恒温供液装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种恒温供液装置，向用液设备供给恒温液体，包括：用于容纳液体的储液槽；用于向用液设备供给液体的供液管路，一端连接储液槽，另一端连接用液设备；用于接收从用液设备回流的液体的回液管路，一端连接储液槽，另一端连接用液设备；用于加热供液管路中的液体的主加热器，设置于供液管路上；用于将供液管路中的液体回流至储液槽的支流管路，一端连接储液槽，另一端连接至主加热器与用液设备之间的供液管路。本实用新型专利技术通过引入支流管路，使达到目标温度的湿法药液回流至储液槽中，并通过引入辅助加热器，对回流药液进行统一加热，使储液槽中的药液温度更接近目标温度，药液温度控制更为精确平稳，减少了主加热器的负荷。

Constant temperature liquid supply device

【技术实现步骤摘要】
恒温供液装置
本技术涉及半导体集成电路制造领域，特别是涉及一种恒温供液装置。
技术介绍
在半导体集成电路的制造过程中，湿法刻蚀及清洗是一道重要的工艺制程。由于湿法药液温度对于湿法刻蚀的速率及均匀性等关键工艺参数具有重要影响，对湿法药液温度的控制精度要求正随着半导体制程的发展而不断提高。目前，在单片式湿法刻蚀机台所配备的湿法药液供给装置中，一般会使用加热器对药液槽输出的湿法药液进行统一加热，使其温度达到湿法刻蚀制程所需的温度，并将使用后回流的湿法药液回收至药液槽。湿法药液供给装置的温控系统一般通过PID(比例积分微分控制)或DAC(需求预测控制)等方法对加热器的工作状态进行控制，以确保输出的湿法药液温度保持在恒定温度。然而，由于湿法药液供给装置往往需要给多个不同用途的用液单元供液，而从上述多个用液单元回流的湿法药液的温度也各不相同，这就导致药液槽中湿法药液的温度在设备作业过程中出现较大波动。当药液槽温度波动幅度超出系统的控温能力时，就会使输出的湿法药液的温度出现波动，以至造成超温报警，使设备异常停机；此外，随着药液温度的波动，加热器会在温控系统控制下频繁启动或停止，加重使用负荷，这也大幅缩减了加热器等设备部件的使用寿命，增加了设备维护成本。上述缺陷的影响将随着用液单元数量的增加、温控精度要求的提高以及湿法药液目标温度的提高而愈加显著。因此，有必要提出一种新的恒温供液装置，解决上述问题。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术的目的在于提供一种恒温供液装置，用于解决现有技术中恒温供液装置的温度波动大、加热器负荷重且无法满足多用液单元、高温控精度和高药液温度的应用的问题。为实现上述目的及其它相关目的，本技术提供了一种恒温供液装置，其特征在于，所述恒温供液装置连接用液设备，向所述用液设备供给液体，并接收从所述用液设备回流的所述液体，所述恒温供液装置包括：用于容纳所述液体的储液槽；用于向所述用液设备供给所述液体的供液管路，一端连接所述储液槽，另一端连接所述用液设备；用于接收从所述用液设备回流的所述液体的回液管路，一端连接所述储液槽，另一端连接所述用液设备；用于加热所述供液管路中的所述液体的主加热器，设置于所述供液管路上；用于将所述供液管路中的所述液体回流至所述储液槽的支流管路，一端连接所述储液槽，另一端连接至所述主加热器与所述用液设备之间的所述供液管路。作为本技术的一种可选方案，所述恒温供液装置还包括用于加热所述回液管路中的所述液体的辅助加热器，设置于所述回液管路上。作为本技术的一种可选方案，所述辅助加热器为以恒温的循环水作为热源进行加热的水浴加热器。作为本技术的一种可选方案，所述水浴加热器包括：用于流通所述循环水，并通过热交换对所述回液管路中的所述液体进行加热的加热管，设置于所述回液管路上；所述加热管的一端为进液端，另一端为出液端，所述循环水从所述加热管的进液端流入所述加热管，并从所述加热管的出液端流出；用于向所述加热管的进液端供给所述循环水，并接收从所述加热管的出液端回流的所述循环水的热水源；循环水供给管，连接所述加热管的进液端和所述热水源；循环水回流管，连接所述加热管的出液端和所述热水源；用于调节所述循环水流量的流量控制阀，设置于所述循环水供给管上。作为本技术的一种可选方案，所述辅助加热器为电加热器。作为本技术的一种可选方案，所述恒温供液装置还包括用于调节所述支流管路内所述液体流量的支流控制阀，所述支流控制阀设置于所述支流管路上。作为本技术的一种可选方案，所述恒温供液装置还包括：用于量测所述储液槽内所述液体的温度的储液槽测温单元，设置于所述储液槽内；用于根据所述储液槽内所述液体的温度控制所述主加热器工作的主加热器控制单元，连接所述储液槽测温单元和所述主加热器。作为本技术的一种可选方案，所述恒温供液装置还包括用于将所述储液槽内的所述液体抽入所述供液管路的供液泵，所述供液泵设置于所述主加热器与所述储液槽之间的所述供液管路上。作为本技术的一种可选方案，所述恒温供液装置还包括用于过滤所述液体的过滤器，将所述支流管路与所述供液管路的连接处定义为支流管路连接点，所述过滤器设置于所述主加热器与所述支流管路连接点之间的所述供液管路上。作为本技术的一种可选方案，所述恒温供液装置的所述供液管路连接至所述用液设备中的多个用液模块；所述恒温供液装置的所述回液管路连接至所述用液设备中的多个所述用液模块。作为本技术的一种可选方案，所述恒温供液装置的所述供液管路连接至所述用液模块中的多个用液单元；所述恒温供液装置的所述回液管路连接至所述用液模块中的多个所述用液单元。如上所述，本技术提供了一种恒温供液装置，通过引入支流管路，使达到目标温度的湿法药液回流至储液槽中，并通过引入辅助加热器，对回流药液进行统一加热，使储液槽中的药液温度更接近目标温度，药液温度控制更为精确平稳，减少了主加热器的负荷。附图说明图1显示为本技术实施例一中提供的恒温供液装置的示意图。元件标号说明10恒温供液装置101储液槽101a储液槽测温单元102供液管路102a供液泵102b过滤器103回液管路104主加热器104a主加热器控制单元105支流管路105a支流控制阀106辅助加热器106a加热管106b热水源106c循环水供给管106d循环水回流管106e流量控制阀20用液设备201第一用液模块201a流量计201b分流管路阀门201c供给管路阀门201d冲洗单元201e刻蚀工艺单元201f晶圆承载台201g第一集液装置201h第二集液装置202第二用液模块203第三用液模块31第一测温点32第二测温点33第三测温点34第四测温点35第五测温点36第六测温点37第七测温点38第八测温点39第九测温点具体实施方式以下通过特定的具体实例说明本技术的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其它优点与功效。本技术还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本技术的精神下进行各种修饰或改变。请参阅图1。需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本技术的基本构想，虽图示中仅显示与本技术中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的形态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局形态也可能更为复杂。...

