下载一种磁控溅射中纤维端面镀膜装置的技术资料

文档序号:23553487

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本发明公开了一种磁控溅射中纤维端面镀膜装置,包括底座,所述底座上设有密封盒体,所述底座上设有支撑座,所述支撑座上设有靶材,所述密封盒体内在位于靶材正上方位置配合设置纤维夹紧机构;所述纤维夹紧机构包括一组夹板、螺栓及螺母,所述螺栓穿设在一组夹...
该专利属于浙江工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江工业大学授权不得商用。

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