟待解决的技术问题。
技术实现思路
针对现有技术中存在的上述问题，本专利技术的目的在于提供一种以实现提高镀膜可操作性与可靠性的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种磁控溅射中纤维端面镀膜装置，其特征在于，包括底座（1），所述底座（1）上设有密封盒体（2），所述底座（1）上设有支撑座（8），所述支撑座（8）上设有靶材（7），所述密封盒体（2）内在位于靶材（7）正上方位置配合设置纤维夹紧机构；所述纤维夹紧机构包括一组夹板（6）、螺栓（4）及螺母（5），所述螺栓（4）穿设在一组夹板（6）上，且通过螺母（5）进行夹紧固定。/n

【技术特征摘要】
1.一种磁控溅射中纤维端面镀膜装置，其特征在于，包括底座（1），所述底座（1）上设有密封盒体（2），所述底座（1）上设有支撑座（8），所述支撑座（8）上设有靶材（7），所述密封盒体（2）内在位于靶材（7）正上方位置配合设置纤维夹紧机构；所述纤维夹紧机构包括一组夹板（6）、螺栓（4）及螺母（5），所述螺栓（4）穿设在一组夹板（6）上，且通过螺母（5）进行夹紧固定。


2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射中纤维端面镀膜装置，其特征在于，所述夹板（6）采用T型...

【专利技术属性】
技术研发人员：马毅，谢续友，黄先伟，俞越翎，张泰华，
申请(专利权)人：浙江工业大学，
类型：发明
国别省市：浙江;33