一种真空镀膜机的基材旋转装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种真空镀膜机的基材旋转装置，其技术方案要点是：包括固定在所述镀膜室外部的伺服电机，所述伺服电机驱动第一固定杆在所述镀膜室内部转动，所述第一固定杆的端部固定有第一锥形齿轮，所述镀膜室内部的顶面固定有两根支撑杆，两根所述支撑杆的底端共同固定在保护箱外部，所述保护箱上还转动连接有若干个第二固定杆，所述第二固定杆在位于所述保护箱内部的一端固定有第二锥形齿轮，所述第二固定杆在远离所述第二锥形齿轮的一端设置有用于固定待镀膜基材的基材固定部，利用真空镀膜机的基材旋转装置能够带动基材翻转，在基材被镀膜一面之后可以方便将基材翻转到另一面进行真空镀膜，节省了操作的工序。

A rotating device for substrate of vacuum coating machine

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机的基材旋转装置
本技术涉及一种夹具，特别涉及一种真空镀膜机的基材旋转装置。
技术介绍
真空镀膜是一种产生薄膜材料的技术。在真空沉积腔室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面，它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。简单地说，在真空中把金属、合金或化合物(称靶材)进行蒸发或溅射，使其在被涂覆的物体(称基材)上凝固并沉积的方法，称为真空镀膜。在真空镀膜的过程中，基材会在真空镀膜室内被镀膜，为了使得基材表面的膜层均匀与一致，需要调整基材的位置。当对基材进行双面镀膜时，现有的做法是先镀膜其中一面，之后将基材再取出翻转至另一面进行镀膜，这种做法较为麻烦。
技术实现思路
针对
技术介绍
中提到的问题，本技术的目的是提供一种真空镀膜机的基材旋转装置，以解决
技术介绍
中提到的问题。本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种真空镀膜机的基材旋转装置，包括固定在所述镀膜室外部的伺服电机，所述伺服电机驱动第一固定杆在所述镀膜室内部转动，所述第一固定杆的端部固定有第一锥形齿轮，所述镀膜室内部的顶面固定有两根支撑杆，两根所述支撑杆的底端共同固定在保护箱外部，所述第一锥形齿轮在所述保护箱内部转动，所述保护箱上开设有供第一固定杆穿过的避让口，所述保护箱上还转动连接有若干个第二固定杆，所述第二固定杆在位于所述保护箱内部的一端固定有第二锥形齿轮，所述第一锥形齿轮和所述第二锥形齿轮之间相互啮合，所述第二固定杆在远离所述第二锥形齿轮的一端设置有用于固定待镀膜基材的基材固定部。通过采用上述技术方案，利用真空镀膜机的基材旋转装置能够带动基材翻转，在基材被镀膜一面之后可以方便将基材翻转到另一面进行真空镀膜，节省了操作的工序；利用装置中的基材固定部可以将基材牢靠的固定；当启动伺服电机时将带动第一固定杆在镀膜室内转动，能够带动第一锥形齿轮转动，通过第一锥形齿轮与第二锥形齿轮的啮合能够带动第二锥形齿轮转动，从而能够带动第二固定杆转动，能够带动第二固定杆端部中基材固定部固定的基材翻转。较佳的，所述基材固定部包括匚字形板、第一压板、螺杆、第二压板和弹簧，所述匚字形板固定在所述第二固定杆远离所述第二锥形齿轮的一端，所述匚字形板的开口内滑移连接有第一压板，所述匚字形板上还螺纹连接有螺杆，所述螺杆的一端转动连接在所述第一压板内，所述匚字形板的开口处通过若干个所述弹簧连接有所述第二压板。通过采用上述技术方案，当需要固定基材时，可以将基材卡在第一压板和第二压板之间，在弹簧的弹力作用下将会使得第二压板靠近第一压板将其压紧，拧紧匚字形板上螺纹连接的螺杆能够带动第一压板向第二压板靠近，能够将基材牢靠的固定，操作也较为方便。较佳的，所述镀膜室内通过密封轴承转动连接有第三固定杆，所述伺服电机驱动所述第三固定杆转动，所述第一固定杆端部开设有供所述第三固定杆插入的凹槽，所述第一固定杆和所述第三固定杆之间共同开设有供螺柱螺入的螺孔，所述螺柱的两端分别螺纹连接有螺纹环套。通过采用上述技术方案，通过将第三固定杆插入到第一固定杆内的凹槽中后，再在螺孔内旋入螺柱，再拧紧螺纹环套能够实现第一固定杆和第三固定杆的连接。较佳的，所述第一固定杆和所述第三固定杆之间通过键进行定位。通过采用上述技术方案，键能够对第一固定杆和第三固定杆的连接启动定位的作用，同时能够使得连接的结构更加稳定。较佳的，所述第一压板和所述第二压板在相互靠近的一面分别固定有一层软垫。通过采用上述技术方案，第一压板和第二压板表面的软垫能够防止第一压板和第二压板对基材表面造成磨损。较佳的，所述第一压板上固定有滑块，所述匚字形内开设有供所述滑块滑动的滑槽。通过采用上述技术方案，利用滑块和滑槽的配合能够为第一压板在匚字形板开口内的滑动进行导向。较佳的，所述伺服电机和所述第三固定杆之间设置有减速器，所述减速器的输入端与所述伺服电机的电机轴端部连接，所述减速器的输出端与所述第三固定杆端部连接。通过采用上述技术方案，伺服电机和第三固定杆之间的减速器能够降低伺服电机的输出速度，使得第三固定杆转动的更加平缓。较佳的，所述螺杆的外部还螺纹连接有锁紧螺母。通过采用上述技术方案，拧紧螺杆外部的锁紧螺母能够将螺杆的位置充分的锁定。综上所述，本技术主要具有以下有益效果：利用真空镀膜机的基材旋转装置能够带动基材翻转，在基材被镀膜一面之后可以方便将基材翻转到另一面进行真空镀膜，节省了操作的工序；利用装置中的基材固定部可以将基材牢靠的固定；当启动伺服电机时将带动第一固定杆在镀膜室内转动，能够带动第一锥形齿轮转动，通过第一锥形齿轮与第二锥形齿轮的啮合能够带动第二锥形齿轮转动，从而能够带动第二固定杆转动，能够带动第二固定杆端部中基材固定部固定的基材翻转。附图说明图1是用于展示真空镀膜机的基材旋转装置与镀膜室的结构示意图；图2是真空镀膜机的基材旋转装置的结构示意图；图3是图2中的A处放大图；图4是真空镀膜机的基材旋转装置的结构剖视图；图5是图4中的B处放大图。附图标记：1、镀膜室；2、伺服电机；3、第一固定杆；4、第一锥形齿轮；6、支撑杆；7、保护箱；8、避让口；9、第二固定杆；10、第二锥形齿轮；11、匚字形板；12、第一压板；13、螺杆；14、第二压板；15、弹簧；16、密封轴承；17、第三固定杆；18、凹槽；19、螺柱；20、螺孔；21、螺纹环套；22、键；23、软垫；24、滑块；25、滑槽；26、减速器；27、锁紧螺母。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。参考图1、图2和图4，一种真空镀膜机的基材旋转装置，为了使得装置能够自动化将镀膜室内的基材翻转；在镀膜室的外部固定有伺服电机，利用伺服电机驱动第一固定杆在镀膜室内部转动，在第一固定杆的端部固定有第一锥形齿轮，在镀膜室内部的顶面固定有两根支撑杆，将两根支撑杆的底端共同固定在保护箱外部，其中第一锥形齿轮在保护箱内部转动，在保护箱上开设有供第一固定杆穿过的避让口，在保护箱上还转动连接有若干个第二固定杆，其中第二固定杆在位于保护箱内部的一端固定有第二锥形齿轮，第一锥形齿轮和第二锥形齿轮之间相互啮合，同时在第二固定杆远离第二锥形齿轮的一端设置有用于固定待镀膜基材的基材固定部；利用真空镀膜机的基材旋转装置能够带动基材翻转，在基材被镀膜一面之后可以方便将基材翻转到另一面进行真空镀膜，节省了操作的工序；利用装置中的基材固定部可以将基材牢靠的固定；当启本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空镀膜机的基材旋转装置，包括固定在镀膜室外部的伺服电机，其特征在于：所述伺服电机驱动第一固定杆在所述镀膜室内部转动，所述第一固定杆的端部固定有第一锥形齿轮，所述镀膜室内部的顶面固定有两根支撑杆，两根所述支撑杆的底端共同固定在保护箱外部，所述第一锥形齿轮在所述保护箱内部转动，所述保护箱上开设有供第一固定杆穿过的避让口，所述保护箱上还转动连接有若干个第二固定杆，所述第二固定杆在位于所述保护箱内部的一端固定有第二锥形齿轮，所述第一锥形齿轮和所述第二锥形齿轮之间相互啮合，所述第二固定杆在远离所述第二锥形齿轮的一端设置有用于固定待镀膜基材的基材固定部。/n

