一种筒件的真空镀膜夹具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种筒件的真空镀膜夹具，其技术方案要点是：包括固定在真空箱体顶部的第一伺服电机，还包括：转动连接在所述真空箱体的内部的第一固定杆，所述第一伺服电机驱动所述第一固定杆转动；铰接在所述第一固定杆底端的第一固定盘，所述第一固定杆上铰接有气缸的缸体，所述气缸的活塞杆端部铰接在第一固定盘上；滑移连接在所述第一固定盘下方的第二固定盘，所述第一固定盘上固定有第二伺服电机，所述第二伺服电机的电机轴端部连接有螺杆，所述螺杆与所述第二固定盘之间螺纹连接；筒件的真空镀膜夹具能够改变中空镀膜过程中筒件的位置和角度，使得其外壁膜层涂镀的更加均匀，利用固定部可以将筒件牢靠的固定在装置上。

A kind of vacuum coating fixture for cylinder

【技术实现步骤摘要】
一种筒件的真空镀膜夹具
本技术涉及真空镀膜领域，特别涉及一种筒件的真空镀膜夹具。
技术介绍
真空镀膜是一种产生薄膜材料的技术。在真空沉积腔室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。在真空镀膜过程中，需要用夹具对工件进行稳定夹持，以保证镀膜完整性。现有公开号为CN208151475U的中国专利，其公开了一种立式圆柱真空镀膜夹具，其包括下基座、导向筒、固定板、上基座、导套和拉杆；下基座、固定板和上基座均开设有轴向通孔，下基座的顶面和固定板的底面上分别设有凸台，拉杆由一根横杆和两根竖杆构成，在固定板和上基座的边缘处对称开设有插孔，上基座上设置有导套。上述的这种立式圆柱真空镀膜夹具虽然操作方便，一次性可以夹持多个工件，但是由于筒件其具有环形的外壁，因此在真空镀膜的过程中环形的外壁容易发生镀膜不均的情况，因此需要对其进行改进，使得夹具能够调整工件的位置和角度，以增大镀膜的均匀性。
技术实现思路
针对
技术介绍
中提到的问题，本技术的目的是提供一种筒件的真空镀膜夹具，以解决
技术介绍
中提到的问题。本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种筒件的真空镀膜夹具，包括固定在真空箱体顶部的第一伺服电机，还包括：转动连接在所述真空箱体的内部的第一固定杆，所述第一伺服电机驱动所述第一固定杆转动；铰接在所述第一固定杆底端的第一固定盘，所述第一固定杆上铰接有气缸的缸体，所述气缸的活塞杆端部铰接在第一固定盘上；滑移连接在所述第一固定盘下方的第二固定盘，所述第一固定盘上固定有第二伺服电机，所述第二伺服电机的电机轴端部连接有螺杆，所述螺杆与所述第二固定盘之间螺纹连接，所述第二固定盘在靠近所述第一固定盘的一面固定有导向杆，所述第一固定盘上开设有供所述导向杆穿过的导向孔；连接在所述第二固定盘下方的支撑杆，所述支撑杆上设置有若干组用于固定筒件的固定部。通过采用上述技术方案，筒件的真空镀膜夹具能够改变中空镀膜过程中筒件的位置和角度，使得其外壁膜层涂镀的更加均匀，利用固定部可以将筒件牢靠的固定在装置上，当真空镀膜的过程中需要调节筒件的位置和角度时，操作者可以通过启动第一伺服电机带动第一固定盘转动，能够带动筒件转动，启动第一固定盘上的第二伺服电机将带动第二固定盘滑动，能够调节筒件的高度，启动气缸能够带动铰接的第一固定盘转动一个角度，能够改变筒件的角度。较佳的，所述固定部包括第三固定杆、第一弧形板、第二弧形板和若干个第一弹簧，所述第三固定杆固定在所述支撑杆上，所述第一弧形板固定在所述第三固定杆的端部，所述第二弧形板通过若干个所述第一弹簧连接在所述第一弧形板上，所述第一弧形板和所述第二弧形板均具有抵触筒件内壁的弧形面。通过采用上述技术方案，筒件可以套在第一弧形板和第二弧形板的外部，在第一弹簧的弹力作用下，第一弧形板和第二弧形板之间有相互分离的力，能够将筒件卡住固定，较为可靠。较佳的，所述第一弧形板和所述第二弧形板上的所述弧形面上均具有一层弹性垫。通过采用上述技术方案，第一弧形板和第二弧形板弧形面上的弹性垫能够防止对筒件内壁造成磨损，同时能够使得筒件固定的更加牢靠。较佳的，所述真空箱体通过密封轴承转动连接有第二固定杆，所述伺服电机驱动所述第二固定杆转动，所述第二固定杆的端部开设有供所述第一固定杆端部插入的凹槽，所述第一固定杆的外部具有与所述第一固定杆一体成型的轴肩，所述轴肩和所述第二固定杆的外部共同螺纹连接有螺纹环套。