一种镀膜均匀的真空镀膜装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种镀膜均匀的真空镀膜装置，其技术方案要点是：包括安装架，所述安装架的上端固定有镀膜桶，所述镀膜桶的顶端固定有桶盖，所述桶盖的上端固定有伺服电机，所述伺服电机的输出轴固定有第一连接轴，所述第一连接轴的下端固定有第一转盘，所述第一转盘转动连接有三个转轴，所述转轴上固定有若干安装杆，所述安装杆上固定有若干挂钩，所述转轴的下端转动连接有第二转盘，所述转轴的下端端部固定有第一齿轮，所述第一齿轮的一侧啮合传动连接有第二齿轮，所述第二齿轮固定在镀膜桶的内部中心处，所述镀膜桶的一侧侧壁铰接有桶门。通过上述结构实现镀膜产品在镀膜桶内多方向旋转，大大提高镀膜均匀度。

【技术实现步骤摘要】
一种镀膜均匀的真空镀膜装置
本技术涉及一种真空镀膜装置，特别涉及一种镀膜均匀的真空镀膜装置。
技术介绍
真空镀膜是一种产生薄膜材料的技术。在真空沉积腔室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面，它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。简单地说，在真空中把金属、合金或化合物(称靶材)进行蒸发或溅射，使其在被涂覆的物体(称基材)上凝固并沉积的方法，称为真空镀膜。真空镀膜需要把待镀膜的产品放置到密闭的镀膜桶内，然后在镀膜桶内进行镀膜，现有的镀膜桶内只是把产品放置到桶内，产品在桶内是静止不动的，导致产品表面的镀膜往往不均匀，影响产品的镀膜质量，为此，需要设计一种镀膜均匀的真空镀膜装置。
技术实现思路
针对
技术介绍
中提到的问题，本技术的目的是提供一种镀膜均匀的真空镀膜装置，以解决
技术介绍
中提到的问题。本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种镀膜均匀的真空镀膜装置，包括安装架，所述安装架的上端固定有镀膜桶，所述镀膜桶的顶端固定有桶盖，所述桶盖的上端中间固定有伺服电机，所述伺服电机的输出轴端部通过联轴器固定有第一连接轴，所述第一连接轴的下端端部固定有第一转盘，所述第一转盘的外侧四周转动连接有三个转轴，三个所述转轴等角度的分布在第一转盘上，所述转轴上均匀的固定有若干安装杆，所述安装杆上均匀的固定有若干挂钩，所述转轴远离第一转盘的一端转动连接有第二转盘，所述第二转盘与镀膜桶的内部底端转动连接，所述转轴的下端端部贯穿第二转盘并延伸至其下方，所述转轴的下端端部固定有第一齿轮，所述第一齿轮的一侧啮合传动连接有第二齿轮，所述第二齿轮的下端中心处固定有第二连接轴，所述第二连接轴的下端固定在镀膜桶的内部中心处，所述镀膜桶的一侧侧壁开设有开口，所述开口处铰接有桶门。较佳的，所述桶门远离铰接处的一端中间外侧固定有把手。通过采用上述技术方案，方便用手通过把手打开桶门，实现从镀膜桶内取放产品，方便工作。较佳的，所述桶门远离把手的一侧四周粘贴有密封圈，所述密封圈与镀膜桶的桶壁紧密接触。通过采用上述技术方案，密封圈的设置使桶门关闭状态时，桶门的里面与镀膜桶的桶壁紧密接触，避免镀膜材料从桶门和桶壁之间的间隙泄漏到外界大气中造成环境污染，起到密封作用。较佳的，所述第二转盘的下端四周设置有一圈圆形滑轨，所述圆形滑轨内滑动连接有圆形滑块，所述圆形滑块固定在镀膜桶的内部底端。通过采用上述技术方案，减小第二转盘与镀膜桶之间转动的摩擦力，降低能源消耗，提高装置的使用寿命。较佳的，所述伺服电机的外侧设置有保护罩，所述保护罩固定在桶盖的上端。通过采用上述技术方案，保护罩的设置把伺服电机与外界隔离开，避免外界异物碰撞到伺服电机，起到隔离、保护作用。较佳的，所述安装架的下端四角位置均固定有自锁万向轮。通过采用上述技术方案，方便整个装置的移动和固定，提高装置的机动性和灵活性。综上所述，本技术主要具有以下有益效果：一、通过伺服电机带动第一转盘绕第一连接轴的轴心线旋转，进而带动第一转盘上的三个第一转轴旋转绕第一连接轴的轴心线旋转，第一转轴上通过挂钩挂有产品，进而产品在镀膜桶内绕第一连接轴的轴心线旋转，使产品运动起来充分与镀膜材料接触，提高镀膜的均匀度；二、第一转轴的旋转带动第一齿轮绕第一连接轴的轴心线旋转，第一齿轮的一侧啮合传动连接有第二齿轮，第二齿轮固定在镀膜桶的内部底端，进而在第二齿轮的驱动下第一齿轮绕第一转轴的轴心线旋转，进而第一转轴自转，进而第一转轴上悬挂的产品随第一转轴自转，进一步使产品与镀膜材料接触，大大提高镀膜的均匀度，提高产品质量。附图说明图1是该技术的剖面图；图2是桶门打开状态图；图3是桶门闭合状态图；图4是镀膜桶内部结构图；图5是圆形滑轨和圆形滑块安装位置示意图。附图标记：1、安装架；2、镀膜桶；3、桶盖；4、伺服电机；5、联轴器；6、第一连接轴；7、第一转盘；8、转轴；9、安装杆；10、挂钩；11、第二转盘；12、第一齿轮；13、第二齿轮；14、第二连接轴；15、开口；16、桶门；161、把手；162、密封圈；17、圆形滑轨；18、圆形滑块；19、保护罩；20、自锁万向轮。