慢提拉装置及硅片清洗机制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种慢提拉装置及硅片清洗机。慢提拉装置包括机台；平衡板，用以放置装有硅片的花篮；平衡板具有相对的第一侧边和第二侧边；升降机构，位于平衡板的下侧；升降机构可驱动平衡板升起并驱使平衡板的第一侧边高于平衡板的第二侧边；以及挡件，设于机台上，并位于平衡板的第一侧边的上升路径上的上方；挡件用以在平衡板的第一侧边上升至预设高度时，阻挡平衡板的第一侧边继续上升，使得升降机构可驱使平衡板的第二侧边上升。上述慢提拉装置，通过升降机构和挡件共同作用，即可实现花篮的放平操作。挡件的作用在于可在平衡板的第一侧边升高至预设高度时阻挡平衡板的第一侧边的上升即可，结构简单，即使得慢提拉装置结构简单。

Slow lifting device and wafer cleaning machine

【技术实现步骤摘要】
慢提拉装置及硅片清洗机
本技术涉及硅片清洗领域，特别是涉及一种慢提拉装置及硅片清洗机。
技术介绍
一般地，硅料经切割形成硅片后，硅片表面硅料碎屑或切割液等脏污，故需要通过硅片清洗机对切割后的硅片进行清洗，然后进行烘干处理。一般地，在通过硅片清洗机对硅片进行清洗后，利用慢提拉装置将装有硅片的花篮提起进行沥水。而为了降低花篮的沥水时间，设置慢提拉结构在将硅片的花篮提起时，还使得装有硅片的花篮倾斜，及再将花篮重新放平。然而，传统的方式是利用机械手将花篮提起，并向一侧倾斜，且但通过机械手难以将花篮重新放平，以至需要另外设置可以将花篮放平的机构，导致慢提拉装置结构复杂。
技术实现思路
基于此，有必要提供一种能实现花篮倾斜和放平，且结构简单的慢提拉装置。一种慢提拉装置，包括：机台；平衡板，用以放置装有硅片的花篮；所述平衡板具有相对的第一侧边和第二侧边；升降机构，位于所述平衡板的下侧；所述升降机构可驱动所述平衡板升起并驱使所述平衡板的第一侧边高于所述平衡板的第二侧边；以及挡件，设于所述机台上，并位于所述平衡板的第一侧边的上升的路径上的上方；所述挡件用以在所述平衡板的第一侧边上升至预设高度时，阻挡所述平衡板的第一侧边继续上升，并与所述升降机构共同驱使所述平衡板的第二侧边上升。上述慢提拉装置，通过设于平衡板底部的升降机构实现平衡板的倾斜，进而实现花篮的倾斜。然后通过增设一个挡件，通过升降机构和挡件共同作用，即可实现花篮的放平操作。挡件的作用在于可在平衡板的第一侧边升高至预设高度时阻挡平衡板的第一侧边的上升即可，结构简单，即使得慢提拉装置结构简单。在其中一个实施例中，所述升降机构的顶端设有顶杆，所述顶杆沿平行于所述平衡板的第一侧边的方向延伸。在其中一个实施例中，沿所述顶杆的延伸方向，所述顶杆的长度大于等于所述平衡板的宽度。在其中一个实施例中，所述挡件的下表面设有缓冲垫。在其中一个实施例中，所述挡件上设有一端开口的滑槽，所述滑槽的开口端位于所述挡件的下表面；所述平衡板的上表面设有可插入所述滑槽的凸起；所述凸起可在所述滑槽内沿垂直于所述平衡板的第一侧边的方向移动。在其中一个实施例中，所述平衡板下表面设有限位部，以限制所述升降机构的顶端相对所述平衡板沿垂直于所述第一侧边的方向移动。在其中一个实施例中，所述平衡板具有相对的第三侧边和第四侧边；所述升降机构上升可将所述平衡板顶起并驱使所述平衡板的第三侧边高于所述平衡板的第四侧边。在其中一个实施例中，所述升降机构包括可沿竖直方向伸缩的气缸。在其中一个实施例中，所述升降机构包括电机、升降杆以及用以限制所述升降杆转动的限位件；所述升降杆具有沿轴向延伸的圆孔；所述电机的输出轴插设于所述升降杆的圆孔内，并与所述升降杆螺纹连接。本技术还提供一种硅片清洗机。一种硅片清洗机，包括清洗槽、本技术提供的慢提拉装置。上述硅片清洗机，通过设于平衡板底部的升降机构实现平衡板的倾斜，进而实现花篮的倾斜。然后通过增设一个挡件，通过升降机构和挡件共同作用，即可实现花篮的放平操作。挡件的作用在于可在平衡板的第一侧边升高至预设高度时阻挡平衡板的第一侧边的上升即可，结构简单，即使得慢提拉装置结构简单。附图说明图1为本技术一实施例提供的慢提拉装置的结构示意图。图2为本技术另一实施例提供的慢提拉装置的升降机构的结构示意图。具体实施方式为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术。但是本技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似改进，因此本技术不受下面公开的具体实施例的限制。需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本技术。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。如图1所示，本技术一实施例提供的慢提拉装置100，包括机台101、用以放置装有硅片的花篮10的平衡板110、位于平衡板110的下方的升降机构130以及设于机台101上的挡件150。具体地，平衡板110具有相对的第一侧边111和第二侧边113。升降机构130可驱动平衡板110升起并使得平衡板110的第一侧边111高于平衡板110的第二侧边113。挡件150位于平衡板110的第一侧边111的上升路径上的上方。挡件150用以在平衡板110的第一侧边111上升至预设高度时，阻挡平衡板110的第一侧边111继续上升，使得升降机构130可驱动平衡板110的第二侧边113上升。具体地，升降机构130顶起平衡板110时，升降机构130在平衡板110上的作用点位于平衡板110的下表面上，且位于第一侧边111和第二侧边113之间的靠近第一侧边111的位置。从而在升降机构130驱动平衡板110上升时，根据杠杆原理，平衡板110的第一侧边111高于第二侧边113。而当平衡板110的第一侧边111上升至预设高度后，通过挡件150阻挡平衡板110的第一侧边111继续上升。进而，在升降机构130继续上升的过程中，挡件150在平衡板110的第一侧边111的位置给平衡板110一个向下的作用力，从而使得平衡板110的第二侧边113上升，至平衡板110的第一侧边111和第二侧边113位于同一水平面上，达到将平衡板110放平的目的，即达到将装有硅片的花篮放平的目的。另外，可以理解的是，预设高度是指平衡板110上的装有硅片的花篮能够完全脱离硅片清洗机的清洗槽内的液体的高度。故慢提拉装置100，通过设于平衡板110底部的升降机构130实现平衡板110的倾斜，进而实现花篮的倾斜。然后通过增设一个挡件150，通过升降机构130和挡件150共同作用，即可实现花篮的放平操作。挡件150的作用在于可在平衡板110的第一侧边111升高至预设高度时阻挡平衡板110的第一侧边111的上升即可，无需设置复杂的结构，结构简单，即使得慢提拉装置结构简单。另外，升降机构130设于平衡板110的底侧，不与放置在平衡板110上的装有硅片的花篮接触，更加不会与花篮内的硅片接触，故不会因为升降机构130的作用而损伤花篮和花篮内的硅片。另外，可以理解的是，机台101可以是硅片清洗机的机台，也可以单独设置。另外，升降机构130位于平衡板110的下侧，而平衡板110随花篮一起位于硅片清洗机的清洗槽内，故升降机构13本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种慢提拉装置，其特征在于，包括：/n机台；/n平衡板，用以放置装有硅片的花篮；所述平衡板具有相对的第一侧边和第二侧边；/n升降机构，位于所述平衡板的下侧；所述升降机构可驱动所述平衡板升起并驱使所述平衡板的第一侧边高于所述平衡板的第二侧边；以及/n挡件，设于所述机台上，并位于所述平衡板的第一侧边的上升路径上的上方；所述挡件用以在所述平衡板的第一侧边上升至预设高度时，阻挡所述平衡板的第一侧边继续上升，使得所述升降机构可驱使所述平衡板的第二侧边上升。/n

