用于真空镀膜机的二维镀膜转架制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于真空镀膜机的二维镀膜转架，包括一维转动盘，一维转动盘上装有动力输入轴，沿一维转动盘的圆周装有多个转杆，每个转杆上固装有镀膜工件圆盘，与一维转动盘平行的圆环形盖板装在所述多个转杆的顶端，还包括有与一维转动盘平行且位于其下方的定齿盘，所述动力输入轴通过定齿盘轴承装于定齿盘的中心位置，动力输入轴的输入端伸至定齿盘的下方；多个所述转杆分别通过转杆轴承间隔均布装在一维转动盘的圆周上，每个转杆的顶端具有转杆轴，每个转杆以其顶端的转杆轴可转动地装在所述圆环形盖板上，每个转杆的底端固装有与所述定齿盘相啮合的底齿轮。应用本实用新型专利技术后对工件的镀膜效率较高、工件表面所镀膜层也相对均匀。

Two dimensional coating turret for vacuum coating machine

【技术实现步骤摘要】
用于真空镀膜机的二维镀膜转架
本技术涉及一种用于真空镀膜机的镀膜转架，具体地说是涉及一种用于真空镀膜机的二维镀膜转架。
技术介绍
现有技术中的真空镀膜机镀膜转架结构上主要包括有一维转动盘，一维转动盘的中心位置固装有动力输入轴，沿一维转动盘的圆周间隔均布装有多个转杆，每个转杆上固装有镀膜工件圆盘，沿镀膜工件圆盘的圆周间隔均布装有多个镀膜工件插筒，与一维转动盘平行的圆环形盖板装在所述多个转杆的顶端。使用时，上述现有技术中镀膜工件插筒内安放好待镀膜工件，驱动所述动力输入轴，一维转动盘带动其上的转杆及设置在转杆顶端的圆环形盖板一起转动，实现对待镀膜工件的镀膜作业。上述现有技术中的镀膜转架是整体转动，通过磁控溅射对插筒内的镀膜工件进行镀膜时，镀膜效率较低、工件表面所镀膜层不够均匀。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种用于真空镀膜机的二维镀膜转架，使用本技术镀膜时镀膜效率较高、工件表面所镀膜层相对均匀。为解决上述技术问题，本技术用于真空镀膜机的二维镀膜转架，包括有一维转动盘，一维转动盘的中心位置固本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于真空镀膜机的二维镀膜转架，包括有一维转动盘（10），一维转动盘的中心位置固装有动力输入轴（11），沿一维转动盘的圆周间隔均布装有多个转杆（12），每个转杆上固装有镀膜工件圆盘（20），沿镀膜工件圆盘（20）的圆周间隔均布装有多个镀膜工件插筒（21），与一维转动盘平行的圆环形盖板（30）装在所述多个转杆（12）的顶端，其特征在于：还包括有与所述一维转动盘（10）平行且位于一维转动盘下方的定齿盘（40），定齿盘与一维转动盘的轴线位于同一直线上，所述动力输入轴（11）通过定齿盘轴承（41）装于定齿盘（40）的中心位置，动力输入轴（11）的输入端伸至定齿盘的下方；多个所述转杆（12）分别通...

【技术特征摘要】
1.一种用于真空镀膜机的二维镀膜转架，包括有一维转动盘（10），一维转动盘的中心位置固装有动力输入轴（11），沿一维转动盘的圆周间隔均布装有多个转杆（12），每个转杆上固装有镀膜工件圆盘（20），沿镀膜工件圆盘（20）的圆周间隔均布装有多个镀膜工件插筒（21），与一维转动盘平行的圆环形盖板（30）装在所述多个转杆（12）的顶端，其特征在于：还包括有与所述一维转动盘（10）平行且位于一维转动盘下方的定齿盘（40），定齿...

【专利技术属性】
技术研发人员：关秉羽，
申请(专利权)人：辽宁鑫金铂科技有限公司，
类型：新型
国别省市：辽宁;21