切割机导轮结构及其生产方法技术

本申请涉及一种切割机导轮结构及其生产方法，其中，切割机导轮结构包括同轴且轴向依次连接的第一导轮部和第二导轮部，第二导轮部的轴向长度大于第一导轮部的轴向长度，第一导轮部沿轴向设有多个第一导轮槽，第二导轮部沿轴向设有多个第二导轮槽，相邻两第一导轮槽的槽距大于相邻两第二导轮槽的槽距；本申请的切割机导轮结构，可根据切割前期切割线的磨损量小，切割中期和后期切割线的磨损量大的情况，将第二导轮部的轴向长度设置为大于第一导轮部的轴向长度，并使第一导轮槽的槽距大于第二导轮槽的槽距，确保切割线在第二导轮槽上切割出的硅片厚度与其在第一导轮槽上切割出的硅片厚度相似，从而降低硅片产生厚度不均的比例。例。例。

【技术实现步骤摘要】
切割机导轮结构及其生产方法


[0001]本申请涉及半导体切割
，特别是涉及切割机导轮结构及其生产方法。

技术介绍

[0002]在半导体切割装置
中,多线切割机技术作为一种比较先进的硅片加工技术,被当前绝大多数硅片生产厂家所采用。作为多线切割机的核心部件,导轮结构对切割硅片的精度和质量起着至关重要的作用。
[0003]导轮结构上设有多个用于承载钢线，并约束钢线的切割方向的导轮槽。在多线切割机工作时，缠绕在导轮结构上的数百条钢线沿导轮结构圆周方向高速旋转，从而将磨料切割成具有一定厚度的薄片。
[0004]然而，目前导轮结构上的导轮槽大多按照目标片厚设计均一的开槽距离。随着切割过程中钢线的磨损，切片的厚度也就必然随钢线直径的逐渐变小而逐渐增加，导致切割而成的若干硅片存在较大的厚度偏差，硅片产生厚度不均的比例上升。