【技术特征摘要】
1.一种慢提拉装置，其特征在于，包括：
机台；
平衡板，用以放置装有硅片的花篮；所述平衡板具有相对的第一侧边和第二侧边；
升降机构，位于所述平衡板的下侧；所述升降机构可驱动所述平衡板升起并驱使所述平衡板的第一侧边高于所述平衡板的第二侧边；以及
挡件，设于所述机台上，并位于所述平衡板的第一侧边的上升路径上的上方；所述挡件用以在所述平衡板的第一侧边上升至预设高度时，阻挡所述平衡板的第一侧边继续上升，使得所述升降机构可驱使所述平衡板的第二侧边上升。


2.根据权利要求1所述的慢提拉装置，其特征在于，所述升降机构的顶端设有顶杆，所述顶杆沿平行于所述平衡板的第一侧边的方向延伸。


3.根据权利要求2所述的慢提拉装置，其特征在于，沿所述顶杆的延伸方向，所述顶杆的长度大于等于所述平衡板的宽度。


4.根据权利要求1所述的慢提拉装置，其特征在于，所述挡件的下表面设有缓冲垫。


5.根据权利要求1所述的慢提拉装置，其特征在于，所述挡件上设有一端开口的滑槽，所述滑...

【专利技术属性】
技术研发人员：黎彬，
申请(专利权)人：阜宁协鑫光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32