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本实用新型提供一种装载光学镀膜夹具的器具，包括用于位于蒸发源上方的伞状行星锅，所述行星锅上沿圆周方向布设有圆形的夹具通孔，所述器具上部具有环形镀膜夹具的包括架于夹具通孔上部的第一圆环及由第一圆环下部延伸内缩的深入夹具通孔内的第二圆环，所述第...
该专利属于福建中科光芯光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过福建中科光芯光电科技有限公司授权不得商用。

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