通过采用上述技术方案，利用第二固定杆能够方便第一固定杆的拆卸，当将第一固定杆安装到第二固定杆端部时，只需要将第一固定杆的端部插入到凹槽中，再拧紧轴肩和第二固定杆外部的螺纹环套即可实现安装固定。较佳的，所述第一固定杆内部开设有滑槽，所述滑槽内沿水平方向滑移连接有弹性插柱，所述弹性插柱与所述滑槽槽底之间连接有第二弹簧，所述第二固定杆内开设有供所述弹性插柱插入的插槽。通过采用上述技术方案，在滑槽内第二弹簧的弹力作用下，弹性插柱将插入到第二固定杆内的插槽中，从而能够实现第一固定杆和第二固定杆之间的安装定位。较佳的，所述第一固定盘的顶部通过若干个锁紧螺栓连接有安装盘，所述第一固定杆的端部与所述安装盘之间铰接。通过采用上述技术方案，利用锁紧螺栓和安装盘能够方便第一固定杆和第一固定盘之间的拆卸和连接。较佳的，若干个所述锁紧螺栓的端部均固定有两片旋转耳。通过采用上述技术方案，锁紧螺栓端部的旋转耳能够方便操作者拧动锁紧螺栓。较佳的，所述导向杆在远离所述第二固定盘的一端固定有限位块。通过采用上述技术方案，导向杆端部的限位块能够限制第二固定盘的调节行程。综上所述，本技术主要具有以下有益效果：筒件的真空镀膜夹具能够改变中空镀膜过程中筒件的位置和角度，使得其外壁膜层涂镀的更加均匀，利用固定部可以将筒件牢靠的固定在装置上，当真空镀膜的过程中需要调节筒件的位置和角度时，操作者可以通过启动第一伺服电机带动第一固定盘转动，能够带动筒件转动，启动第一固定盘上的第二伺服电机将带动第二固定盘滑动，能够调节筒件的高度，启动气缸能够带动铰接的第一固定盘转动一定角度，能够改变筒件的角度。附图说明图1是用于体现筒件的真空镀膜夹具与真空箱体关系的结构示意图；图2是筒件的真空镀膜夹具的结构示意图；图3是图2中的A处放大图；图4是图2中的B处放大图；图5是筒件的真空镀膜夹具的结构剖视图；图6是图5中的C处放大图。附图标记：1、真空箱体；2、第一伺服电机；3、第一固定杆；4、第一固定盘；6、气缸；7、第二固定盘；8、第二伺服电机；9、螺杆；10、导向杆；11、导向孔；12、支撑杆；13、第三固定杆；14、第一弧形板；15、第二弧形板；16、第一弹簧；17、弹性垫；18、密封轴承；19、第二固定杆；20、凹槽；21、轴肩；22、螺纹环套；23、滑槽；24、弹性插柱；25、第二弹簧；26、插槽；27、锁紧螺栓；28、安装盘；29、旋转耳；30、限位块。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。参考图1和图2，一种筒件的真空镀膜夹具，包括固定在真空箱体1顶部的第一伺服电机2，其中第一伺服电机2驱动第一固定杆3转动，在第一固定杆3底端还铰接有第一固定盘4，当启动第一伺服电机2时将带动第一固定杆3和第一固定盘4整体转动，为了控制改变第一固定盘4的铰接角度，在第一固定杆3上铰接有气缸6的缸体，其中气缸6的活塞杆端部铰接在第一固定盘4上；为了使得装置能够调节筒件距离下方靶源的距离，在第一固定盘4下方还滑移连接有第二固定盘7，待涂镀的筒件被固定在第二固定盘7本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种筒件的真空镀膜夹具，包括固定在真空箱体(1)顶部的第一伺服电机(2)，其特征在于：还包括：/n转动连接在所述真空箱体(1)的内部的第一固定杆(3)，所述第一伺服电机(2)驱动所述第一固定杆(3)转动；/n铰接在所述第一固定杆(3)底端的第一固定盘(4)，所述第一固定杆(3)上铰接有气缸(6)的缸体，所述气缸(6)的活塞杆端部铰接在第一固定盘(4)上；/n滑移连接在所述第一固定盘(4)下方的第二固定盘(7)，所述第一固定盘(4)上固定有第二伺服电机(8)，所述第二伺服电机(8)的电机轴端部连接有螺杆(9)，所述螺杆(9)与所述第二固定盘(7)之间螺纹连接，所述第二固定盘(7)在靠近所述第一固定盘(4)的一面固定有导向杆(10)，所述第一固定盘(4)上开设有供所述导向杆(10)穿过的导向孔(11)；/n连接在所述第二固定盘(7)下方的支撑杆(12)，所述支撑杆(12)上设置有若干组用于固定筒件的固定部。/n

