【技术实现步骤摘要】
一种低辐射复合薄膜的制备方法
本专利技术涉及复合薄膜
，具体涉及一种低辐射复合薄膜的制备方法。
技术介绍
低辐射薄膜是在大面积玻璃镀膜发展进程中发展起来的，中空玻璃、真空玻璃以其有效地阻止热量的对流和传导而具有一定的节能保温作用已广泛进入到人们日常的生产、生活。但普通的中空玻璃节能效果仅为60％2]，保温效果不明显。而低辐射玻璃(low-e玻璃)具有较大的可见光透过率和较小的红外反射系数，可让80％以上的可见光进入室内，并且将90％以上的日光和室内物体辐射的红外线反射掉，节能效果达75％以上，同时能够满足建筑采光、装饰、防光污染等要求。低辐射玻璃以其优异的节能环保性能是目前最理想的窗用节能材料，低辐射薄膜玻璃因其能够反射红外线和紫外线，同时对可见光也有较好的透过率等优点，在建筑节能窗用玻璃中得到大量广泛的应用。低辐射薄膜的制备方法分两大类，在线法和离线法。根据不同的方法，低辐射薄膜也分成在线膜和离线膜两大类不同的结构，在线法采用的是化学泪沉积的高温热解法生产低辐射薄膜，离线法是指在玻璃下线以后，用磁控溅射等方法...
【技术保护点】
1.一种低辐射复合薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：/nS1：制备第一层TiO
【技术特征摘要】
1.一种低辐射复合薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1：制备第一层TiO2，先将真空室内气压抽至一定程度，预热一定时间的射频电源，然后通入工作气体氩气，采用Ti作为靶材，在溅射时通O2，使之反应生成TiO2，沉积在基片上，在溅射时，在靶表面生成一层TiO2，在Ti靶上加射频电压；
S2：制备Ag层，制备前，先将反应工作气体氩气关闭，然后将真空室抽真空至5x10-3Pa，同时打开银靶射频电源预热10分钟，待二者均达到规定数值时向真空室通入氩气调节银靶射频功率起辉，制备过程中，旋转基片，将溅射电流降到0.2A，功率为150W，减小溅射功率，基片选择一圈时间为2分钟，让基片在Ag层的上部经过5次；
S3：制备复合薄膜，在Ag层上制备第三层Ti02，关闭工作氩气，重新抽真空5x10-3Pa，制备第三层TiO2的方法与S1相同，在制备第三层TiO2时，在Ag层上面加镀一层Ti层，采用射频溅射，调整其功率为200％，溅射时间为20s，通过Ti层对Ag层进行保护。
2.根据权利要求1所述的一种低辐射...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄丽莎，姜菊美，
申请(专利权)人：江苏奥蓝工程玻璃有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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