【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机的基材旋转装置
本技术涉及一种夹具，特别涉及一种真空镀膜机的基材旋转装置。
技术介绍
真空镀膜是一种产生薄膜材料的技术。在真空沉积腔室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面，它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。简单地说，在真空中把金属、合金或化合物(称靶材)进行蒸发或溅射，使其在被涂覆的物体(称基材)上凝固并沉积的方法，称为真空镀膜。在真空镀膜的过程中，基材会在真空镀膜室内被镀膜，为了使得基材表面的膜层均匀与一致，需要调整基材的位置。当对基材进行双面镀膜时，现有的做法是先镀膜其中一面，之后将基材再取出翻转至另一面进行镀膜，这种做法较为麻烦。
技术实现思路
针对
技术介绍
中提到的问题，本技术的目的是提供一种真空镀膜机的基材旋转装置，以解决
技术介绍
中提到的问题。本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种...
【技术保护点】
1.一种真空镀膜机的基材旋转装置，包括固定在镀膜室外部的伺服电机，其特征在于：所述伺服电机驱动第一固定杆在所述镀膜室内部转动，所述第一固定杆的端部固定有第一锥形齿轮，所述镀膜室内部的顶面固定有两根支撑杆，两根所述支撑杆的底端共同固定在保护箱外部，所述第一锥形齿轮在所述保护箱内部转动，所述保护箱上开设有供第一固定杆穿过的避让口，所述保护箱上还转动连接有若干个第二固定杆，所述第二固定杆在位于所述保护箱内部的一端固定有第二锥形齿轮，所述第一锥形齿轮和所述第二锥形齿轮之间相互啮合，所述第二固定杆在远离所述第二锥形齿轮的一端设置有用于固定待镀膜基材的基材固定部。/n
【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机的基材旋转装置，包括固定在镀膜室外部的伺服电机，其特征在于：所述伺服电机驱动第一固定杆在所述镀膜室内部转动，所述第一固定杆的端部固定有第一锥形齿轮，所述镀膜室内部的顶面固定有两根支撑杆，两根所述支撑杆的底端共同固定在保护箱外部，所述第一锥形齿轮在所述保护箱内部转动，所述保护箱上开设有供第一固定杆穿过的避让口，所述保护箱上还转动连接有若干个第二固定杆，所述第二固定杆在位于所述保护箱内部的一端固定有第二锥形齿轮，所述第一锥形齿轮和所述第二锥形齿轮之间相互啮合，所述第二固定杆在远离所述第二锥形齿轮的一端设置有用于固定待镀膜基材的基材固定部。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的基材旋转装置，其特征在于：所述基材固定部包括匚字形板、第一压板、螺杆、第二压板和弹簧，所述匚字形板固定在所述第二固定杆远离所述第二锥形齿轮的一端，所述匚字形板的开口内滑移连接有第一压板，所述匚字形板上还螺纹连接有螺杆，所述螺杆的一端转动连接在所述第一压板内，所述匚字形板的开口处通过若干个所述弹簧连接有所述第二压板。
3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的基材旋转装置，其特征在于：所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：蒋建华，向毅，
申请(专利权)人：昆山金百辰金属科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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