一种用于探针台的晶圆防滑出结构制造技术

本实用新型专利技术属于晶圆测试设备的技术领域，公开了一种用于探针台的晶圆防滑出结构，其技术方案要点是包括锁定机构和解锁机构，锁定机构包括基座，基座上设有若干组锁定杆、齿轮、解锁杆和复位件，与框体上的沟槽分别对应，锁定杆和解锁杆均与框体的侧壁垂直，滑动设置在基座上，锁定杆和解锁杆分别设置在齿轮两侧，与齿轮啮合，且锁定杆一端穿入框体侧壁，并延伸至沟槽内，解锁机构包括楔块，楔块与机架固接，与上片机构齐平，楔块的上表面朝向框体倾斜设置，并与解锁杆背向框体的一端相抵，具有能够将与上片机构齐平的晶圆释放，不影响上片机构中的机械手吸取晶圆，同时将其它各层晶圆锁住，防止其从晶圆匣内滑出的效果。

A kind of wafer antiskid structure for probe table

【技术实现步骤摘要】
一种用于探针台的晶圆防滑出结构
本技术涉及晶圆测试设备的
，特别涉及一种用于探针台的晶圆防滑出结构。
技术介绍
探针台是集成电路测试的主要设备之一，配合测试机使用，对未切割的晶圆片进行检测。公告号为CN203414540U的中国专利公开了一种全自动IC及LED测试一体化系统，包括探针台模块和测试机模块，所述探针台模块包括输送晶圆的片盒升降机构、移动晶圆至测试位置的承片机构和将晶圆由所述片盒升降机构传递至承片机构的上片机构，所述测试机模块包括相连的探卡和测试机，所述探卡与所述承片机构配合并置于所述承片机构的上方，所述测试机与所述承片机构相连，所述承片机构中还包括承片台、第一动力装置和第二动力装置，所述第一动力装置直线驱动所述承片台，所述第二动力装置旋转驱动所述承片台。这种全自动IC及LED测试一体化系统中用于盛装晶圆的片盒即晶圆匣，公告号为CN208806233U的中国专利公开了一种晶圆匣，包括承载部与框体。框体连接承载部，并具有晶圆入口。承载部位于晶圆入口的正下方。框体包括多个围绕晶圆入口的上端部，其中各个上端部朝向远离承本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于探针台的晶圆防滑出结构，其特征在于：包括设置在晶圆匣框体（101）上的锁定机构和设置在探针台机架（102）上的解锁机构，所述锁定机构包括成对设置在框体（101）两侧的基座（1），所述基座（1）沿竖直方向设置，基座（1）上设有若干组锁定杆（2）、齿轮（3）、解锁杆（4）和用于使锁定杆（2）回到原位的复位件，与框体（101）上的沟槽（103）分别对应，所述锁定杆（2）和解锁杆（4）均与框体（101）的侧壁垂直，并沿自身长度方向滑动设置在基座（1）上，锁定杆（2）和解锁杆（4）分别设置在齿轮（3）两侧，与齿轮（3）啮合，且锁定杆（2）一端穿入框体（101）侧壁，并延伸至沟槽（103）内，...

【技术特征摘要】
1.一种用于探针台的晶圆防滑出结构，其特征在于：包括设置在晶圆匣框体（101）上的锁定机构和设置在探针台机架（102）上的解锁机构，所述锁定机构包括成对设置在框体（101）两侧的基座（1），所述基座（1）沿竖直方向设置，基座（1）上设有若干组锁定杆（2）、齿轮（3）、解锁杆（4）和用于使锁定杆（2）回到原位的复位件，与框体（101）上的沟槽（103）分别对应，所述锁定杆（2）和解锁杆（4）均与框体（101）的侧壁垂直，并沿自身长度方向滑动设置在基座（1）上，锁定杆（2）和解锁杆（4）分别设置在齿轮（3）两侧，与齿轮（3）啮合，且锁定杆（2）一端穿入框体（101）侧壁，并延伸至沟槽（103）内，所述解锁机构包括成对设置在框体（101）两侧的楔块（5），所述楔块（5）与机架（102）固接，与上片机构（104）齐平，楔块（5）的上表面朝向框体（101）倾斜设置，并与解锁杆（4）背向框体（101）的一端相抵。


2.根据权利要求1所述的一种用于探针台的晶圆防滑出结构，其特征在于：所述锁定杆（2）背向沟槽（103）一端从基座（1）上穿出，所述复位件包括凸缘（6）和复位弹簧（7），所述凸缘（6）与锁定杆（2）背向沟槽（103）的一端固接，所述复位弹簧（7）套设在锁定杆（2）上，复位弹簧（7）一端与凸缘（6）相连，另一端与基座（1）相连。


3.根据权利要求1所述的一种用于探针台的晶圆防滑出结构，其特征在于：所述复位件包括设置在解锁杆（...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈超，
申请(专利权)人：无锡新微阳科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32