【技术保护点】
1.一种恒温供液装置，其特征在于，所述恒温供液装置连接用液设备，向所述用液设备供给液体，并接收从所述用液设备回流的所述液体，所述恒温供液装置包括：/n用于容纳所述液体的储液槽；/n用于向所述用液设备供给所述液体的供液管路，一端连接所述储液槽，另一端连接所述用液设备；/n用于接收从所述用液设备回流的所述液体的回液管路，一端连接所述储液槽，另一端连接所述用液设备；/n用于加热所述供液管路中的所述液体的主加热器，设置于所述供液管路上；/n用于将所述供液管路中的所述液体回流至所述储液槽的支流管路，一端连接所述储液槽，另一端连接至所述主加热器与所述用液设备之间的所述供液管路。/n

【技术特征摘要】
1.一种恒温供液装置，其特征在于，所述恒温供液装置连接用液设备，向所述用液设备供给液体，并接收从所述用液设备回流的所述液体，所述恒温供液装置包括：
用于容纳所述液体的储液槽；
用于向所述用液设备供给所述液体的供液管路，一端连接所述储液槽，另一端连接所述用液设备；
用于接收从所述用液设备回流的所述液体的回液管路，一端连接所述储液槽，另一端连接所述用液设备；
用于加热所述供液管路中的所述液体的主加热器，设置于所述供液管路上；
用于将所述供液管路中的所述液体回流至所述储液槽的支流管路，一端连接所述储液槽，另一端连接至所述主加热器与所述用液设备之间的所述供液管路。


2.根据权利要求1所述的一种恒温供液装置，其特征在于，所述恒温供液装置还包括用于加热所述回液管路中的所述液体的辅助加热器，设置于所述回液管路上。


3.根据权利要求2所述的一种恒温供液装置，其特征在于，所述辅助加热器为以恒温的循环水作为热源进行加热的水浴加热器。


4.根据权利要求3所述的一种恒温供液装置，其特征在于，所述水浴加热器包括：
用于流通所述循环水，并通过热交换对所述回液管路中的所述液体进行加热的加热管，设置于所述回液管路上；所述加热管的一端为进液端，另一端为出液端，所述循环水从所述加热管的进液端流入所述加热管，并从所述加热管的出液端流出；
用于向所述加热管的进液端供给所述循环水，并接收从所述加热管的出液端回流的所述循环水的热水源；
循环水供给管，连接所述加热管的进液端和所述热水源；
循环水回流管，连接所述加热管的出液端和所述热水源；
用于调节所述循环水流量的流量控制阀，设置于所述循环水供给...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱小凡，赵黎，刘家桦，叶日铨，
申请(专利权)人：德淮半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32