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机的基材旋转装置，包括固定在镀膜室外部的伺服电机，其特征在于：所述伺服电机驱动第一固定杆在所述镀膜室内部转动，所述第一固定杆的端部固定有第一锥形齿轮，所述镀膜室内部的顶面固定有两根支撑杆，两根所述支撑杆的底端共同固定在保护箱外部，所述第一锥形齿轮在所述保护箱内部转动，所述保护箱上开设有供第一固定杆穿过的避让口，所述保护箱上还转动连接有若干个第二固定杆，所述第二固定杆在位于所述保护箱内部的一端固定有第二锥形齿轮，所述第一锥形齿轮和所述第二锥形齿轮之间相互啮合，所述第二固定杆在远离所述第二锥形齿轮的一端设置有用于固定待镀膜基材的基材固定部。


2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的基材旋转装置，其特征在于：所述基材固定部包括匚字形板、第一压板、螺杆、第二压板和弹簧，所述匚字形板固定在所述第二固定杆远离所述第二锥形齿轮的一端，所述匚字形板的开口内滑移连接有第一压板，所述匚字形板上还螺纹连接有螺杆，所述螺杆的一端转动连接在所述第一压板内，所述匚字形板的开口处通过若干个所述弹簧连接有所述第二压板。


3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的基材旋转装置，其特征在于：所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋建华，向毅，
申请(专利权)人：昆山金百辰金属科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32