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。参考图1、图2和图5，一种镀膜均匀的真空镀膜装置，包括安装架1，其中安装架1的上端固定有镀膜桶2，为了将镀膜桶2盖合，在镀膜桶2的顶端固定有桶盖3，为了使得镀膜桶2内的工件得以涂镀的更加均匀，故在桶盖3的上端中间固定有伺服电机4，伺服电机4可采用国产伺服电机，型号为RJ090-E03520，自带电源线，使用时只需将电插头插入电插板即可，将伺服电机4的输出轴端部通过联轴器5固定有第一连接轴6，将第一连接轴6的下端端部固定有第一转盘7，然后在第一转盘7的外侧四周转动连接有三个转轴8，为了使转轴8在第一转盘7上分布均匀，使三个转轴8等角度的分布在第一转盘7上，然后在转轴8上均匀的固定有多余十个安装杆9，为了便于悬挂产品，在安装杆9上均匀的固定有多与五个挂钩10，然后在转轴8远离第一转盘7的一端转动连接有第二转盘11，该第二转盘11与镀膜桶2的内部底端转动连接，转轴8的下端端部贯穿第二转盘11并延伸至其下方，然后在转轴8的下端端部固定有第一齿轮12，为了驱动第一齿轮12旋转，所以在第一齿轮12的一侧啮合传动连接有第二齿轮13，为了固定第二齿轮13，所以在第二齿轮13的下端中心处固定有第二连接轴14，然后把通过专用的设备把加热后的镀膜原材料通入到镀膜桶2内实现对挂钩10上产品的镀膜，第二连接轴14的下端固定在镀膜桶2的内部中心处，为了从镀膜桶2内取放产品所以在镀膜桶2的一侧侧壁开设有开口15，然后在开口15处铰接有桶门16。参考图3，为了方便用手打开桶门16，在桶门16远离铰接处的一端固定有把手161，方便桶门16的打开，进而方便从镀膜桶2内取、放产品。参考图2，为了防止镀膜桶2内的镀膜材料在工作时从桶门16和镀膜桶2的桶壁之间间隙泄漏到外界中对环境造成污染，在桶门16远离把手161的一侧四周粘贴有密封圈162，进而密封圈162把桶门16与桶壁之间的间隙堵死，避免了镀膜材料的泄漏。参考图5，第二转盘11的转动与镀膜桶2的内部底端之间会产生较大的摩擦力，为了减少摩擦，降低能耗，在第二转盘11的底端外侧设置有圆形滑轨17，在镀膜桶2的内部底端固定有与圆形滑轨17相配合的圆形滑块18，圆形滑块18在本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种镀膜均匀的真空镀膜装置，包括安装架(1)，其特征在于：所述安装架(1)的上端固定有镀膜桶(2)，所述镀膜桶(2)的顶端固定有桶盖(3)，所述桶盖(3)的上端中间固定有伺服电机(4)，所述伺服电机(4)的输出轴端部通过联轴器(5)固定有第一连接轴(6)，所述第一连接轴(6)的下端端部固定有第一转盘(7)，所述第一转盘(7)的外侧四周转动连接有三个转轴(8)，三个所述转轴(8)等角度的分布在第一转盘(7)上，所述转轴(8)上均匀的固定有若干安装杆(9)，所述安装杆(9)上均匀的固定有若干挂钩(10)，所述转轴(8)远离第一转盘(7)的一端转动连接有第二转盘(11)，所述第二转盘(11)与镀膜桶(2)的内部底端转动连接，所述转轴(8)的下端端部贯穿第二转盘(11)并延伸至其下方，所述转轴(8)的下端端部固定有第一齿轮(12)，所述第一齿轮(12)的一侧啮合传动连接有第二齿轮(13)，所述第二齿轮(13)的下端中心处固定有第二连接轴(14)，所述第二连接轴(14)的下端固定在镀膜桶(2)的内部中心处，所述镀膜桶(2)的一侧侧壁开设有开口(15)，所述开口(15)处铰接有桶门(16)。/n...

【技术特征摘要】
1.一种镀膜均匀的真空镀膜装置，包括安装架(1)，其特征在于：所述安装架(1)的上端固定有镀膜桶(2)，所述镀膜桶(2)的顶端固定有桶盖(3)，所述桶盖(3)的上端中间固定有伺服电机(4)，所述伺服电机(4)的输出轴端部通过联轴器(5)固定有第一连接轴(6)，所述第一连接轴(6)的下端端部固定有第一转盘(7)，所述第一转盘(7)的外侧四周转动连接有三个转轴(8)，三个所述转轴(8)等角度的分布在第一转盘(7)上，所述转轴(8)上均匀的固定有若干安装杆(9)，所述安装杆(9)上均匀的固定有若干挂钩(10)，所述转轴(8)远离第一转盘(7)的一端转动连接有第二转盘(11)，所述第二转盘(11)与镀膜桶(2)的内部底端转动连接，所述转轴(8)的下端端部贯穿第二转盘(11)并延伸至其下方，所述转轴(8)的下端端部固定有第一齿轮(12)，所述第一齿轮(12)的一侧啮合传动连接有第二齿轮(13)，所述第二齿轮(13)的下端中心处固定有第二连接轴(14)，所述第二连接轴(14)的下端固定在镀膜桶(2)的内部中心处，所述镀膜桶(2)的一侧侧壁开设有开口(15)，...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋建华，向毅，
申请(专利权)人：昆山金百辰金属科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32