【技术实现步骤摘要】
一种装载光学镀膜夹具的器具
本技术涉及一种装载光学镀膜夹具的器具。
技术介绍
工业上常用真空镀膜设备进行蒸发镀膜以完成基片表面沉积膜层形成保护膜的工作，真空蒸发镀膜需要一定的真空条件和蒸发条件，真空蒸发镀膜设备中的主要部件之一是镀膜治具；为提高镀膜工作的效率，真空镀膜设备一般为大型机腔，因此，镀膜治具也以大型治具为设计宗旨，目前，除小型镀膜治具或特殊形状镀膜治具外，常用的大型镀膜治具为伞形的行星锅，伞形的行星锅比平面的镀膜治具面积更大，而分布在治具表面镀膜产品量相应增大，但是，伞形行星锅由于伞形具有一定倾斜度，半导体激光器光学镀膜需要在高温下进行，且需要对两个腔面镀增透膜和高反膜，故镀完增透膜后需对夹具进行翻面，由于镀膜开腔后温度较高，在腔内对夹具进行翻面很容易发生烫伤，故需要将夹具从行星锅的孔洞中取出进行翻面，但由于现有装载夹具的器具侧壁是垂直光滑的，没有可以被爪子抓取的承受壁，无法将夹具取出进行翻面，本方案通过采用三段式的结构，在一个大圆环上由外向内切一个圆环形成挡圈作为爪子抓取的承受壁，便于将夹具取出进行翻面。...
【技术保护点】
1.一种装载光学镀膜夹具的器具，其特征在于，包括用于位于蒸发源上方的伞状行星锅，所述行星锅上沿圆周方向布设有圆形的夹具通孔，所述器具上部具有环形镀膜夹具的包括架于夹具通孔上部的第一圆环及由第一圆环下部延伸内缩的深入夹具通孔内的第二圆环，所述第二圆环的下部内缩延伸有第三圆环，所述第一圆环与第二圆环连接处形成的第一阶面用于支撑器具，所述第三圆环与第二圆环连接处形成的第二阶面用于承载夹具。/n
【技术特征摘要】
1.一种装载光学镀膜夹具的器具，其特征在于，包括用于位于蒸发源上方的伞状行星锅，所述行星锅上沿圆周方向布设有圆形的夹具通孔，所述器具上部具有环形镀膜夹具的包括架于夹具通孔上部的第一圆环及由第一圆环下部延伸内缩的深入夹具通孔内的第二圆环，所述第二圆环的下部内缩延伸有第三圆环，所述第一圆环与第二圆环连接处形成的第一阶面用于支撑器具，所述第三圆环与第二圆环连接处形成的第二阶面用于承载夹具。
2.根据权利要求1所述的一种装载光学镀膜夹具的器具，其特征在于，所述第一圆环外径为55mm内径为50mm高为2mm，所述第二圆环的高为内径为50mm，外径为52mm，高为9.5mm的，所述第三圆环内径为48mm，外径为50mm，高为4mm，所述夹具通孔的孔径为外径为52mm。
3.根据权利要求1所述的一种装载光学镀膜夹具的器具，其特征在于，所述蒸发源与伞状行星锅之间...
【专利技术属性】
技术研发人员：肖家骐，陈东旭，罗江平，陆绿，
申请(专利权)人：福建中科光芯光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35
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