【技术特征摘要】
1.一种筒件的真空镀膜夹具，包括固定在真空箱体(1)顶部的第一伺服电机(2)，其特征在于：还包括：
转动连接在所述真空箱体(1)的内部的第一固定杆(3)，所述第一伺服电机(2)驱动所述第一固定杆(3)转动；
铰接在所述第一固定杆(3)底端的第一固定盘(4)，所述第一固定杆(3)上铰接有气缸(6)的缸体，所述气缸(6)的活塞杆端部铰接在第一固定盘(4)上；
滑移连接在所述第一固定盘(4)下方的第二固定盘(7)，所述第一固定盘(4)上固定有第二伺服电机(8)，所述第二伺服电机(8)的电机轴端部连接有螺杆(9)，所述螺杆(9)与所述第二固定盘(7)之间螺纹连接，所述第二固定盘(7)在靠近所述第一固定盘(4)的一面固定有导向杆(10)，所述第一固定盘(4)上开设有供所述导向杆(10)穿过的导向孔(11)；
连接在所述第二固定盘(7)下方的支撑杆(12)，所述支撑杆(12)上设置有若干组用于固定筒件的固定部。


2.根据权利要求1所述的一种筒件的真空镀膜夹具，其特征在于：所述固定部包括第三固定杆(13)、第一弧形板(14)、第二弧形板(15)和若干个第一弹簧(16)，所述第三固定杆(13)固定在所述支撑杆(12)上，所述第一弧形板(14)固定在所述第三固定杆(13)的端部，所述第二弧形板(15)通过若干个所述第一弹簧(16)连接在所述第一弧形板(14)上，所述第一弧形板(14)和所述第二弧形板(15)均具有抵触筒件内壁的弧形面。


3.根据权利要求2所述的一种筒件的真空镀膜夹具，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋建华，向毅，
申请(专利权)人：昆山金百辰金属科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32