技术实现思路

[0005]基于此，有必要针对上述切片厚度存在较大的偏差，硅片具有较高的厚度不均率的问题，提供一种切割机导轮结构及其生产方法。
[0006]一种切割机导轮结构，包括同轴且轴向依次连接的第一导轮部和第二导轮部，所述第二导轮部的轴向长度大于所述第一导轮部的轴向长度，所述第一导轮部沿轴向设有多个第一导轮槽，所述第二导轮部沿轴向设有多个第二导轮槽，相邻两所述第一导轮槽的槽距大于相邻两所述第二导轮槽的槽距。
[0007]在其中一个实施例中，所述第一导轮槽与所述第二导轮槽间的槽距等于相邻两所述第一导轮槽的槽距或相邻两所述第二导轮槽的槽距。
[0008]在其中一个实施例中，所述第一导轮槽和所述第二导轮槽的形状一致。
[0009]上述切割机导轮结构，可根据切割前期切割线的磨损量小，切割中期和后期切割线的磨损量大的情况，将第二导轮部的轴向长度设置为大于第一导轮部的轴向长度，同时根据切割中钢线磨损量不断增大的情况，使第一导轮槽的槽距大于第二导轮槽的槽距，确保切割线在磨损程度较大时在第二导轮槽上切割出的硅片厚度与其在磨损程度较小时在第一导轮槽上切割出的硅片厚度相似，从而降低硅片产生厚度不均的比例。
[0010]一种切割机导轮结构的生产方法，用于生产上述任一实施例中的切割机导轮结构，包括以下步骤：
[0011]提供同轴且轴向依次连接的第一导轮部和第二导轮部，其中，所述第二导轮部的轴向长度大于所述第一导轮部的轴向长度；
[0012]提供刀头，驱动所述刀头与所述第一导轮部相对移动，使所述刀头沿所述第一导轮部的轴向在所述第一导轮部上依次加工出多个第一导轮槽；
[0013]驱动所述刀头与所述第二导轮部相对移动，使所述刀头沿所述第二导轮部的轴向
在所述第二导轮部上依次加工出多个第二导轮槽，其中，相邻两所述第一导轮槽的槽距大于相邻两所述第二导轮槽的槽距。
[0014]在其中一个实施例中，所述刀头沿所述第一导轮部的轴向在所述第一导轮部上依次加工出多个第一导轮槽，包括：
[0015]在所述刀头的刀尖与所述第一导轮部接触的情况下，驱动所述刀头沿靠近所述第一导轮部的方向移动，使所述刀尖切削出所述第一导轮槽的一个侧面；
[0016]在所述刀尖切削的深度与所述第一导轮槽的设定槽深一致的情况下，驱动所述刀头向远离所述第一导轮部的方向移动，使所述刀尖切削出所述第一导轮槽的另一个侧面；
[0017]其中，所述刀尖的角度小于所述第一导轮槽的开槽角度。
[0018]在其中一个实施例中，所述使所述刀尖切削出所述第一导轮槽的一个侧面，包括：
[0019]在所述刀尖在所述第一导轮部上的切削深度小于或等于所述第一导轮槽的设定槽深的三分之一的情况下，所述刀头与所述第一导轮部的相对移动速度为第一速度；在所述刀尖在所述第一导轮部上的切削深度小于或等于所述第一导轮槽的设定槽深的三分之二的情况下，所述刀头与所述第一导轮部的相对移动速度为第二速度；在所述刀尖在所述第一导轮部上的切削深度大于所述第一导轮槽的设定槽深的三分之二的情况下，所述刀头与所述第一导轮部的相对移动速度为第三速度；
[0020]其中，所述第一速度大于所述第二速度，所述第二速度大于所述第三速度。
[0021]在其中一个实施例中，所述使所述刀尖切削出所述第一导轮槽的一个侧面，还包括：
[0022]在所述刀尖在所述第一导轮部上的切削深度等于所述第一导轮槽的设定槽深的情况下，所述刀头与所述第一导轮部的相对移动速度为0。
[0023]在其中一个实施例中，所述刀头沿所述第二导轮部的轴向在所述第二导轮部上依次加工出多个第二导轮槽，包括：
[0024]在所述刀头的刀尖与所述第二导轮部接触的情况下，驱动所述刀头沿靠近所述第二导轮部的方向移动，使所述刀尖切削出所述第二导轮槽的一个侧面；
[0025]在所述刀尖切削的深度与所述第二导轮槽的设定槽深一致的情况下，驱动所述刀头向远离所述第二导轮部的方向移动，使所述刀尖切削出所述第二导轮槽的另一个侧面；
[0026]其中，所述刀尖的角度小于所述第二导轮槽的开槽角度。
[0027]在其中一个实施例中，所述使所述刀尖切削出所述第二导轮槽的一个侧面，包括：
[0028]在所述刀尖在所述第二导轮部上的切削深度小于或等于所述第二导轮槽的设定槽深的三分之一的情况下，所述刀头与所述第二导轮部的相对移动速度为第一速度；在所述刀尖在所述第二导轮部上的切削深度小于或等于所述第二导轮槽的设定槽深的三分之二的情况下，所述刀头与所述第二导轮部的相对移动速度为第二速度；在所述刀尖在所述第二导轮部上的切削深度大于所述第二导轮槽的设定槽深的三分之二的情况下，所述刀头与所述第二导轮部的相对移动速度为第三速度；
[0029]其中，所述第一速度大于所述第二速度，所述第二速度大于所述第三速度。
[0030]在其中一个实施例中，所述使所述刀尖切削出所述第二导轮槽的一个侧面，还包括：
[0031]在所述刀尖在所述第二导轮部上的切削深度等于所述第二导轮槽的设定槽深的
情况下，所述刀头与所述第二导轮部的相对移动速度为0。
[0032]上述切割机导轮结构的生产方法，通过刀头在第一导轮部和第二导轮部上分别开设多个第一导轮槽和第二导轮槽，并根据切割前期切割线的磨损量小，切割中期和后期切割线的磨损量大的情况，将第一导轮部上的第一导轮槽的槽距与第二导轮部上的第二导轮槽的槽距差值设置为1μm，确保切割线在磨损程度较大时在第二导轮槽上切割出的硅片厚度与其在磨损程度较小时在第一导轮槽上切割出的硅片厚度相似，从而降低硅片产生厚度不均的比例。
附图说明
[0033]图1为本申请一些实施例的切割机导轮结构的结构示意图。
[0034]图2为本申请一些实施例的切割机导轮结构的生产设备的局部结构示意图。
[0035]图3为应用了现有的切割机导轮结构1所得到的硅片的片厚均值图。
[0036]图4为应用了本申请的切割机导轮结构1所得到的硅片的片厚均值图。
[0037]附图标记：<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种切割机导轮结构，其特征在于，包括：同轴且轴向依次连接的第一导轮部和第二导轮部，所述第二导轮部的轴向长度大于所述第一导轮部的轴向长度；所述第一导轮部沿轴向设有多个第一导轮槽，所述第二导轮部沿轴向设有多个第二导轮槽，相邻两所述第一导轮槽的槽距大于相邻两所述第二导轮槽的槽距。2.根据权利要求1所述的切割机导轮结构，其特征在于，所述第一导轮槽与所述第二导轮槽间的槽距等于相邻两所述第一导轮槽的槽距或相邻两所述第二导轮槽的槽距。3.根据权利要求1所述的切割机导轮结构，其特征在于，所述第一导轮槽和所述第二导轮槽的形状一致。4.一种切割机导轮结构的生产方法，其特征在于，用于生产如权利要求1
‑
3任意一项所述的切割机导轮结构，包括以下步骤：提供同轴且轴向依次连接的第一导轮部和第二导轮部，其中，所述第二导轮部的轴向长度大于所述第一导轮部的轴向长度；提供刀头，驱动所述刀头与所述第一导轮部相对移动，使所述刀头沿所述第一导轮部的轴向在所述第一导轮部上依次加工出多个第一导轮槽；驱动所述刀头与所述第二导轮部相对移动，使所述刀头沿所述第二导轮部的轴向在所述第二导轮部上依次加工出多个第二导轮槽，其中，相邻两所述第一导轮槽的槽距大于相邻两所述第二导轮槽的槽距。5.根据权利要求4所述的切割机导轮结构的生产方法，其特征在于，所述刀头沿所述第一导轮部的轴向在所述第一导轮部上依次加工出多个第一导轮槽，包括：在所述刀头的刀尖与所述第一导轮部接触的情况下，驱动所述刀头沿靠近所述第一导轮部的方向移动，使所述刀尖切削出所述第一导轮槽的一个侧面；在所述刀尖切削的深度与所述第一导轮槽的设定槽深一致的情况下，驱动所述刀头向远离所述第一导轮部的方向移动，使所述刀尖切削出所述第一导轮槽的另一个侧面；其中，所述刀尖的角度小于所述第一导轮槽的开槽角度。6.根据权利要求5所述的切割机导轮结构的生产方法，其特征在于，所述使所述刀尖切削出所述第一导轮槽的一个侧面，包括：在所述刀尖在所述第一导轮部上的切削深度小于或等于所述第一导轮槽的设定槽深的三分之一的情况下，所述刀头与所述第一导轮部的相对移动速度为第一速度；在所述刀尖在所述第一导轮部上的切削深度小于或等于所述第一导...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋涛，史存振，
申请(专利权)人：阜宁协鑫光伏科技有限公司，
类型：发明
国别省市：